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MOEMS光开关动力学过程分析 被引量：2
1
作者 孙东明 董玮 +4 位作者 郭文滨 刘彩霞 王国东 徐宝琨 陈维友 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第7期1448-1453,共6页
采用静电力驱动方式的MOEMS光开关,从运动机制上来说,是由静电力矩、恢复力矩、空气压膜阻尼力矩以及重力力矩等条件共同作用的结果.对于微驱动器驱动条件的研究,不能单纯地从力矩平衡的角度来分析,应从动力学出发,才能较好地描述其运... 采用静电力驱动方式的MOEMS光开关,从运动机制上来说,是由静电力矩、恢复力矩、空气压膜阻尼力矩以及重力力矩等条件共同作用的结果.对于微驱动器驱动条件的研究,不能单纯地从力矩平衡的角度来分析,应从动力学出发,才能较好地描述其运动过程,得到精确的驱动条件分析结果.本文从MOEMS倾斜下电极扭臂式光开关出发,介绍了动力学分析方法的过程.通过数值求解方程,得到器件的可动部分的运动速度等方面的结果,将其在不同驱动条件下的运动状态描述出来,从而达到确定光开关静电驱动条件的目的. 展开更多
关键词 MOEMS 动力学分析 角速度 倾斜下电极
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MOEMS倾斜下电极光开关的空气压膜阻尼效应 被引量：1
2
作者 孙东明 董玮 +4 位作者 郭文滨 刘彩霞 王国东 徐宝琨 陈维友 《吉林大学学报（理学版）》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期343-347,共5页
从基于微机械光电系统(MOEMS)的倾斜下电极扭臂式光开关出发, 求解雷诺方程, 得到空气压膜阻尼系数和阻尼力矩的分析公式. 通过求解动力学方程, 给出空气压膜阻尼效应对于光开关响应时间的影响.
关键词 空气压膜阻尼效应 微机械光电系统 雷诺方程 倾斜下电极 响应时间
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光电-静电复合驱动器的驱动性能 被引量：1
3
作者 吕振 王新杰 +1 位作者 刘亚风 赵勇筌 《浙江大学学报（工学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第1期178-185,共8页
基于镧改性锆钛酸铅陶瓷(PLZT)的光电效应,提出具有倾斜下电极的新型光电-静电复合驱动器,通过闭环控制仿真研究该驱动器的驱动性能.构建光照和光停阶段光电-静电复合驱动器的数学模型,对所构建的光生电压数学模型进行参数识别.建立光电... 基于镧改性锆钛酸铅陶瓷(PLZT)的光电效应,提出具有倾斜下电极的新型光电-静电复合驱动器,通过闭环控制仿真研究该驱动器的驱动性能.构建光照和光停阶段光电-静电复合驱动器的数学模型,对所构建的光生电压数学模型进行参数识别.建立光电-静电复合驱动器输出位移的闭环控制模型,对不同辐射照度下具有不同倾斜角下电极的驱动器进行位移闭环控制仿真分析.结果表明,当目标位移和辐射照度一致时,具有倾斜下电极结构的光电-静电复合驱动器输出位移的响应时间约为平行下电极结构的45%.光电-静电复合驱动器输出位移的响应时间与辐射照度和下电极倾斜角成正相关变化,输出位移的控制精度与辐射照度和下电极倾斜角成反相关变化. 展开更多
关键词 PLZT陶瓷 光电-静电 闭环控制 倾斜下电极 驱动器
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