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单晶硅游离磨粒线切割技术研究 被引量:11
1
作者 舒继千 魏昕 袁艳蕊 《工具技术》 2009年第1期31-35,共5页
游离磨料多线切割技术具有切割效率高、切口材料损耗小、表面损伤程度浅、切割噪声小等优点,能满足晶圆大直径化发展的加工需求。但游离磨料线切割技术发展历史短,目前还缺乏对游离磨料线切割过程材料的去除本征规律的充分认识和系统研... 游离磨料多线切割技术具有切割效率高、切口材料损耗小、表面损伤程度浅、切割噪声小等优点,能满足晶圆大直径化发展的加工需求。但游离磨料线切割技术发展历史短,目前还缺乏对游离磨料线切割过程材料的去除本征规律的充分认识和系统研究。本文介绍了游离磨料线切割方法的工作原理,综合分析了游离磨料线切割硅片的材料去除机理、切割线振动模型、切割温度及其影响因素等方面的研究结果,以期为游离磨料多线切割技术的深入研究和推广应用提供基础。 展开更多
关键词 游离磨粒线切割 切割线 单晶硅
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硅片用切割钢丝生产及断线分析 被引量:6
2
作者 邱长贵 芮益斌 《金属制品》 2013年第5期9-11,共3页
介绍切割钢丝生产的工艺要求和过程,分析切割钢丝断丝原因:(1)原料材质不合格或钢丝存在表面缺陷;(2)排线间距混乱或钢丝端末滑跑导致压线;(3)切割工艺不当。给出预防措施:(1)加强来料检验,严格生产过程控制,避免各个工序对钢丝表面的损... 介绍切割钢丝生产的工艺要求和过程,分析切割钢丝断丝原因:(1)原料材质不合格或钢丝存在表面缺陷;(2)排线间距混乱或钢丝端末滑跑导致压线;(3)切割工艺不当。给出预防措施:(1)加强来料检验,严格生产过程控制,避免各个工序对钢丝表面的损伤;(2)控制工字轮排线角度在10°内,严格端末固定作业程序,用户打结作业前不可将防止压线的胶带提前撕掉;(3)在多线切割中,单位钢丝内切割的硅棒面积越小,钢丝的断线率越低,控制切割系数小于120。在使用过程中针对钢丝的断线原因,适当采取预防措施可以很好的控制断线率,从而节约切割成本,提高硅片质量。 展开更多
关键词 切割钢丝 硅片切割 生产工艺 断线分析 预防措施
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光伏太阳能硅片切割用钢丝生产 被引量:6
3
作者 崔影 《金属制品》 2013年第2期15-18,共4页
切割钢丝一般选用碳质量分数为0.80%~0.92%的专用盘条,对钢材冶炼水平尤其是各类非金属夹杂物的数量、尺寸等有较高质量要求。介绍常用规格切割硅片用钢丝的生产工艺流程,给出切割钢丝的主要规格及相应的技术指标。分析对切割钢丝质量... 切割钢丝一般选用碳质量分数为0.80%~0.92%的专用盘条,对钢材冶炼水平尤其是各类非金属夹杂物的数量、尺寸等有较高质量要求。介绍常用规格切割硅片用钢丝的生产工艺流程,给出切割钢丝的主要规格及相应的技术指标。分析对切割钢丝质量有重要影响的因素:半成品钢丝热处理采用水浴淬火,焦磷酸盐电镀铜,硫酸盐电镀锌,并通过热扩散形成黄铜组织;盘条及中丝的拉拔采用直进式拉丝机,最终热处理后冷拉采用水箱拉丝机;水箱拉丝机成品拉拔前1~3道次选用聚晶模,其余选用硬质合金模具,并严格控制润滑液的成分,将润滑液温度控制在最佳温度区间。生产直径小于0.100 mm的金刚石线锯是切割钢丝未来的发展方向。 展开更多
关键词 太阳能硅片 切割钢丝 热处理 电镀黄铜 拉拔 拉丝模 润滑液
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Sawing Performance Comparison of Brazed and Sintered Diamond Wires 被引量:4
4
作者 HUANG Guoqin XU Xipeng 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第2期393-399,共7页
Great attention has been paid on fabricating diamond wire by using the brazing diamond because of its strong chemical bonding strength and controllability of grits distribution. Although several serving performances o... Great attention has been paid on fabricating diamond wire by using the brazing diamond because of its strong chemical bonding strength and controllability of grits distribution. Although several serving performances of brazed diamond wire have been reported, seldom do these studies refer to its process characteristics. Sawing performances of a brazed diamond wire are investigated and compared with those of a sintered diamond wire on a wire saw machine. The surface topographies of beads selected from the two wires are micro observed before sawing. The sawing tests are carried out in constant feed rate feeding(CFF) and constant normal force feeding(CNFF). In CFF test, sawing force, power, and the cut depths of positions on contact curve are measured. Then, coupled with the observations of beads topographies, sawing force and its ratio, relations of power against material removal rate, and contact curve linearity are compared and discussed. In CNFF test, the sawing rates of the two wires are investigated. The results indicate that the brazed wire performs with lower sawing force(less 16% of tangential force and 28% of normal force), more energy efficiency(nearly one-fifth of sawing power is saved), at a higher sawing rate (the rate is doubled) and with better contact curve linearity as compared with the sintered wire. This proposed research experimentally evaluates the sawing performances of brazed diamond wire from the aspect of process parameters, which can provide a basis for popularizing the brazed diamond wire. 展开更多
关键词 diamond wire BRAZE SINTER sawing force power contact curve
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单晶硅棒等高硬脆性材料锯切线及其制备技术的现状与发展趋势
5
作者 黄炜 徐金宝 +2 位作者 吕忠光 李振华 张国富 《世界有色金属》 2023年第6期137-141,共5页
本文阐述了半导体和新能源用单晶硅、光伏硅片、蓝宝石等高硬脆材料锯切线及其制备技术的现状,分析了现有锯切线及其制备技术存在的问题,展望了钨合金基线锯切线及其制备技术研究的发展趋势,探讨了锯切线行业标准完善与相应的检验技术,... 本文阐述了半导体和新能源用单晶硅、光伏硅片、蓝宝石等高硬脆材料锯切线及其制备技术的现状,分析了现有锯切线及其制备技术存在的问题,展望了钨合金基线锯切线及其制备技术研究的发展趋势,探讨了锯切线行业标准完善与相应的检验技术,为相关行业发展提供有益的参考。 展开更多
关键词 高硬脆材料 锯切线 现状与发展趋势 标准与检验
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切割硅片用电镀黄铜钢丝行业标准制定 被引量:3
6
作者 宋为 薛金祥 +4 位作者 朱鹏 刘卫国 胡贻军 庄超 王宝玉 《金属制品》 2013年第4期56-59,63,共5页
介绍切割钢丝行业标准制定的任务来源及编制过程,并说明编制内容。确定术语定义、钢丝标记方法,钢丝系列及其外形尺寸偏差;把钢丝破断拉力确定为主要力学性能,把公称抗拉强度定义为仅作参考的名义值。强调线轴钢丝由1根组成,不允许有焊... 介绍切割钢丝行业标准制定的任务来源及编制过程,并说明编制内容。确定术语定义、钢丝标记方法,钢丝系列及其外形尺寸偏差;把钢丝破断拉力确定为主要力学性能,把公称抗拉强度定义为仅作参考的名义值。强调线轴钢丝由1根组成,不允许有焊接头存在,同时规定钢丝无排线不良缺陷及不应有漏镀或明显色差存在;钢丝表面应光滑、无竹节或折弯,钢丝长度不允许有负偏差;对试验方法、钢丝的检验项目、取样数量及检验方法进行定性定量要求,同时对其包装、标志、运输、贮存条件等进行规范。 展开更多
关键词 切割钢丝 电镀黄铜 行业标准 硅片 翘距 破断拉力 线轴
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新型锯丝的弹塑性冷绕成形与回弹研究 被引量:3
7
作者 姚春燕 陈思源 彭伟 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第20期2809-2814,2819,共7页
为提高新型锯丝冷绕成形的精度,对内外线径的关系进行了研究。通过分析锯丝成形时所受载荷及弹塑性变形,建立了拉伸弯曲组合的力学模型,从而得出了轴向力影响下弯矩与弯曲半径之间的数学关系。利用纯弯下的M-k曲线,采用用特征点切线表... 为提高新型锯丝冷绕成形的精度,对内外线径的关系进行了研究。通过分析锯丝成形时所受载荷及弹塑性变形,建立了拉伸弯曲组合的力学模型,从而得出了轴向力影响下弯矩与弯曲半径之间的数学关系。利用纯弯下的M-k曲线,采用用特征点切线表征塑性段曲线的方法确定了回弹弯矩和回弹曲率,推导出了内外线径的理论计算公式,并以锯丝的冷绕成形实验验证了公式的可靠性。从材料和工艺方面提出了回弹控制措施,对新型锯丝的生产具有一定的指导意义。 展开更多
关键词 锯丝 弹塑性 冷绕成形 回弹
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电镀液对生产厚镀层切割钢丝半成品的影响 被引量:3
8
作者 席丙军 张云松 《金属制品》 2013年第2期29-31,共3页
钢帘线企业生产切割钢丝或提供电镀黄铜半成品钢丝时,遇到黄铜镀层厚度加厚的问题。分析影响镀层厚度的各个因素:电镀镀层面质量主要取决于电流密度、钢丝浸液长度和运行速度(沉积时间)。选用赫尔槽实验,改变镀液配方,镀铜溶液主要成分P... 钢帘线企业生产切割钢丝或提供电镀黄铜半成品钢丝时,遇到黄铜镀层厚度加厚的问题。分析影响镀层厚度的各个因素:电镀镀层面质量主要取决于电流密度、钢丝浸液长度和运行速度(沉积时间)。选用赫尔槽实验,改变镀液配方,镀铜溶液主要成分P2O74-质量浓度控制在210~230 g/L,Cu2+质量浓度控制在33~36 g/L,其比值控制在6.0~6.8,可确保电镀时最大允许电流密度为18.2 A/dm2,铜层厚度提高10%~25%,满足切割钢丝成品镀层要求,改变了常用的增加镀铜槽长度或降低走线速度的方法,节省投资,提高效率。 展开更多
关键词 切割钢丝 电镀黄铜 赫尔槽实验 电流密度 电镀液
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Polycrystalline diamond mini-cubes for sawing applications 被引量:1
9
作者 Sung James C. Chang Kuen-liang +2 位作者 Tso Pei-lum Hsu Kai-hung Sung Michael 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2008年第S1期83-87,共5页
Diamond grits are indispensable for sawing granite or concrete.Each year about 1 000 tons of diamond grits are consumed for such purposes.In all cases,mono crystalline diamond is used.However, polycrystalline grits(po... Diamond grits are indispensable for sawing granite or concrete.Each year about 1 000 tons of diamond grits are consumed for such purposes.In all cases,mono crystalline diamond is used.However, polycrystalline grits(polygrits) are generally better performed than mono grits as abrasives.For example,poly grits of cubic boron nitride(e.g.Borazon(?) CBN-550 of Diamond Innovations) can cut faster and they last longer than mono grits(e.g.Borazon(?) CBN-500). Polygrits of alumina(e.g.Cubitron(?) of 3M) also out perform by far glassy grits(e.g.white alumina).For diamond superabrasives,micron polygrits formed by shock waves may polish as fast as mono grits of the same size,but without causing as much scratches due to the presence of smaller sintered grains.The improved performance of poly grits is attributed to their ability to micro chipping that renews the sharp cutting corners from time to time.By contrast,mono grits tend to round off at low cutting force or macro fracture at high cutting force,so they may lose the cutting ability rapidly. For sawing granite with mesh sizes 40/50 or coarser,poly grits of diamond have not been available until recently.In this research,we have made polygrits in mini cube with sizes of 18/20,20/25,and 30/40.Turbo grinders and wire saws were made by brazing both mono grits and polygrits on steel substrates.Cutting performance on granite demonstrated that grinding speed was faster with turbo grinder,and the surface finish was smoother with wire saw for poly grits than mono ones. Polygrits and mono grits of diamond were mixed for comparison(upper left).Polygrits of mini cubes were brazed on the pearl of a wire saw(upper right).Mono diamond grits were brazed on a turbo grinder(bottom diagrams ). 展开更多
关键词 GRANITE sawing diamond grits polygrits TURBO GRINDER wire saw
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Study on swarf when sawing granite with diamond wire 被引量:1
10
作者 WU Hairong GUO Hua +1 位作者 ZHAO Ruyi HUANG Hui 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2018年第2期71-77,共7页
The diamond wire-sawing process was developed to cut granite in both quarries and block processing plants.In this paper,swarf was collected from different areas along the sawing arc when sawing three granites.The part... The diamond wire-sawing process was developed to cut granite in both quarries and block processing plants.In this paper,swarf was collected from different areas along the sawing arc when sawing three granites.The particle size distribution and the morphology of the swarf were investigated systematically,along with the swarf formation mechanism in sawing.Granite swarf formation was dominated by transgranular fractures based on the morphology of sawn granite chips and the analysis of sawn chip size.A long cutting arc increased the movement among the swarf,tool,and workpiece,thereby inducing a secondary fracture in the sawn chip. 展开更多
关键词 DIAMOND wire sawing GRANITE swarf
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几种金刚石工具锯切石材分析 被引量:2
11
作者 唐存印 《珠宝科技》 2004年第5期40-43,共4页
金刚石工具的圆锯片、绳锯和框架锯条 ,是目前最常用的石材加工工具 ,它们因为加工方式和锯切机理的巨大差异而相互补充 ,在石材加工中发挥着重要作用。文章分析了这些工具锯切石材时的受力和磨损情况 ,比较了其加工性能上的特点。以当... 金刚石工具的圆锯片、绳锯和框架锯条 ,是目前最常用的石材加工工具 ,它们因为加工方式和锯切机理的巨大差异而相互补充 ,在石材加工中发挥着重要作用。文章分析了这些工具锯切石材时的受力和磨损情况 ,比较了其加工性能上的特点。以当前最具发展潜力而业内相对缺乏研究的绳锯为分析重点 ,认为这一加工方式具有许多独特和复杂的地方 ,不能用我们熟知的其它锯切机理进行简单的类推 ,并提出了一些新的看法。 展开更多
关键词 金刚石工具 锯切机理 框架锯条 串珠绳 圆锯片 分析研究
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锯切力作用下电镀金刚石线锯随机振动研究 被引量:7
12
作者 孟剑峰 李剑峰 +1 位作者 葛培琪 韩云鹏 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第24期2231-2234,共4页
考虑锯切力的随机性,由模态分析法导出了线锯切割运动方程的传递函数。由于电镀金刚石线锯单位长度质量很小而张紧力较大,临界速度大大高于线锯速度,所以线锯加工一般不会发生失稳现象。在传递函数的基础上,分析了线锯速度和张紧力对振... 考虑锯切力的随机性,由模态分析法导出了线锯切割运动方程的传递函数。由于电镀金刚石线锯单位长度质量很小而张紧力较大,临界速度大大高于线锯速度,所以线锯加工一般不会发生失稳现象。在传递函数的基础上,分析了线锯速度和张紧力对振动的影响,由此得出,在一定范围内,可通过增加线锯张紧力来减小振动,当线锯速度小于一定值时,振动基本不随速度的增加而增大。 展开更多
关键词 锯切力 电镀金刚石线锯 随机振动 传递函数
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多线摇摆往复式线锯切割加工运动的理论及试验研究 被引量:8
13
作者 杨沁 黄辉 郑生龙 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第11期219-228,共10页
多线摇摆往复式切割加工因其切割效率高和加工精度好的优点,现已逐渐成为硬脆材料晶圆的主要切割方式;分析了多线摇摆往复式切割加工中三个主要的运动方式,建立了多线摇摆往复式切割加工运动的理论模型,推导了线锯摇摆切割过程中的材料... 多线摇摆往复式切割加工因其切割效率高和加工精度好的优点,现已逐渐成为硬脆材料晶圆的主要切割方式;分析了多线摇摆往复式切割加工中三个主要的运动方式,建立了多线摇摆往复式切割加工运动的理论模型,推导了线锯摇摆切割过程中的材料去除率(Q)和单位长度新线材料去除体积(R)的理论计算公式;理论分析了加工工艺参数对Q和R的影响规律;从加工运动学的角度提出了固定R的线锯切割新构想,并逆向推导了晶圆切割过程的相关工艺参数变化曲线;通过与工厂现有加工工艺的线锯切割试验比较,证实本文所提出的线锯切割新构想能有效地提高晶圆切割质量。 展开更多
关键词 多线摇摆往复切割 材料去除率 单位长度新线材料去除体积 切割质量
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线锯切片技术及其在碳化硅晶圆加工中的应用 被引量:1
14
作者 张俊然 朱如忠 +6 位作者 张玺 张序清 高煜 陆赟豪 皮孝东 杨德仁 王蓉 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第3期365-379,共15页
作为制备半导体晶圆的重要工序,线锯切片对半导体晶圆的质量具有至关重要的影响。本文以发展最成熟的硅材料为例,介绍了线锯切片技术的基本理论,特别介绍了线锯切片技术的力学模型和材料去除机理,并讨论了线锯制造技术及切片工艺对材料... 作为制备半导体晶圆的重要工序,线锯切片对半导体晶圆的质量具有至关重要的影响。本文以发展最成熟的硅材料为例,介绍了线锯切片技术的基本理论,特别介绍了线锯切片技术的力学模型和材料去除机理,并讨论了线锯制造技术及切片工艺对材料的影响。在此基础上,综述了线锯切片技术在碳化硅晶圆加工中的应用和技术进展,并分析了线锯切片技术对碳化硅晶体表面质量和损伤层的影响。最后,本文指出了线锯切片技术在碳化硅晶圆加工领域面临的挑战与未来的发展方向。 展开更多
关键词 线锯切片 硬脆材料 单晶碳化硅 晶圆加工 砂浆线切割 金刚线切割
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硅晶体线切割液的研究进展与发展趋势 被引量:6
15
作者 熊次远 李庆忠 +1 位作者 钱善华 闫俊霞 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2012年第5期46-51,共6页
多线切割适用于切割大而薄的硅片,被广泛应用于硅晶体的工业生产中,而切割液对加工过程有着重要的影响。首先,阐述了切割液的作用机理;其次,对切割液的组成及工艺参数对切割液影响的研究现状分别进行了综述,指出了当前硅晶体切割液存在... 多线切割适用于切割大而薄的硅片,被广泛应用于硅晶体的工业生产中,而切割液对加工过程有着重要的影响。首先,阐述了切割液的作用机理;其次,对切割液的组成及工艺参数对切割液影响的研究现状分别进行了综述,指出了当前硅晶体切割液存在的一些问题,并指出了今后的发展趋势。 展开更多
关键词 多线切割 线切割液 工艺参数 组成配方
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线锯切技术发展状况 被引量:3
16
作者 谈耀麟 《超硬材料工程》 CAS 2013年第2期44-48,共5页
回顾线锯切技术发展的历史背景。分析了在半导体工业中锯切硅晶锭使用的超薄金刚石内圆锯片的优缺点。阐述游离磨料线锯的产生及其与超薄金刚石内圆锯片的性能对比以及游离磨料线锯在使用中的局限性。文章还介绍了固结磨料线锯中磨料的... 回顾线锯切技术发展的历史背景。分析了在半导体工业中锯切硅晶锭使用的超薄金刚石内圆锯片的优缺点。阐述游离磨料线锯的产生及其与超薄金刚石内圆锯片的性能对比以及游离磨料线锯在使用中的局限性。文章还介绍了固结磨料线锯中磨料的一些固结方式,并详细阐述当前先进的树脂粘结金刚石线锯和电镀金刚石线锯以及浸渍金刚石线锯的技术规格和技术性能。 展开更多
关键词 线锯切技术 游离磨料线锯 树脂粘结金刚石线锯 电镀金刚石线锯 浸渍金刚石线锯 发展 技术规格
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多丝切割技术及其关键 被引量:3
17
作者 程志华 黄伟 裴仁清 《工具技术》 2010年第6期51-53,共3页
多丝切割是一种新型的硅片切片加工方法,具有切割表面质量高、切割效率高和可切割大尺寸材料、方便后续加工等特点。本文论述了多丝切割机的切割加工过程、切割加工机理,提出了加工中的几个要点。
关键词 多丝切割 磨粒 滚—刻—削 走丝系统
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碳化硅晶圆切割方法综述 被引量:2
18
作者 邹苗苗 窦菲 《超硬材料工程》 CAS 2022年第3期35-41,共7页
碳化硅在功率器件的制造中具有巨大的应用价值,随着高功率半导体市场份额的不断增加,超薄大直径碳化硅晶圆的需求量日益增加。但是由于碳化硅是典型的硬脆性材料,晶圆切割的难度大,而且切割成本占晶圆生产总成本的50%,因此需要研究碳化... 碳化硅在功率器件的制造中具有巨大的应用价值,随着高功率半导体市场份额的不断增加,超薄大直径碳化硅晶圆的需求量日益增加。但是由于碳化硅是典型的硬脆性材料,晶圆切割的难度大,而且切割成本占晶圆生产总成本的50%,因此需要研究碳化硅晶圆切割方法以降低生产成本,提高材料利用率。文章系统总结了碳化硅晶圆的切割方法,介绍了线锯切割、激光热裂法、激光隐形切割碳化硅晶圆的原理和优缺点,最后论述了碳化硅激光隐形切割法研究的进展以及目前所面临的挑战,并且提出了该方法在未来的碳化硅晶圆切割领域将具有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 碳化硅 晶圆切割 线锯法 激光热裂法 隐形切割
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适用于硅晶体多线切割的线切割液研制 被引量:1
19
作者 熊次远 李庆忠 +1 位作者 钱善华 闫俊霞 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期1726-1731,1736,共7页
本文通过硅片旋转磨损试验模拟线切割过程,以评价切割液的切割性能。首先,通过对比试验选出线切割液的主要组份;接着,通过正交试验优化各组份的含量并得到最优配方;最后,在相同条件下将最优配方与某市场切割液进行比较。结果表明:自制... 本文通过硅片旋转磨损试验模拟线切割过程,以评价切割液的切割性能。首先,通过对比试验选出线切割液的主要组份;接着,通过正交试验优化各组份的含量并得到最优配方;最后,在相同条件下将最优配方与某市场切割液进行比较。结果表明:自制最优配方切割液MRR为7820 nm/min,Ra为9.12 nm。与市场切割液相比MRR稍低,但表面粗糙度要好。分析原因是由于新配方切割液在分散性和润滑性方面有所提高,而且碱性变强,加大了化学作用,有效的提高了晶片表面质量。 展开更多
关键词 硅片 多线切割 线切割液 材料去除率(MRR)
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KDP晶体精密切割机设计及其切割表面质量影响因素分析 被引量:1
20
作者 冯嫄嫄 李彬 +3 位作者 赵惠英 班新星 徐世栋 桑杰 《制造技术与机床》 北大核心 2017年第4期51-55,共5页
KDP晶体具有较大的非线性光学系数和较高的激光损伤阈值,但具有易潮解和软脆特性,需要采用精密金刚石线切割实现其坯料的快速切割。基于电镀金刚石环线技术,设计了一种用于KDP晶体快速精密切割设备,能够实现切割张紧力可控可调;采用正... KDP晶体具有较大的非线性光学系数和较高的激光损伤阈值,但具有易潮解和软脆特性,需要采用精密金刚石线切割实现其坯料的快速切割。基于电镀金刚石环线技术,设计了一种用于KDP晶体快速精密切割设备,能够实现切割张紧力可控可调;采用正交试验方法对200 mm×200 mm的晶体进行切割试验,并通过灰色理论对影响工件平面度和粗糙度的各工艺参数,进行了动态、量化分析,试验得出各工艺因素对切割表面质量影响程度大小,确定了环线切割的最佳工艺参数。 展开更多
关键词 金刚石切割 电镀金刚石环线 正交试验 灰色理论
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