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硅PN结基底TiO_2氧传感器的特性研究 被引量：2
1
作者 张辉军 穆长生 王璐 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第z2期1625-1626,共2页
采用薄膜工艺及MEMS工艺研制了一种以硅PN结为基底材料的TiO2氧传感器,阐述了该传感器的工作原理、工艺流程及射频磁控溅射制备银电极及TiO2薄膜的方法。利用XRD、SEM分析了薄膜的表面形貌及晶粒结构。基于该结构的氧传感器具有良好的... 采用薄膜工艺及MEMS工艺研制了一种以硅PN结为基底材料的TiO2氧传感器,阐述了该传感器的工作原理、工艺流程及射频磁控溅射制备银电极及TiO2薄膜的方法。利用XRD、SEM分析了薄膜的表面形貌及晶粒结构。基于该结构的氧传感器具有良好的感特性及响应特性,具有响应时间短、信号线性度好、灵敏度高等优点。 展开更多
关键词 薄膜 PN结 射频磁控溅射 氧传感器 金红石相
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