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光学外差法检测超光滑表面粗糙度 被引量：2
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作者 罗忠生 杨建坤 张美敦 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期53-56,共4页
随着加工技术的发展，超光滑表面粗糙度的测量变得越来越重要．讨论了一种利用光学外差法检测超光滑表面粗糙度测量系统，采用Ｚｅｅｍａｎ效应激光管得到差频光束，提出了新的优化测量光路．该光路仅使用一个半波片改变一路光束的偏振... 随着加工技术的发展，超光滑表面粗糙度的测量变得越来越重要．讨论了一种利用光学外差法检测超光滑表面粗糙度测量系统，采用Ｚｅｅｍａｎ效应激光管得到差频光束，提出了新的优化测量光路．该光路仅使用一个半波片改变一路光束的偏振态，不仅克服了以前广泛使用的类似测量系统中光路具有可逆性的缺陷，保证了系统的稳定性，且同时使接收端光束的偏振态方向一致，使干涉信号可见度最大，提高了系统的信噪比和测量精度．采用两光束同心聚焦扫描方法可实现表面粗糙度的绝对测量．光路结构简单，实用性强．通过样品测量研究了本系统的测量稳定性和测量精度．结果表明，系统对表面粗糙度测量精度均方根值小于１ｎｍ． 展开更多
关键词 表面粗糙度 光学外差法 测量光路 超光滑
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