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用区熔技术改善多晶硅薄膜颗粒硅带衬底的质量 被引量:1
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作者 胡芸菲 沈辉 +5 位作者 王磊 邹禧武 班群 梁宗存 刘正义 闻立时 《华南理工大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第7期28-31,共4页
以颗粒硅带为衬底,通过化学气相沉积法制备多晶硅薄膜作为太阳电池的活性层.为了改善硅带衬底的质量,引入区熔再结晶的方法,期望将其表面平整度及结晶质量进一步提高,进而改善以其为衬底的多晶硅薄膜质量.借助台阶仪、X射线衍射(XRD)、... 以颗粒硅带为衬底,通过化学气相沉积法制备多晶硅薄膜作为太阳电池的活性层.为了改善硅带衬底的质量,引入区熔再结晶的方法,期望将其表面平整度及结晶质量进一步提高,进而改善以其为衬底的多晶硅薄膜质量.借助台阶仪、X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)等手段对颗粒硅带及多晶硅薄膜进行了表面轮廓、结晶质量和微观形貌的表征.结果表明:区熔后的颗粒硅带表面平整度得到了较好的改善;表面具有[311]择优方向的硅带区熔后都倾向[111]择优;在区熔硅带衬底上沉积的多晶硅薄膜晶粒尺寸在100μm以上,但暂无明显证据证明区熔对薄膜结晶质量有显著提高. 展开更多
关键词 区熔 颗粒硅带 多晶硅薄膜 平整度 择优取向
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颗粒硅带上薄膜太阳电池的研究 被引量:2
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作者 励旭东 许颖 +3 位作者 李维刚 姬成周 李仲明 马本堃 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2001年第6期781-784,共4页
采用颗粒硅带 (SSP)作为衬底 ,利用快速热化学气相沉积 (RTCVD)方法外延多晶硅薄膜并制作了转换效率达 6 .36 %的薄膜太阳电池 .对衬底特性、电池制作工艺、存在问题及进一步的研究方向做了探讨 .
关键词 颗粒硅带 薄膜太阳电池 快速热化学气相沉积 多晶硅薄膜 制作工艺
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SSP衬底上多晶硅薄膜电池的研究 被引量:1
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作者 郜小勇 卢景霄 +2 位作者 李仲明 许颖 励旭东 《郑州大学学报(自然科学版)》 CAS 2001年第2期39-41,共3页
从简化步骤、降低成本的角度出发 ,采用快速热化学气相沉积 (RTCVD)法在低纯颗粒带硅 (SSP)衬底上制备出了多晶硅薄膜太阳电池 .测试结果表明 ,实验室制备的无钝化、无减发射膜的多晶硅薄膜太阳电池获得了 3 .5 7%的转换效率 .并在此基... 从简化步骤、降低成本的角度出发 ,采用快速热化学气相沉积 (RTCVD)法在低纯颗粒带硅 (SSP)衬底上制备出了多晶硅薄膜太阳电池 .测试结果表明 ,实验室制备的无钝化、无减发射膜的多晶硅薄膜太阳电池获得了 3 .5 7%的转换效率 .并在此基础上提出采用氢钝化、减反射、快速生长和隔离技术 。 展开更多
关键词 颗粒带硅 热化学 气相沉积 多晶硅薄膜 太阳电池 转换效率 氢钝化 快速生长
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PREPARATION AND CHARACTERIZATION OF POLY-CRYSTALLINE SILICON THIN FILM 被引量:1
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作者 Y.F.Hu H.Shen +1 位作者 Z.Y.Liu L.S.Wen 《Acta Metallurgica Sinica(English Letters)》 SCIE EI CAS CSCD 2003年第4期309-312,共4页
Poly-crystalline silicon thin film has big potential of reducing the cost of solar cells. In this paper the preparation of thin film is introduced, and then the morphology of poly-crystalline thin film, is discussed. ... Poly-crystalline silicon thin film has big potential of reducing the cost of solar cells. In this paper the preparation of thin film is introduced, and then the morphology of poly-crystalline thin film, is discussed. On the film we developed poly-crystalline silicon thin film solar cells with efficiency up to 6.05% without anti-reflection coating. 展开更多
关键词 poly-crystalline silicon thin film RTCVD (rapid thermal chem- ical vapor deposition) SSP (silicon sheet from powder)
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