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重塑土室内制样技术对比研究 被引量:48
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作者 郑剑锋 马巍 +1 位作者 赵淑萍 蒲毅彬 《冰川冻土》 CSCD 北大核心 2008年第3期494-500,共7页
通过对兰州黄土和北麓河粘土以不同制样方法进行重塑土样的制备,对比了不同制样技术所得土样各层的干密度及含水量分布情况,确定了制作均匀样品的较为适宜的制样方法.结果表明:两头压实法所制得的样品其干密度和含水量的分布较为均匀,... 通过对兰州黄土和北麓河粘土以不同制样方法进行重塑土样的制备,对比了不同制样技术所得土样各层的干密度及含水量分布情况,确定了制作均匀样品的较为适宜的制样方法.结果表明:两头压实法所制得的样品其干密度和含水量的分布较为均匀,分布较有规律,能得到初始损伤较小的试样,比分层击实法及泥浆法更容易控制试样的均匀性.对两头压实法而言,压制时间不同,对于试样整体的均匀性也有影响.对于粘粒含量较高的土,用两头压实法较短时间即可获得较均匀的试样. 展开更多
关键词 重塑土 干密度 含水量 制样技术 试样均匀性
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制样方法对重塑黄土单轴抗拉强度影响的初探 被引量:24
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作者 胡海军 蒋明镜 +2 位作者 赵涛 彭建兵 李红 《岩土力学》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第S2期196-199,共4页
研究了重塑黄土的2种制样方法对其单轴抗拉强度的影响,第1种制样方法是用标准击样法制取重塑黄土三轴试样(试样1),第2种方法应用轻型击实仪击实得到大块样。然后,在切样器上水平方向取样得到重塑黄土三轴试样(试样2)。试样1分层面与拉... 研究了重塑黄土的2种制样方法对其单轴抗拉强度的影响,第1种制样方法是用标准击样法制取重塑黄土三轴试样(试样1),第2种方法应用轻型击实仪击实得到大块样。然后,在切样器上水平方向取样得到重塑黄土三轴试样(试样2)。试样1分层面与拉力方向垂直,试样2分层面与拉力方向平行。单轴抗拉试验结果表明,层面会对其抗拉强度产生影响,试样2抗拉强度较高,试样1抗拉强度较低。 展开更多
关键词 重塑黄土 制样方法 抗拉强度 层面
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“楔形”TEM样品的机械研磨制备技术 被引量:3
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作者 张启华 赵燕丽 +3 位作者 高强 李明 牛崇实 简维廷 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期248-251,共4页
介绍了一种用机械研磨法制备集成电路TEM楔形样品的技术,讨论了该制样技术所需注意的关键点,并给出了判断样品薄区是否满足TEM分析要求的两种方法。楔形样品减薄技术兼具制样速度快和样品质量好的优点。该技术既可用于制备非定点TEM样品... 介绍了一种用机械研磨法制备集成电路TEM楔形样品的技术,讨论了该制样技术所需注意的关键点,并给出了判断样品薄区是否满足TEM分析要求的两种方法。楔形样品减薄技术兼具制样速度快和样品质量好的优点。该技术既可用于制备非定点TEM样品,也可用于制备定点的TEM样品。给出了用该技术制备的定点失效的MOS器件TEM照片。熟练的技术人员可以用此方法在半小时内完成一个样品的制备。 展开更多
关键词 机械研磨 透射电子显微镜 样品制备 “楔形”机械研磨
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适用于深沟槽结构观测的TEM样品制备技术 被引量:1
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作者 张启华 高强 +2 位作者 李明 牛崇实 简维廷 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第2期169-171,共3页
对于深沟槽DRAM电容这类纵向深度深(超过5μm)但是平面尺寸又很小(小于0.2μm×0.2μm)的结构来说,传统的TEM制样方法,无法满足其细微结构全面观测的需求,此外传统的方法制样也比较费时,成功率也比较低。介绍了一种"FIB横向切... 对于深沟槽DRAM电容这类纵向深度深(超过5μm)但是平面尺寸又很小(小于0.2μm×0.2μm)的结构来说,传统的TEM制样方法,无法满足其细微结构全面观测的需求,此外传统的方法制样也比较费时,成功率也比较低。介绍了一种"FIB横向切割"技术,适用于对这类结构的观测。它与传统FIB制样方法的主要区别在于,切割方向由纵向切割改为横向切割。用这种方法制备的TEM样品,可以完整地观测同一个深沟槽DRAM电容结构的所有细微结构。制样过程比较简单、速度快、成功率高。以一个实例分析、比较了传统制样方法和新的制样方法,突显了"FIB横向切割"技术的优点。 展开更多
关键词 透射电子显微镜 样品制备技术 聚焦离子束 动态随机存储器电容 横向切割
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