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基于COMSOL的声表面波器件仿真 被引量:17
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作者 阮鹏 陈智军 +2 位作者 付大丰 张亦居 王萌阳 《测试技术学报》 2012年第5期422-428,共7页
声表面波器件在通信、传感、射频识别等领域有着广泛的应用.以有限元方法为基础,利用有限元软件COMSOL对声表面波器件进行了仿真.从器件的模型建立入手,按由浅入深的顺序对无电极压电基片、压电基片表面沉积叉指换能器、叉指换能器表面... 声表面波器件在通信、传感、射频识别等领域有着广泛的应用.以有限元方法为基础,利用有限元软件COMSOL对声表面波器件进行了仿真.从器件的模型建立入手,按由浅入深的顺序对无电极压电基片、压电基片表面沉积叉指换能器、叉指换能器表面溅射薄膜、薄膜上负载液体的4种结构进行了仿真分析.仿真研究表明:叉指换能器的电极效应会产生正、反特征频率,并且两种频率都随着叉指电极的敷金比与高度增加而向低频偏移;薄膜厚度的增加同样会导致器件频率向低频变化;当器件负载液体用于液体密度检测时,可通过器件频率变化对液体密度的灵敏程度来对薄膜厚度进行优化.其研究结果可以为声表面波器件的设计制作提供依据. 展开更多
关键词 声表面波器件 有限元 叉指换能器 特征频率 薄膜 液体
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结构偏心对开放式同轴谐振腔性能的影响 被引量:4
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作者 谢永超 张世昌 丁学用 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第11期1899-1902,共4页
采用CST微波工作室软件,数值模拟了内外导体轴线偏心对开放式同轴谐振腔的影响。结果表明:不管是内外导体的轴线发生平行偏心,还是倾斜偏心,都引起开放式同轴谐振腔的谐振频率、品质因数和场振幅实质性下降;其中,倾斜偏心产生的影响比... 采用CST微波工作室软件,数值模拟了内外导体轴线偏心对开放式同轴谐振腔的影响。结果表明:不管是内外导体的轴线发生平行偏心,还是倾斜偏心,都引起开放式同轴谐振腔的谐振频率、品质因数和场振幅实质性下降;其中,倾斜偏心产生的影响比平行偏心更为严重。 展开更多
关键词 高功率微波 开放式同轴谐振腔 结构偏心 场分布 谐振频率 品质因数
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一种基于微波环形谐振器的无线无源气体传感器 被引量:1
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作者 康文芳 谭秋林 +2 位作者 熊继军 卫凯龙 董和磊 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第10期729-732,761,共5页
介绍了一种基于微波环形谐振器的氨气监测的气体传感器,通过天线测试其谐振频率随气体体积分数的变化完成感测操作。环形谐振器是通过丝网印刷工艺将其制备在氧化铝基底上,采用碳纳米管与聚苯胺杂质作为气敏材料,并把制备好的气敏材... 介绍了一种基于微波环形谐振器的氨气监测的气体传感器,通过天线测试其谐振频率随气体体积分数的变化完成感测操作。环形谐振器是通过丝网印刷工艺将其制备在氧化铝基底上,采用碳纳米管与聚苯胺杂质作为气敏材料,并把制备好的气敏材料旋涂在环形谐振器的极板电容间。制备好的气体传感器在氨气中进行测试,实现了在密闭环境下非接触测量,并且分析了在室温下氨气气体体积分数对传感器谐振频率变化及响应恢复时间的影响。结果表明气体体积分数为10^-3时,传感器的灵敏度为11.5MHz。 展开更多
关键词 微波环形谐振器 聚苯胺 气敏特性 谐振频率 氨气
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