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基于狭缝光阑的剪切散斑干涉动态测量
被引量:
13
1
作者
王永红
冯家亚
+3 位作者
王鑫
刘佩
李骏睿
杨连祥
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第3期645-651,共7页
为了精确、实时地测量物体表面的动态形变,提出了基于狭缝光阑的空间载波剪切散斑干涉系统。该系统通过倾斜迈克尔逊干涉仪的一个平面镜来产生剪切量和载波频率,实现空间频谱的移动;采用一个可调节的狭缝光阑控制散斑大小和空间频谱宽...
为了精确、实时地测量物体表面的动态形变,提出了基于狭缝光阑的空间载波剪切散斑干涉系统。该系统通过倾斜迈克尔逊干涉仪的一个平面镜来产生剪切量和载波频率,实现空间频谱的移动;采用一个可调节的狭缝光阑控制散斑大小和空间频谱宽度。基于傅里叶变换与反变换在空间频率域上提取所需的频谱并计算相位图,最后通过一幅干涉条纹图得到相位分布信息。采用该系统对一个中心加载、四周固支的薄铝板进行了动态测量,分析了光学系统参数对测量结果的影响。结果表明,采用像素尺寸为4.65μm×4.65μm的高分辨率相机,焦距为8mm的成像镜头,设置剪切量为25mm,狭缝光阑X方向的尺寸为1mm时,可得到高质量的剪切散斑相位图。该方法可以在25frame/s的采集速度下,以43.6°的视场角实现动态形变的测量,可测形变峰值为0.5~30μm。
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关键词
剪切散斑干涉术
空间载波相移
傅里叶变换法
迈克尔逊干涉仪
狭缝光阑
动态形变
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职称材料
基于最小二乘迭代的空间载波相移算法
被引量:
9
2
作者
徐建程
许乔
陈建平
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期592-596,共5页
为了解决空间载波相移(SCPS)法中载波频率不确定引入的误差,提出了一种基于最小二乘迭代的空间载波相移算法.先将单幅随机空间载波频率干涉图转化成四幅随机相移量的时域干涉图,然后用最小二乘迭代求得相位信息.模拟计算和实验结果表明...
为了解决空间载波相移(SCPS)法中载波频率不确定引入的误差,提出了一种基于最小二乘迭代的空间载波相移算法.先将单幅随机空间载波频率干涉图转化成四幅随机相移量的时域干涉图,然后用最小二乘迭代求得相位信息.模拟计算和实验结果表明,该算法只需10次左右的迭代计算就可实现算法峰值(PV)精度优于λ/20,均方根(RMS)精度优于λ/200,高于快速傅里叶变换(FFT)法;通过提高空间载波频率,使载波方向接近45°或135°可提高该算法的精度.
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关键词
测量与计量
干涉测量
空间载波相移
最小二乘迭代
傅里叶分析
原文传递
空间载波相移法理论研究
被引量:
1
3
作者
刘廷瑞
赵永瑞
陈广庆
《光学仪器》
2004年第5期26-30,共5页
到目前为止,在动态条纹图处理方面,空间载波相移技术(SCPS)已经发展了多种不同的方法。现基于车间条件下实时自动化测量为目的,通过对不同SCPS方法的对比及不同误差源影响的分析,从理论上论证了任意N-point技术和修正五点方法的优越性,...
到目前为止,在动态条纹图处理方面,空间载波相移技术(SCPS)已经发展了多种不同的方法。现基于车间条件下实时自动化测量为目的,通过对不同SCPS方法的对比及不同误差源影响的分析,从理论上论证了任意N-point技术和修正五点方法的优越性,并为实用化提供了一个便捷的思路。
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关键词
空间载波相移法
空间截波相移技术
SCPS
条纹图处理技术
计算方法
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职称材料
相位掩模空间载波干涉图的傅里叶分析
被引量:
2
4
作者
徐建程
杜雅薇
+2 位作者
许乔
彭保进
吴跟柱
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第5期122-126,共5页
相位掩模空间载波干涉图的处理精度直接影响着动态干涉仪的性能。根据相位掩模的特点,提出了一种基于傅里叶分析的相位掩模空间载波干涉图的处理方法。该方法将采集得到的全分辨率干涉图进行像素空间重组得到一幅线性空间载波干涉图,然...
相位掩模空间载波干涉图的处理精度直接影响着动态干涉仪的性能。根据相位掩模的特点,提出了一种基于傅里叶分析的相位掩模空间载波干涉图的处理方法。该方法将采集得到的全分辨率干涉图进行像素空间重组得到一幅线性空间载波干涉图,然后采用傅里叶变换提取相位,最后再通过像素空间重组得到全分辨率的相位信息。实验结果表明,四步相移算法相位误差的峰谷值和均方根值分别为0.7467λ和0.0348λ,而傅里叶分析法相位误差的峰谷值和均方根值分别为0.2989λ和0.0088λ,因此傅里叶分析法的精度高于四步相移算法。
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关键词
测量
条纹分析
相位掩模
空间载波相移
傅里叶分析
原文传递
基于空间载波的单波长剪切散斑干涉面内面外变形导数同时测量方法
5
作者
唐信永
严利平
谭岚
《浙江理工大学学报(自然科学版)》
2021年第5期666-674,共9页
剪切散斑干涉技术是测量物体变形导数的重要方法之一。针对单波长双光束面内面外变形导数测量系统中的干涉图获取问题,提出了一种基于空间载波的单波长剪切散斑干涉的面内面外变形导数同时测量方法。首先设计了一种单波长剪切散斑干涉...
剪切散斑干涉技术是测量物体变形导数的重要方法之一。针对单波长双光束面内面外变形导数测量系统中的干涉图获取问题,提出了一种基于空间载波的单波长剪切散斑干涉的面内面外变形导数同时测量方法。首先设计了一种单波长剪切散斑干涉测量光路。在该测量光路中,激光垂直入射到待测物表面,采用两个光轴相互垂直的偏振片来保证两个观测方向的光束偏振态相互垂直;使用透镜-光阑组合的马赫-曾德剪切装置来实现剪切量和载波量的独立调整。然后在剪切量一致的情况下,引入两个不同的载波频率,实现剪切散斑干涉图的相位频率分量在频谱中的分离,并通过空间载波相移技术从记录的剪切散斑干涉频谱图中提取与面内面外变形导数相关的相位分量。最后对载频的引入进行了分析与设计,同时进行了带槽口的三点弯曲实验板的变形测量。实验测量结果与仿真分析吻合,验证了该实验测量系统的可行性。
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关键词
剪切散斑干涉
面内面外变形导数测量
空间载波相移技术
马赫-曾德剪切装置
偏振态
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职称材料
光学干涉计量中的位相测量方法
被引量:
30
6
作者
钱克矛
续伯钦
伍小平
《实验力学》
CSCD
北大核心
2001年第3期239-249,共11页
对光学干涉计量中常用的位相测量方法进行了综述 ,包括时间相移法、空间相移法、空间载波相移法和 Fourier变换法以及位相展开问题 .
关键词
位相测量
光学干涉
时间相移法
空间相移法
空间载波相移法
计量
Fourier变换法
位相展开
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职称材料
空间载波相移法用于全息CT测量气体温度场
被引量:
3
7
作者
陈希慧
焦春妍
李俊昌
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第4期412-414,共3页
为了能从干涉图像中快速识别相位,将空间载波相移法用于实时全息检测,以电热丝周围的气体为研究对象,采用单次曝光法作了实时全息实验,获得两种干涉图像,结合全息CT技术,均得到了待测气体的温度场。研究结果经比较表明,该方法在实时全...
为了能从干涉图像中快速识别相位,将空间载波相移法用于实时全息检测,以电热丝周围的气体为研究对象,采用单次曝光法作了实时全息实验,获得两种干涉图像,结合全息CT技术,均得到了待测气体的温度场。研究结果经比较表明,该方法在实时全息干涉测量中,不但可行,而且准确度高,便于实际应用。
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关键词
全息
相位测量
全息干涉术
空间载波相移法
CT技术
温度场
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职称材料
自适应空间载波相移算法
被引量:
1
8
作者
蒋尊兴
郭红卫
陈明仪
《光学仪器》
2006年第6期54-58,共5页
介绍了一种自适应空间载波相移算法。模拟和实验结果显示该算法能测量位相分布变化较剧烈的三维物面而勿须知道条纹载波频率;其模拟测量精度在无噪声情况下达到1-0 3rad。
关键词
空间载波相移算法
自适应
相移量
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职称材料
题名
基于狭缝光阑的剪切散斑干涉动态测量
被引量:
13
1
作者
王永红
冯家亚
王鑫
刘佩
李骏睿
杨连祥
机构
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第3期645-651,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.51375136)
安徽省国际科技合作计划资助项目(No.12030603012)
中航工业产学研专项资助项目(No.CXY2013HFGD22)
文摘
为了精确、实时地测量物体表面的动态形变,提出了基于狭缝光阑的空间载波剪切散斑干涉系统。该系统通过倾斜迈克尔逊干涉仪的一个平面镜来产生剪切量和载波频率,实现空间频谱的移动;采用一个可调节的狭缝光阑控制散斑大小和空间频谱宽度。基于傅里叶变换与反变换在空间频率域上提取所需的频谱并计算相位图,最后通过一幅干涉条纹图得到相位分布信息。采用该系统对一个中心加载、四周固支的薄铝板进行了动态测量,分析了光学系统参数对测量结果的影响。结果表明,采用像素尺寸为4.65μm×4.65μm的高分辨率相机,焦距为8mm的成像镜头,设置剪切量为25mm,狭缝光阑X方向的尺寸为1mm时,可得到高质量的剪切散斑相位图。该方法可以在25frame/s的采集速度下,以43.6°的视场角实现动态形变的测量,可测形变峰值为0.5~30μm。
关键词
剪切散斑干涉术
空间载波相移
傅里叶变换法
迈克尔逊干涉仪
狭缝光阑
动态形变
Keywords
shearing
speckle
interferometry
spatial
carrier
phase
-
shifting
Fourier
Transform(FT)
method
Michelson
interferometer
slit
aperture
dynamic
deformation
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
基于最小二乘迭代的空间载波相移算法
被引量:
9
2
作者
徐建程
许乔
陈建平
机构
成都精密光学工程研究中心
闽江学院
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期592-596,共5页
基金
中国工程物理研究院人才基金(zx0104)资助项目
文摘
为了解决空间载波相移(SCPS)法中载波频率不确定引入的误差,提出了一种基于最小二乘迭代的空间载波相移算法.先将单幅随机空间载波频率干涉图转化成四幅随机相移量的时域干涉图,然后用最小二乘迭代求得相位信息.模拟计算和实验结果表明,该算法只需10次左右的迭代计算就可实现算法峰值(PV)精度优于λ/20,均方根(RMS)精度优于λ/200,高于快速傅里叶变换(FFT)法;通过提高空间载波频率,使载波方向接近45°或135°可提高该算法的精度.
关键词
测量与计量
干涉测量
空间载波相移
最小二乘迭代
傅里叶分析
Keywords
measurement
and
metrology
interferometry
spatial
carrier
phase
shifting
least-squares
iteration
Fourier
analysis
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
空间载波相移法理论研究
被引量:
1
3
作者
刘廷瑞
赵永瑞
陈广庆
机构
山东科技大学
出处
《光学仪器》
2004年第5期26-30,共5页
文摘
到目前为止,在动态条纹图处理方面,空间载波相移技术(SCPS)已经发展了多种不同的方法。现基于车间条件下实时自动化测量为目的,通过对不同SCPS方法的对比及不同误差源影响的分析,从理论上论证了任意N-point技术和修正五点方法的优越性,并为实用化提供了一个便捷的思路。
关键词
空间载波相移法
空间截波相移技术
SCPS
条纹图处理技术
计算方法
Keywords
spatial
-
carrier
phase
shifting
fringe-pattern
analysis
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
相位掩模空间载波干涉图的傅里叶分析
被引量:
2
4
作者
徐建程
杜雅薇
许乔
彭保进
吴跟柱
机构
浙江师范大学信息光学研究所
成都精密光学工程研究中心
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第5期122-126,共5页
基金
浙江省自然科学基金(Y1110125,Y1100041)资助课题
文摘
相位掩模空间载波干涉图的处理精度直接影响着动态干涉仪的性能。根据相位掩模的特点,提出了一种基于傅里叶分析的相位掩模空间载波干涉图的处理方法。该方法将采集得到的全分辨率干涉图进行像素空间重组得到一幅线性空间载波干涉图,然后采用傅里叶变换提取相位,最后再通过像素空间重组得到全分辨率的相位信息。实验结果表明,四步相移算法相位误差的峰谷值和均方根值分别为0.7467λ和0.0348λ,而傅里叶分析法相位误差的峰谷值和均方根值分别为0.2989λ和0.0088λ,因此傅里叶分析法的精度高于四步相移算法。
关键词
测量
条纹分析
相位掩模
空间载波相移
傅里叶分析
Keywords
measurement
fringe
analysis
phase
mask
spatial
carrier
phase
shifting
Fourier
analysis
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
基于空间载波的单波长剪切散斑干涉面内面外变形导数同时测量方法
5
作者
唐信永
严利平
谭岚
机构
浙江理工大学纳米测量实验室
出处
《浙江理工大学学报(自然科学版)》
2021年第5期666-674,共9页
基金
国家自然科学基金项目(51875530)
浙江省自然科学基金项目(LZ18E050003)。
文摘
剪切散斑干涉技术是测量物体变形导数的重要方法之一。针对单波长双光束面内面外变形导数测量系统中的干涉图获取问题,提出了一种基于空间载波的单波长剪切散斑干涉的面内面外变形导数同时测量方法。首先设计了一种单波长剪切散斑干涉测量光路。在该测量光路中,激光垂直入射到待测物表面,采用两个光轴相互垂直的偏振片来保证两个观测方向的光束偏振态相互垂直;使用透镜-光阑组合的马赫-曾德剪切装置来实现剪切量和载波量的独立调整。然后在剪切量一致的情况下,引入两个不同的载波频率,实现剪切散斑干涉图的相位频率分量在频谱中的分离,并通过空间载波相移技术从记录的剪切散斑干涉频谱图中提取与面内面外变形导数相关的相位分量。最后对载频的引入进行了分析与设计,同时进行了带槽口的三点弯曲实验板的变形测量。实验测量结果与仿真分析吻合,验证了该实验测量系统的可行性。
关键词
剪切散斑干涉
面内面外变形导数测量
空间载波相移技术
马赫-曾德剪切装置
偏振态
Keywords
speckle-shearing
pattern
interferometry
measurement
of
in-plane
and
out-of-plane
deformation
derivatives
spatial
carrier
phase
-
shifting
Mach-Zehnder
shearing
device
polarization
state
分类号
O348.1 [理学—固体力学]
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职称材料
题名
光学干涉计量中的位相测量方法
被引量:
30
6
作者
钱克矛
续伯钦
伍小平
机构
中国科学技术大学力学与机械工程系
出处
《实验力学》
CSCD
北大核心
2001年第3期239-249,共11页
文摘
对光学干涉计量中常用的位相测量方法进行了综述 ,包括时间相移法、空间相移法、空间载波相移法和 Fourier变换法以及位相展开问题 .
关键词
位相测量
光学干涉
时间相移法
空间相移法
空间载波相移法
计量
Fourier变换法
位相展开
Keywords
phase
measurement
optical
interferometry
temporal
phase
-
shifting
method
spatial
phase
-
shifting
method
spatial
carrier
phase
-
shifting
method
Fourier
transform
method
phase
unwrapping
分类号
TB96 [机械工程—光学工程]
O348.1 [一般工业技术—计量学]
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职称材料
题名
空间载波相移法用于全息CT测量气体温度场
被引量:
3
7
作者
陈希慧
焦春妍
李俊昌
机构
昆明理工大学理学院
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第4期412-414,共3页
基金
云南省自然科学基金资助项目(20042F0025M)
文摘
为了能从干涉图像中快速识别相位,将空间载波相移法用于实时全息检测,以电热丝周围的气体为研究对象,采用单次曝光法作了实时全息实验,获得两种干涉图像,结合全息CT技术,均得到了待测气体的温度场。研究结果经比较表明,该方法在实时全息干涉测量中,不但可行,而且准确度高,便于实际应用。
关键词
全息
相位测量
全息干涉术
空间载波相移法
CT技术
温度场
Keywords
holography
phase
measurement
holographic
interferometry
spatial
carrier
phase
-
shifting
method
CT
technique
temperature
field
分类号
O438.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
自适应空间载波相移算法
被引量:
1
8
作者
蒋尊兴
郭红卫
陈明仪
机构
上海大学精密机械工程系
出处
《光学仪器》
2006年第6期54-58,共5页
文摘
介绍了一种自适应空间载波相移算法。模拟和实验结果显示该算法能测量位相分布变化较剧烈的三维物面而勿须知道条纹载波频率;其模拟测量精度在无噪声情况下达到1-0 3rad。
关键词
空间载波相移算法
自适应
相移量
Keywords
spatial
-
carrier
phase
-
shifting
algorithm
adaptive
phase
shift
分类号
TN247 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于狭缝光阑的剪切散斑干涉动态测量
王永红
冯家亚
王鑫
刘佩
李骏睿
杨连祥
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
13
下载PDF
职称材料
2
基于最小二乘迭代的空间载波相移算法
徐建程
许乔
陈建平
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
9
原文传递
3
空间载波相移法理论研究
刘廷瑞
赵永瑞
陈广庆
《光学仪器》
2004
1
下载PDF
职称材料
4
相位掩模空间载波干涉图的傅里叶分析
徐建程
杜雅薇
许乔
彭保进
吴跟柱
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
2
原文传递
5
基于空间载波的单波长剪切散斑干涉面内面外变形导数同时测量方法
唐信永
严利平
谭岚
《浙江理工大学学报(自然科学版)》
2021
0
下载PDF
职称材料
6
光学干涉计量中的位相测量方法
钱克矛
续伯钦
伍小平
《实验力学》
CSCD
北大核心
2001
30
下载PDF
职称材料
7
空间载波相移法用于全息CT测量气体温度场
陈希慧
焦春妍
李俊昌
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006
3
下载PDF
职称材料
8
自适应空间载波相移算法
蒋尊兴
郭红卫
陈明仪
《光学仪器》
2006
1
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职称材料
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