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大口径连续相位板面形检测与评价 被引量:7
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作者 温圣林 石琦凯 +3 位作者 颜浩 张远航 杨春林 王健 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第10期2296-2300,共5页
基于全局最小二乘拼接算法和图像融合算法建立了连续相位板(CPP)子孔径拼接检测算法,并根据全局相关匹配原理提出采用面形残差来评价CPP的加工面形。采用高精度动态干涉仪等设备建立了相应的检测系统,并针对430mm×430mm口径CPP开... 基于全局最小二乘拼接算法和图像融合算法建立了连续相位板(CPP)子孔径拼接检测算法,并根据全局相关匹配原理提出采用面形残差来评价CPP的加工面形。采用高精度动态干涉仪等设备建立了相应的检测系统,并针对430mm×430mm口径CPP开展了数值模拟和检测实验。理论计算结果表明:系统计算误差为0.005nm。实验结果表明,整个检测系统软硬件RMS误差小于5nm,基本满足CPP面形检测要求。从而验证了CPP检测和评价的正确性和可行性。 展开更多
关键词 光学设计与制造 连续相位板 子孔径拼接检测 面形残差 惯性约束聚变
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面向等残余面形误差的分层修形模具气囊抛光轨迹规划方法 被引量:6
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作者 陈国达 计时鸣 +1 位作者 金明生 张才 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期724-729,共6页
气囊抛光方法可成功应用于模具自由曲面,实现自动化抛光。提出一种面向等残余面形误差的分层修形模具气囊抛光轨迹规划新方法,该方法可用于等残余面形误差工件的整个面形修正过程或非等残余面形误差状态下气囊抛光工艺中的某一阶段。针... 气囊抛光方法可成功应用于模具自由曲面,实现自动化抛光。提出一种面向等残余面形误差的分层修形模具气囊抛光轨迹规划新方法,该方法可用于等残余面形误差工件的整个面形修正过程或非等残余面形误差状态下气囊抛光工艺中的某一阶段。针对光栅型抛光轨迹给出一种基于一次去除深度函数数值仿真的驻留点间距优选方法,并设计了对比性实验进行验证。实验结果表明,以X方向为进给方向的光栅型轨迹中,驻留点间距值选择去除模型中最大去除量1/2处对应Y值的两倍是合理的。 展开更多
关键词 机械制造工艺与设备 模具 气囊抛光 等残余面形误差 分层 轨迹规划
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