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非晶微晶过渡区域硅薄膜的微区喇曼散射研究 被引量:33
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作者 张世斌 廖显伯 +6 位作者 安龙 杨富华 孔光临 王永谦 徐艳月 陈长勇 刁宏伟 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第8期1811-1815,共5页
通过改变氢气对硅烷气体的稀释程度 ,并保持其他的沉积参量不变 ,用等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)方法成功地制备出处于非晶 微晶相变过渡区域的硅薄膜样品 .测量了样品的室温光电导和暗电导 ,样品的光电性能优越 ,在 5 0mW·cm... 通过改变氢气对硅烷气体的稀释程度 ,并保持其他的沉积参量不变 ,用等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)方法成功地制备出处于非晶 微晶相变过渡区域的硅薄膜样品 .测量了样品的室温光电导和暗电导 ,样品的光电性能优越 ,在 5 0mW·cm- 2 的白光照射下 ,光电导和暗电导的比值达到 10 6 .在室温下用微区喇曼谱研究了薄膜的微结构特性 ,用高斯函数对喇曼谱进行了拟合分析 .结果表明 ,在我们的样品制备条件下 ,当H2 和SiH4 的流量比R较小时 ,样品表现出典型的非晶硅薄膜的结构特性 ;随流量比R的增大 ,薄膜表现出两相结构 ,其中的微晶成分随氢稀释比的增大逐渐增多 ;用量子尺寸效应估算了两个高氢稀释样品 (R >5 0 )中微晶粒的平均尺寸大小为 2 4nm左右 ; 展开更多
关键词 非晶/微晶过渡区 非晶硅薄膜 喇曼散射 微结构
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Al_2O_3基复合材料中纳米SiC对微观结构的影响 被引量:22
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作者 王宏志 高濂 +2 位作者 陈红光 归林华 郭景坤 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1998年第4期603-607,共5页
本文从烧结温度、基体晶粒大小、断裂方式、SiC在基体中的分布等几个方面研究了纳米SiC颗粒的加入对Al2O3微观结构的影响.用非均相沉淀工艺制备的纳米SiC-Al2O3复合粉体,具有Al2O3颗粒包裹纳米SiC的特点,提高了烧结温度,明显使Al2O... 本文从烧结温度、基体晶粒大小、断裂方式、SiC在基体中的分布等几个方面研究了纳米SiC颗粒的加入对Al2O3微观结构的影响.用非均相沉淀工艺制备的纳米SiC-Al2O3复合粉体,具有Al2O3颗粒包裹纳米SiC的特点,提高了烧结温度,明显使Al2O3晶粒变小,并且抑制晶粒异常长大,试样的断裂方式从以沿晶断裂为主转变到以穿晶断裂为主.SiC在Al2O3中分布均匀,大部分位于晶粒内,少部分位于晶界上.这种微观结构有利于力学性能的提高. 展开更多
关键词 氧化铝 碳化硅 微观结构 复合材料 陶瓷 纳米级
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硅胶的二氧化碳吸附性能及其与微孔结构的关系 被引量:26
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作者 梅华 陈道远 +1 位作者 姚虎卿 沈健 《天然气化工—C1化学与化工》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期21-25,共5页
实验测定了CO2、N2在两种硅胶上的吸附平衡数据,用柱动态法研究了硅胶吸附剂在CO2/N2和CO2/H2体系中对CO2的动态吸附性能,比较了两种硅胶吸附剂吸附穿透曲线和吸附性能的差异,并研究硅胶的微结构特性对吸附二氧化碳性能的影响。结果表明... 实验测定了CO2、N2在两种硅胶上的吸附平衡数据,用柱动态法研究了硅胶吸附剂在CO2/N2和CO2/H2体系中对CO2的动态吸附性能,比较了两种硅胶吸附剂吸附穿透曲线和吸附性能的差异,并研究硅胶的微结构特性对吸附二氧化碳性能的影响。结果表明:比表面大、孔径分布趋向细孔有利于硅胶对二氧化碳的吸附,而适当的孔分布则有利于硅胶吸附剂减小扩散阻力。研究结果为硅胶吸附剂的改进以及变压吸附在合成气脱碳过程中的应用提供了依据。 展开更多
关键词 硅胶 二氧化碳 吸附 微孔结构
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碳化硅颗粒增强铝基复合材料的无压浸渗反应机理探讨 被引量:18
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作者 张少卿 崔岩 +1 位作者 王美炫 宋颖刚 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第12期8-11,共4页
为探讨 Si CP/ Al基复合材料无压浸渗反应机理 ,利用 XPS鉴定了 Si C预制体浸渗前沿界面上的反应产物结构 ,采用 HRTEM研究了 Si CP/ Al基复合材料的界面结构。结果表明 ,浸渗与未浸渗部分之间的界面上存在 Mg O,Al2 O3和 Zn O诸化合物 ... 为探讨 Si CP/ Al基复合材料无压浸渗反应机理 ,利用 XPS鉴定了 Si C预制体浸渗前沿界面上的反应产物结构 ,采用 HRTEM研究了 Si CP/ Al基复合材料的界面结构。结果表明 ,浸渗与未浸渗部分之间的界面上存在 Mg O,Al2 O3和 Zn O诸化合物 ,没有发现氮的化合物。在 Si C相与铝相的界面上仅存在 Mg Al2 O4相 ,Mg Al2 O4相几乎连续地包敷在 Si C颗粒上。这表明 ,高温下 Si C与熔 Al合金接触后 ,Si C颗粒表面上的 Si O2 与 Al,Mg,Zn诸元素发生了放热反应 ,从而降低了表面张力 ,提高了湿润性 。 展开更多
关键词 碳化硅颗粒增强铝基复合材料 反应机理 无压浸渗 界面反应 微观组织
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β晶种增韧Si_3N_4复合材料的制备和力学性能 被引量:12
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作者 罗学涛 袁润章 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第4期461-465,共5页
利用β-Si3N4晶种制备Si3N4复合材料,研究了晶种对材料显微结构和力学性能的影响.实验结果表明,晶种尺寸可控制Si3N4晶粒生长和显微结构均匀性.当所加入晶种直径和长径比较小时,晶粒直径形成双峰分布的显微结构,... 利用β-Si3N4晶种制备Si3N4复合材料,研究了晶种对材料显微结构和力学性能的影响.实验结果表明,晶种尺寸可控制Si3N4晶粒生长和显微结构均匀性.当所加入晶种直径和长径比较小时,晶粒直径形成双峰分布的显微结构,材料的抗弯强度较高.当晶种尺寸适中时,其显微结构均匀,断裂韧性值明显提高;晶种的加入量过多。 展开更多
关键词 氮化硅 晶种 复合材料 显微结构 力学性 陶瓷
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烧结助剂对氮化硅陶瓷热导率和力学性能的影响 被引量:21
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作者 刘剑 谢志鹏 +1 位作者 肖志才 肖毅 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第12期1865-1871,共7页
以氮化硅(α相≥95%,平均粒径0.5μm)为原料,添加MgO-Y2O3为复合烧结助剂,采用气压烧结技术制备了β相高导热氮化硅陶瓷。研究和讨论了烧结助剂含量和比例对氮化硅陶瓷致密化过程、热导率、力学性能和显微结构的影响。结果表明:当烧结... 以氮化硅(α相≥95%,平均粒径0.5μm)为原料,添加MgO-Y2O3为复合烧结助剂,采用气压烧结技术制备了β相高导热氮化硅陶瓷。研究和讨论了烧结助剂含量和比例对氮化硅陶瓷致密化过程、热导率、力学性能和显微结构的影响。结果表明:当烧结助剂添加量为5%MgO+4%Y2O3时,使用气压烧结在1 890℃烧结2 h,试样的热导率可达到85.96 W·m^-1K^-1,抗弯强度达到873 MPa,断裂韧性为8.39 MPa·m^1/2;在烧结过程中Y2O3与Si3N4反应形成化合物固定在晶界处,减少了固溶进氮化硅晶格中氧的含量,起到了净化氮化硅晶格的作用,提高了烧结试样的热导率;过量的MgO或Y2O3在烧结过程中形成的化合物残留在晶界处,降低了材料的力学性能和热导率。 展开更多
关键词 氮化硅 气压烧结 热导率 力学性能 显微结构
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飞秒激光功率与脉冲数的比例关系对制备硅表面微结构的影响 被引量:19
7
作者 彭滟 温雅 +5 位作者 张冬生 陈宏彦 罗士达 陈麟 徐公杰 朱亦鸣 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第12期78-82,共5页
通过使用两种不同波长的飞秒激光脉冲分别与硅材料相互作用,证明了在相同的激光通量下,激光功率和脉冲数之间的比例将对硅表面微结构的形成起决定性作用。在飞秒激光与硅表面相互作用的过程中,脉冲数表征激光与样品之间的作用时间长短,... 通过使用两种不同波长的飞秒激光脉冲分别与硅材料相互作用,证明了在相同的激光通量下,激光功率和脉冲数之间的比例将对硅表面微结构的形成起决定性作用。在飞秒激光与硅表面相互作用的过程中,脉冲数表征激光与样品之间的作用时间长短,决定了能量传递到材料内部的深浅程度;而激光功率则表征硅表面材料的消融与挥发程度。因此,恰当地选择激光功率和脉冲数能有效形成表面具有较高尖峰的微结构硅,从而获得在宽光谱范围内均具有高吸收效率的微纳硅基光伏材料。这一结果对表面微结构材料的有效制备、表面形态控制,及其相应的光电属性等都有着重要的意义。 展开更多
关键词 激光技术 微结构 飞秒激光脉冲 吸收
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Si含量对TiO_2/SiO_2复合气凝胶结构及光催化性能的影响 被引量:16
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作者 刘朝辉 苏勋家 侯根良 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期911-915,共5页
采用溶胶-凝胶法制备了不同Si含量的TiO2/SiO2复合气凝胶.利用XRD、FTIR、XPS和BET等手段表征了复合气凝胶组织结构,以甲基橙溶液光催化降解实验评价其光催化活性,研究了Si含量对TiO2/SiO2复合气凝胶的结构及光催化性能影响规律.结果表... 采用溶胶-凝胶法制备了不同Si含量的TiO2/SiO2复合气凝胶.利用XRD、FTIR、XPS和BET等手段表征了复合气凝胶组织结构,以甲基橙溶液光催化降解实验评价其光催化活性,研究了Si含量对TiO2/SiO2复合气凝胶的结构及光催化性能影响规律.结果表明:TiO2/SiO2复合气凝胶中Ti-O-Ti、Si-O-Si和Ti-O-Si键相互交织,使复合气凝胶具有小晶粒尺寸、高比表面积和高热稳定性.随着Si含量增大,TiO2/SiO2复合气凝胶中TiO2晶粒尺寸减小,TiO2结晶度降低,比表面积增大,平均孔径减小,且TiO2/SiO2复合气凝胶对甲基橙溶液的光催化降解活性呈现先升后降的变化趋势.适当Si含量能显著改善TiO2/SiO2复合气凝胶的结构和光催化性能,Si含量最佳值在9wt%附近. 展开更多
关键词 TiO2/SiO2复合气凝胶 SI含量 组织结构 光催化性能
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SiO_2对烧结矿冶金性能及微观结构的影响 被引量:17
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作者 闫志武 张建良 +4 位作者 张亚鹏 陈子罗 王耀祖 高斌 张艳 《工程科学学报》 EI CSCD 北大核心 2016年第7期913-919,共7页
为给高铁低硅烧结矿的生产提供理论依据,设计烧结矿碱度R为1.8、1.9和2.0,每种碱度下以SiO_2含量为变量,产生12组配矿方案进行烧结杯实验,研究SiO_2对烧结矿冶金性能及微观结构的影响.结果表明:SiO_2质量分数从4.8%~5.7%增加时,其冷态... 为给高铁低硅烧结矿的生产提供理论依据,设计烧结矿碱度R为1.8、1.9和2.0,每种碱度下以SiO_2含量为变量,产生12组配矿方案进行烧结杯实验,研究SiO_2对烧结矿冶金性能及微观结构的影响.结果表明:SiO_2质量分数从4.8%~5.7%增加时,其冷态强度逐渐增加,最大增幅为8%;烧结矿还原性逐渐降低,降幅区间为从86.80%到81.01%;还原粉化指数RDI+3.15逐渐增大,增幅区间为从75.95%到87.21%;对于软熔性能,其软化开始温度T10在4.8%~5.4%的SiO_2含量区间先升高,在5.4%~5.7%之间又降低,而软化区间有变宽的趋势.选定一个碱度水平R=2.0,烧结矿SiO_2质量分数在4.8%~5.7%范围变化时,其微观结构由熔蚀状向针柱状发展,结构均匀性逐渐提高,主要矿物组成由赤铁矿向铁酸钙发展,且低温还原粉化的骸晶状赤铁矿逐渐消失. 展开更多
关键词 烧结 二氧化硅 冶金性能 微观结构
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扫描速度对硅钢表面激光熔覆层组织和硬度的影响 被引量:13
10
作者 董丹阳 张滨 +1 位作者 陈岁元 刘常升 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期849-852,共4页
在低硅钢表面激光熔覆Fe-Si粉末制备高硅熔覆层,研究了激光扫描速度对熔覆层宏观形貌、相组成、显微组织、成分及硬度分布等的影响.结果表明,不同扫描速度条件下熔覆层表面均由-αFe(Si),-γFe(Si)和FeSi2组成;随扫描速度增大,熔覆层的... 在低硅钢表面激光熔覆Fe-Si粉末制备高硅熔覆层,研究了激光扫描速度对熔覆层宏观形貌、相组成、显微组织、成分及硬度分布等的影响.结果表明,不同扫描速度条件下熔覆层表面均由-αFe(Si),-γFe(Si)和FeSi2组成;随扫描速度增大,熔覆层的组织有细化的趋势,组织不均匀性得到改善;同时,熔覆层厚度减小,导致稀释率减小,使熔覆层平均硅含量提高,显微硬度提高.通过调整激光扫描速度,获得了无裂纹缺陷,且与基体呈良好冶金结合的熔覆层,最佳扫描速度为2.5 mm/s. 展开更多
关键词 激光表面熔覆 硅钢 激光扫描速度 显微组织 硬度
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Optimal preparation of high-entropy boride-silicon carbide ceramics 被引量:14
11
作者 Yan ZHANG Shi-Kuan SUN +3 位作者 Wei-Ming GUO Liang XU Wei ZHANG Hua-Tay LIN 《Journal of Advanced Ceramics》 SCIE CAS CSCD 2021年第1期173-180,共8页
High-entropy boride-silicon carbide(HEB-SiC)ceramics were fabricated using boridebased powders prepared from borothermal and boro/carbothermal reduction methods.The effects of processing routes(borothermal reduction a... High-entropy boride-silicon carbide(HEB-SiC)ceramics were fabricated using boridebased powders prepared from borothermal and boro/carbothermal reduction methods.The effects of processing routes(borothermal reduction and boro/carbothermal reduction)on the HEB powders were examined.HEB-SiC ceramics with>98%theoretical density were prepared by spark plasma sintering at 2000℃.It was demonstrated that the addition of SiC led to slight coarsening of the microstructure.The HEB-SiC ceramics prepared from boro/carbothermal reduction powders showed a fine-grained microstructure and higher Vickers9 hardness but lower fracture toughness value as compared with the same composition prepared from borothermal reduction powders.These results indicated that the selection of the powder processing method and the addition of SiC phase could contribute to the optimal preparation of high-entropy boride-based ceramics. 展开更多
关键词 high-entropy boride-silicon ceramics borothermal reduction boro/carbothermal reduction microstructure mechanical properties
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Si_3N_4加入量对Al_2O_3-SiC-C铁沟浇注料性能的影响 被引量:14
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作者 李朝云 涂军波 魏军从 《耐火材料》 CAS 北大核心 2009年第4期260-262,共3页
以电熔棕刚玉、碳化硅、α-Al2O3微粉、白刚玉、硅灰、硅粉为主要原料,以高铝水泥为结合剂,制备了铁沟浇注料,研究了Si3N4加入量(质量分数分别为0、3%、6%、9%、12%)对试样性能、物相组成和显微结构的影响。结果表明:(1)随着Si3N4加入... 以电熔棕刚玉、碳化硅、α-Al2O3微粉、白刚玉、硅灰、硅粉为主要原料,以高铝水泥为结合剂,制备了铁沟浇注料,研究了Si3N4加入量(质量分数分别为0、3%、6%、9%、12%)对试样性能、物相组成和显微结构的影响。结果表明:(1)随着Si3N4加入量的增加,不同温度处理后Al2O3-SiC-C试样体积密度和常温强度基本上呈先增大后减小,显气孔率呈先减小后增大的变化趋势,Si3N4的适宜加入量为3%~6%。(2)中高温热处理时,试样中的Si3N4部分氧化生成了活性很高的SiO2,进而与Si3N4和α-Al2O3反应生成了O’-SiAlON结合相。(3)高温处理后试样的高温抗折强度随Si3N4加入量的增加而增大,而未经高温处理的试样的高温抗折强度则随着Si3N4加入量的增加而减小,这与试样中O’-SiAlON相的生成量有关。 展开更多
关键词 氮化硅 铁沟浇注料 高温抗折强度 显微结构 O’-SiAlON
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TMAH腐蚀液制作硅微结构的研究 被引量:13
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作者 张建辉 李伟东 +1 位作者 万红 吴学忠 《传感技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期593-596,共4页
通过各向异性腐蚀硅微结构工艺,研究了四甲基氢氧化铵(TMAH)腐蚀液的特性,包括硅(100)晶面腐蚀速率与TAMH溶液浓度、温度、pH值以及过硫酸铵添加剂的关系,并采用原子力显微镜研究了不同腐蚀条件下硅的表面形貌,研究表明随TMAH溶液的浓... 通过各向异性腐蚀硅微结构工艺,研究了四甲基氢氧化铵(TMAH)腐蚀液的特性,包括硅(100)晶面腐蚀速率与TAMH溶液浓度、温度、pH值以及过硫酸铵添加剂的关系,并采用原子力显微镜研究了不同腐蚀条件下硅的表面形貌,研究表明随TMAH溶液的浓度的降低和腐蚀温度的提高,腐蚀速率提高,硅腔的表面粗糙度增大;过硫酸铵添加剂明显改善了硅微腔的表面平整度。本研究所确定的最佳腐蚀工艺条件为溶液中TMAH浓度为25%,过硫酸铵添加剂浓度为3%,腐蚀温度80℃。在此工艺条件下腐蚀出了深度为230μm、表面粗糙度小于50nm的硅微腔。 展开更多
关键词 MEMS TMAH 硅微结构 各向异性腐蚀
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硅钢高温氧化铁皮的显微结构表征 被引量:14
14
作者 吴园园 张珂 +1 位作者 洪慧敏 牛亚慧 《冶金分析》 CAS CSCD 北大核心 2014年第10期25-31,共7页
利用电子探针面分析、状态分析及电子背散射衍射相分析技术研究硅钢高温氧化铁皮的显微结构。电子探针面分析可以直观的看出元素的分布状态,初步判断氧化铁皮的结构,而状态分析可以准确表征常规氧化铁皮中铁元素的状态,对于合金元素富... 利用电子探针面分析、状态分析及电子背散射衍射相分析技术研究硅钢高温氧化铁皮的显微结构。电子探针面分析可以直观的看出元素的分布状态,初步判断氧化铁皮的结构,而状态分析可以准确表征常规氧化铁皮中铁元素的状态,对于合金元素富集区域则通过电子背散射衍射相分析技术来标定。结果表明,高温氧化铁皮的结构主要有4层,即最外层为厚度约为10μm的Fe2O3相,次外层为Fe3O4相,中间层为FeO相上分布有颗粒状的Fe3O4相,最内层为FeO相和Si元素富集的Fe2SiO4相。其中Fe2SiO4层的分布特征与加热温度密切相关:1 100℃时,Fe2SiO4相呈颗粒状,弥散分布在FeO层;1 200℃时,Fe2SiO4相呈液态,侵入基体和疏松的FeO层,且沿着FeO晶界呈网状分布。 展开更多
关键词 电子探针 状态分析 面分析 电子背散射衍射 硅钢 氧化铁皮 显微结构
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用低纯碳化硅微粉烧结碳化硅陶瓷 被引量:11
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作者 武七德 孙峰 +2 位作者 吉晓莉 田庭燕 郝慧 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期60-64,共5页
用工业尾料低纯W3.5μmSiC微粉为原料,在N2保护下烧结碳化硅(SiC)陶瓷。研究了低纯SiC微粉中杂质对SiC陶瓷力学性能的影响,对比了微粉提纯后材料的性能与结构。通过扫描电镜、金相显微镜分析材料的显微结构。结果表明:微粉杂质中SiO2、... 用工业尾料低纯W3.5μmSiC微粉为原料,在N2保护下烧结碳化硅(SiC)陶瓷。研究了低纯SiC微粉中杂质对SiC陶瓷力学性能的影响,对比了微粉提纯后材料的性能与结构。通过扫描电镜、金相显微镜分析材料的显微结构。结果表明:微粉杂质中SiO2、金属氧化物在SiC烧结温度下的放气反应是影响陶瓷材料力学性能的主要因素。由低纯SiC粉制得的材料的烧结密度达到(3.15±0.01)g/cm3,抗折强度达到(441±10)MPa。 展开更多
关键词 碳化硅 反应烧结 显微结构
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稀土Ce对A356铝合金力学性能及显微组织的影响 被引量:14
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作者 刘春海 谭青 +4 位作者 刘华 黄美松 邓月华 马路路 宋觉敏 《稀有金属与硬质合金》 CSCD 北大核心 2017年第3期45-49,共5页
运用金相显微镜、扫描电镜、能谱仪、X射线衍射仪和万能电子拉伸试验机等研究了稀土Ce对A356铝合金显微组织和力学性能的影响。结果表明,稀土Ce是A356铝合金的一种优良变质剂,不但能使α-Al初生相晶粒得到细化,而且能使共晶硅变得细小... 运用金相显微镜、扫描电镜、能谱仪、X射线衍射仪和万能电子拉伸试验机等研究了稀土Ce对A356铝合金显微组织和力学性能的影响。结果表明,稀土Ce是A356铝合金的一种优良变质剂,不但能使α-Al初生相晶粒得到细化,而且能使共晶硅变得细小、圆整且分布均匀。稀土Ce在A356铝合金中主要以稀土金属间化合物Al_(11)Ce_3相存在。当Ce添加量为0.04%时,A356铝合金的抗拉强度、屈服强度及延伸率分别为307.5 MPa、239 MPa、7.72%,比未添加Ce的A356铝合金分别提高了7.89%、24.48%和108.09%。 展开更多
关键词 CE A356铝合金 α-Al 共晶硅 力学性能 显微组织
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硅对铸态厚断面高韧性球墨铸铁组织及性能的影响 被引量:13
17
作者 孙玉福 于广文 +3 位作者 崔金鹤 洪书淮 申云霄 余颂青 《铸造》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期114-116,共3页
研究了硅对铸态厚断面高韧性球墨铸铁组织及性能的影响。试验结果表明,硅主要分布于基体中,富集于奥氏体壳局部区域时,降低奥氏体壳的熔点,延长石墨自由生长的时间,造成石墨畸变。在铸件壁厚为100mm,树脂砂工艺条件下,硅含量为2.0%~2.5... 研究了硅对铸态厚断面高韧性球墨铸铁组织及性能的影响。试验结果表明,硅主要分布于基体中,富集于奥氏体壳局部区域时,降低奥氏体壳的熔点,延长石墨自由生长的时间,造成石墨畸变。在铸件壁厚为100mm,树脂砂工艺条件下,硅含量为2.0%~2.5%时,石墨球化等级2~3级,球径等级6~7级,基体为铁素体。抗拉强度大于400 MPa,伸长率大于20%,-20℃时的冲击韧度在16J/cm2以上。硅含量达到2.9%时,易产生开花状石墨和碎块状石墨,铸件的性能严重下降。 展开更多
关键词 铸态厚断面高韧性球墨铸铁 组织 性能 畸变石墨
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微加速度传感器硅微结构设计 被引量:10
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作者 金磊 高世桥 李文杰 《传感器技术》 CSCD 2000年第2期23-25,共3页
:围绕加速度信息 ,探讨微机电加速度传感器的设计和分析 ,提出了微机电传感系统硅微结构设计的原则 ,并根据典型的弹性质量系统 ,建立了其过载变形的模型 ,给出了用于计算位移加速度关系系数的方法。
关键词 微机电系统 微加速度传感器 硅微结构 设计
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直接凝固注模成型氮化硅陶瓷 被引量:11
19
作者 刘学建 黄莉萍 +2 位作者 古宏晨 徐鑫 符锡仁 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期877-882,共6页
直接凝固注模成型是一种新颖的原位凝固成型工艺,特别适合于复杂形状陶瓷部件的成型.通过粉体的表面改性、浆料pH值的调节以及引入高效分散剂等途径制备出了低粘度高固含量的氮化硅浆料,通过直接凝固注模成型可以获得适当的素坯密... 直接凝固注模成型是一种新颖的原位凝固成型工艺,特别适合于复杂形状陶瓷部件的成型.通过粉体的表面改性、浆料pH值的调节以及引入高效分散剂等途径制备出了低粘度高固含量的氮化硅浆料,通过直接凝固注模成型可以获得适当的素坯密度和强度.坯体气孔分布均匀,为较窄的单峰分布,断口光滑平整,坯体各部位密度具有很好的均匀性.在相对较低的烧结温度下(1750℃),成型坯体经过无压烧结可达到理论密度的98%,基本实现致密化.烧结体结构均匀,晶粒均匀生长,发育良好.经1800℃烧结2h后,抗折强度达758.4 MPa,断裂韧性为6.3MPa·m1/2. 展开更多
关键词 氮化硅 直接凝固注模成型 显微结构 力学性能 陶瓷 成型工艺
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MgO–Al_2O_3–CeO_2复合烧结助剂对放电等离子烧结氮化硅陶瓷致密化和性能的影响 被引量:13
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作者 杨亮亮 谢志鹏 李双 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第12期1712-1718,共7页
以MgO–Al_2O_3–CeO_2复合体系为烧结助剂,采用放电等离子烧结工艺制备氮化硅陶瓷。研究了MgO–Al_2O_3–CeO_2含量、烧结温度对氮化硅陶瓷显微结构及力学性能的影响;探讨了复合烧结助剂作用下氮化硅陶瓷的烧结机理。结果表明:当混合... 以MgO–Al_2O_3–CeO_2复合体系为烧结助剂,采用放电等离子烧结工艺制备氮化硅陶瓷。研究了MgO–Al_2O_3–CeO_2含量、烧结温度对氮化硅陶瓷显微结构及力学性能的影响;探讨了复合烧结助剂作用下氮化硅陶瓷的烧结机理。结果表明:当混合粉体中Si_3N_4、MgO、Al_2O_3和CeO_2的质量比为91:3:3:3、烧结温度为1600℃时,氮化硅烧结体相对密度(99.70%)、硬度(18.84GPa)和断裂韧性(8.82MPa?m1/2)达最大值,晶粒以长柱状的β相为主,α-Si_3N_4→β-Si_3N_4相转变率达93%;当混合粉体中Si_3N_4、MgO、Al2O3和CeO_2的质量比为88:4:4:4、烧结温度为1600℃时,烧结体抗弯强度(1086MPa)达到最大值。 展开更多
关键词 氮化硅 复合烧结助剂 力学性能 显微结构
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