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基于半导体硅片的容栅千分传感器的设计 被引量：2
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作者 王孝 王玉花 +2 位作者 周善波 谢行 沈传兵 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第8期95-96,103,共3页
容栅千分传感器广泛应用于位移测量中,设计的容栅千分传感器,将普通容栅传感器在线路板上的刻线划分移植到了半导体硅片上,利用了半导体的工艺技术,实现刻线划分的高精度、高密度,从而达到普通线路板无法达到的精度,将容栅传感器的分辨... 容栅千分传感器广泛应用于位移测量中,设计的容栅千分传感器,将普通容栅传感器在线路板上的刻线划分移植到了半导体硅片上,利用了半导体的工艺技术,实现刻线划分的高精度、高密度,从而达到普通线路板无法达到的精度,将容栅传感器的分辨力提高至0.001mm。 展开更多
关键词 容栅 千分传感器 半导体硅片
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