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片式电阻激光微调过程中的调阻精度控制
被引量：
8
1
作者
王志娟
孙继凤
+2 位作者
郭晓光
汤建华
于前洋
《光电子．激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第1期86-88,共3页
提出了一种基于激光刻蚀路径的修调电阻精度控制方法。该方法通过动态确定L型调阻图形的横、纵向切割长度实现对调阻精度的控制。在保证阻值测量精度的条件下,应用该法在0.1Ω～100MΩ的薄膜电阻阻值进行修调,调阻精度可达到1%。
关键词
片式电阻
微调过程
调阻精度控制
L型调阻图形
激光调阻
原文传递
题名
片式电阻激光微调过程中的调阻精度控制
被引量：
8
1
作者
王志娟
孙继凤
郭晓光
汤建华
于前洋
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出处
《光电子．激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第1期86-88,共3页
基金
国家高技术产业化光电子专项资助项目(2002055)
长春市科技攻关计划资助项目(02 130G22)
+1 种基金
中国科学院研究生科学与社会实践资助专项创新类项目资助
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所第三期青年创新基金资助
文摘
提出了一种基于激光刻蚀路径的修调电阻精度控制方法。该方法通过动态确定L型调阻图形的横、纵向切割长度实现对调阻精度的控制。在保证阻值测量精度的条件下,应用该法在0.1Ω～100MΩ的薄膜电阻阻值进行修调,调阻精度可达到1%。
关键词
片式电阻
微调过程
调阻精度控制
L型调阻图形
激光调阻
Keywords
laser
trim
L-cut
rough
-
trim
precise-
trim
分类号
TM54 [电气工程—电器]
TN249 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
片式电阻激光微调过程中的调阻精度控制
王志娟
孙继凤
郭晓光
汤建华
于前洋
《光电子．激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
8
原文传递
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