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题名基于旋转平均补偿算法的旋转非对称面形绝对检测
被引量：8
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作者
张艳微
苏东奇
隋永新
杨怀江
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机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
中国科学院大学
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出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第7期216-221,共6页
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基金
国家科技重大专项(2009ZX02205)
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文摘
旋转法是一种用于获得被测面旋转非对称面形的绝对检测技术。旋转平均补偿算法是在N次等间隔旋转的基础上增加一次不同角度的旋转测量,称为N+1次旋转法。通过附加的一次旋转测量,采用泽尼克多项式拟合求解旋转平均法的丢失面形。推导了理论计算公式,仿真分析了存在旋转角度和偏心误差时,补偿算法的有效性以及附加旋转角度对补偿面形计算精度的影响。验证实验的结果与仿真相符,表明在选择合适的附加角度之后,该算法可有效补偿丢失信息。与旋转平均法相比,只需增加一次旋转,就能得到更完整的面形,极大地提高了检测效率和精度,实验中补偿率达到61%,检测精度提高了约1倍。
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关键词
测量
误差补偿
旋转平均法
旋转非对称面形
绝对检测
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Keywords
measurement
error compensation
rotation-averaging method
rotationally asymmetric surface
absolute testing
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分类号
O436.1
[机械工程—光学工程]
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题名旋转非对称项面形误差绝对检测的仿真分析
被引量：10
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作者
杨鹏
伍凡
侯溪
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机构
中国科学院光电技术研究所
中国科学院研究生院
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出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期93-97,102,共6页
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文摘
为满足光学元件的高精度检测要求,绝对检测技术取代传统相对检测技术被越来越多的用于光学检测过程中。然而传统绝对检测法检测都有各自适用的范围且检测过程复杂对实验仪器的精度要求较高。在某些只需要获得旋转非对称面型误差的检测领域旋转平均法成为一种简单易行的绝对检测手段。旋转平均法适用于平面、球面与非球面旋转非对称面型检测。本文对旋转平均法的原理进行了介绍,利用光学设计软件对旋转平均法的检测过程进行仿真。利用仿真检测对待测面形的旋转非对称项误差及kNθ旋转对称项进行量化分析,仿真分析出的结果与理论结果较好的吻合。仿真分析的实验结果表明:利用旋转平移法可有效提高非旋转对称面形检测的精度,实验仿真模型可有效对实际检测过程进行仿真。
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关键词
光学检测
旋转非对称项绝对检测
仿真分析
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Keywords
optical testing
absolute measurement of rotationally asymmetric surface error
simulation analysis
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分类号
TH744.3
[机械工程—光学工程]
TN247
[机械工程—仪器科学与技术]
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