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题名晶圆重入加工的组合设备初始暂态建模和分析
被引量：4
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作者
潘春荣
伍乃骐
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机构
江西理工大学机电工程学院
广东工业大学机电工程学院
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出处
《计算机集成制造系统》
EI
CSCD
北大核心
2015年第8期2072-2078,共7页
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基金
国家自然科学基金资助项目(71361014)
江西省自然科学基金资助项目(20121512040080)
江西省教育厅资助项目(GJJ13418)~~
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文摘
随着晶圆直径的增大以及小批量、多批次加工,生产过程频繁地在暂态和稳态之间切换。为了满足大晶圆的加工需求和提高组合设备的加工性能,研究具有重入的晶圆加工组合设备的初始暂态具有重要意义。此外,组合设备除机械手外没有缓冲,使系统的调度和控制变得更加困难。基于eM-Plant仿真平台和优化算法,对重入加工双臂组合设备的初始暂态进行建模和仿真,分析了重入加工的初始暂态至稳态的过渡过程。采用仿真例子验证了该仿真系统的有效性,为组合设备重入加工的优化控制提供了借鉴。
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关键词
自动化组合设备
重入加工
建模与仿真
EM-PLANT
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Keywords
cluster tool
revisiting processing
modeling and simulation
eM-Plant
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分类号
TP391.9
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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题名基于Petri网的可重入双臂组合设备故障响应策略
被引量：3
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作者
潘春荣
付锦超
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机构
江西理工大学机电工程学院
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出处
《计算机集成制造系统》
EI
CSCD
北大核心
2019年第12期3235-3246,共12页
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基金
国家自然科学基金资助项目(51665018)~~
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文摘
在半导体制造中,组合设备出现故障模块是晶圆质量受损的因素之一。考虑到晶圆重入加工工艺更复杂,研究了可重入双臂组合设备并行模块出现一个模块故障后的有效调度问题。建立了相应Petri网模型,描述了具有逗留时间约束和并行模块的双臂组合设备重入加工过程,并分析了系统稳态调度和暂态调度的时间特性,提出了系统稳态调度的有效算法;采用了虚拟晶圆的方式,提出了系统故障前稳态调度过渡至故障后稳态调度的有效运行控制策略,使系统稳态调度能够满足严格逗留时间约束;通过实例验证了该控制策略的可行性,证实了该策略能满足系统故障后的稳态调度,且晶圆损失降至最小。
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关键词
晶圆制造
PETRI网
故障响应
组合设备
重入加工
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Keywords
wafer fabrication
Petri nets
failure response
cluster tools
revisiting processing
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分类号
TP278
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名构建实现多重目标重访的显微镜成像系统
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作者
李珊珊
黄燕萍
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机构
华东师范大学物光谱学与波谱学教育部重点实验室
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出处
《计算机工程与应用》
CSCD
北大核心
2004年第10期211-213,共3页
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基金
上海市科技发展基金项目(分类:自然基金
编号:01ZF14017)
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文摘
长期以来,在细胞学研究领域中对大量细胞的生长情况进行跟踪、记录和分析一直是一个操作难题。在计算机自动控制和计算机图形学的基础上,研制一套显微镜成像测量系统,使之能够自动地对多个目标进行观测记录,进行后期图像数据的处理。这一系统减少了生物实验中观察测量的工作量,并实现了对观察结果的各种有价值的分析。
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关键词
多重目标重访
图像数据处理
图像数据采集
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Keywords
multi-object revisit,image data processing,image data acquiring
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分类号
TP391
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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