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题名离轴二次非球面反射镜无像差点法检测的误差分离技术
被引量：12
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作者
陈钦芳
李英才
马臻
李旭阳
梁士通
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机构
中国科学院西安光学精密机械研究所
中国科学院研究生院
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出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第2期213-217,共5页
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基金
国家自然科学基金(60808028)资助课题
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文摘
非球面光学元件检测中,获得准确的面形信息是实现元件确定性制造的关键因素之一。在无像差点法检测离轴非球面中,为了实现反射镜的高精度检测,对其干涉检测结果中的误差信息进行了分析。利用偏心光学系统的波像差分析方法,分析了在非球面检测系统中,被测镜的调整误差对系统波像差的影响,建立了调整误差分离的数学模型。利用该模型对离轴非球面反射镜进行实际的调装实验,经过四次调整,被测离轴二次非球面的最终检测的方均根结果为0.037λ(λ=0.6328μm),有效地提高了检测效率。
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关键词
光学制造
非球面检测
无像差点法检测
调整误差
误差分离矩阵
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Keywords
optical fabrication
aspheric testing
stigmatic null test
alignment error
error-separation matrix
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分类号
O348.1
[理学—固体力学]
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题名离轴抛物面的对比测量
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作者
陈巍
王青
朱贵博
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机构
南京理工大学电子工程与光电技术学院
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出处
《光学仪器》
2022年第1期15-21,共7页
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基金
国家自然科学基金(61875087)。
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文摘
采用离轴角度90°、口径1 inch的离轴抛物面作为样品,比对了传统零位干涉测量结果和非接触式3D非球面光学面形测量系统Luphoscan之间的差异。利用Zemax仿真了离轴抛物面六个维度的调整误差对测量结果的影响,分析了离轴量误差在两种完全不同测量过程中的表现形式,解决了Luphoscan测量结果可用性问题。根据仿真结果搭建动态干涉仪的零位检验干涉光路,建立了离轴抛物面的六个维度调节标准流程,可快速消除调整误差和离轴量误差,多次复现性测试结果达到了pv=0.135λ的精度。
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关键词
离轴抛物面
无像差点法检测
Luphoscan
动态干涉仪
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Keywords
off-axis paraboloid
stigmatic null test
Luphoscan
dynamic interferometer
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分类号
TN206
[电子电信—物理电子学]
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