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题名有滞留时间约束的集束型装备在线调度问题研究
被引量：5
- 1
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作者
李林瑛
胡静涛
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机构
中国科学院沈阳自动化研究所工业信息学重点实验室
中国科学院研究生院
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出处
《控制与决策》
EI
CSCD
北大核心
2011年第1期37-43,48,共8页
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基金
沈阳市科技计划项目(108155-2-00)
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文摘
针对半导体制造中有滞留时间约束的集束型装备,研究了临时晶圆到达时的在线调度问题,描述了调度问题域,建立了问题的数学模型,并根据模型提出了两层调度方法.外层算法通过粒子群优化过程求解临时晶圆的加工顺序;内层算法在给定加工顺序的基础上,采用前向和后向递推方法获得可行解空间,并从可行解空间获得最优完工时间.从理论上证明了算法的可行性,并通过仿真结果表明,该方法对求解大规模临时晶圆的调度问题是十分有效的.
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关键词
半导体制造
集束型装备
在线调度
粒子群优化算法
滞留时间约束
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Keywords
semiconductor manufacturing
cluster tools
online scheduling
particle swarm optimization algorithm
residency time constraints
-
分类号
TP241.2
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TP278
[自动化与计算机技术—控制科学与工程]
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题名加工多类型晶圆的集束型装备调度模型
被引量：3
- 2
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作者
李林瑛
卢睿
臧洁
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机构
大连外国语大学软件学院
辽宁警察学院公安信息系
辽宁大学信息学院
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出处
《数学的实践与认识》
北大核心
2016年第16期152-161,共10页
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基金
国家自然科学基金(61501082)
辽宁省教育厅科学研究一般项目(L2015137
+2 种基金
L2014011
L2014455
L2014456)
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文摘
研究了加工多类型晶圆和有滞留时间约束的集束型装备调度问题,其中包括晶圆排序和双臂机械手搬运作业排序两类问题.分别推导了三类不等式约束条件,包括加工模块处于加工和空闲两种状态下的滞留时间约束、任意单个和两个搬运作业情况下的机械手搬运能力约束,以及加工模块能力约束,建立了以最小化生产周期为目标的混合整数规划模型.典型生产实例和随机算例的仿真结果验证了模型的可行性和有效性.
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关键词
集束型装备
半导体制造
调度模型
多类型晶圆加工
滞留时间约束
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Keywords
cluster tools
semiconductor manufactory
scheduling model, concurrent processing of multiple wafer types
residency time constraints
-
分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
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题名基于改进遗传算法的集束型装备调度研究
被引量：2
- 3
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作者
邹咏楠
罗钧元
李林瑛
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机构
大连外国语大学软件学院
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出处
《电脑知识与技术》
2017年第2期263-264,共2页
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基金
辽宁省教育厅科学研究一般项目（L2014456）
辽宁省大学生创新创业训练计划项目（201610172000015）
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文摘
考虑机械手在输入装载室、加工模块和输出装载室三者间搬运时间和空载时间下,求解半导体制造中具有滞留时间约束的集束型装备调度问题,提出基于机械手搬运作业顺序编码的改进遗传算法,包括种群初始化、选择操作、变异操作和适应度函数计算等。仿真实验结果验证了提出算法的有效性。
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关键词
遗传算法
集束型装备
半导体制造
滞留时间约束
-
Keywords
Genetic Algorithm
Cluster Tools
Semiconductor Manufactory
residency time constraints
-
分类号
TP301
[自动化与计算机技术—计算机系统结构][自动化与计算机技术—计算机科学与技术]
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题名求解集束型装备调度问题的改进遗传算法
被引量：2
- 4
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作者
李林瑛
卢睿
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机构
大连外国语大学软件学院
辽宁警察学院公安信息系
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出处
《数学的实践与认识》
北大核心
2019年第6期166-175,共10页
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基金
辽宁省科学研究青年项目(LQ201787002)
2017年大连外国语大学科研基金项目(2017XJZD04)
辽宁省自然科学基金项目(20180550284)
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文摘
针对半导体制造中的有滞留时间约束集束型装备调度问题,以最小化生产周期为目标,建立问题的数学模型,提出基于机械手搬运作业顺序编码的改进遗传算法.设计基于禁止区间法的启发式构造算法以生成初始种群,避免了不可行染色体的产生;通过互换染色体中处于机械手全等待的基因位置,以及基于图论的不可行解修复技术改进局部搜索效率,避免冗余迭代和陷入局部最优等现象.与遗传算法、混合量子进化算法的仿真实验比较,验证了提出算法的有效性和鲁棒性.
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关键词
遗传算法
集束型装备
半导体制造
滞留时间约束
-
Keywords
genetic algorithm
cluster tools
semiconductor manufactory
residency time constraints
-
分类号
TP18
[自动化与计算机技术—控制理论与控制工程]
TP241
[自动化与计算机技术—控制科学与工程]
-
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题名有滞留时间约束的集束型装备在线调度方法
被引量：1
- 5
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作者
李林瑛
卢睿
李绍华
景雨
刁建华
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机构
大连外国语大学软件学院
辽宁警察学院公安信息系
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出处
《系统仿真学报》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第2期337-345,共9页
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基金
国家自然科学基金(61501082)
辽宁省教育厅科学研究一般项目(L2015137
+2 种基金
L2014011
L2014455
L2014456)
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文摘
针对半导体制造中有滞留时间约束的集束型装备,研究了客户紧急订单、返工、新产品试制等临时晶圆到达时的在线调度问题,提出了不改变已有晶圆调度的前提下,利用资源空闲时间区间的两层在线调度方法。外层算法通过改进量子进化算法用以优化临时晶圆加工排序;内层算法在给定晶圆排序的基础上,采用后向逐级递推的策略从资源的空闲时间区间获得可行解,利用逆序最大逐级回溯策略在可行解空间获得晶圆的加工开始时间。通过不同规模测试问题上的仿真实验和算法比较,验证了提出方法的有效性。
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关键词
在线调度
量子进化算法
集束型装备
半导体制造
滞留时间约束
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Keywords
online scheduling
quantum evolutionary algorithm
cluster tools
semiconductor manufactory
residency time constraints
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分类号
TP241.2
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TP278
[自动化与计算机技术—控制科学与工程]
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题名求解混流集束型装备调度问题的差分进化算法
- 6
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作者
李林瑛
卢睿
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机构
大连外国语大学语言智能研究中心
辽宁警察学院公安信息系
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出处
《数学的实践与认识》
北大核心
2020年第22期167-178,共12页
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基金
国家社会科学基金一般项目(15BYY028)
2017年大连外国语大学科研基金(2017XTZD04)
+1 种基金
辽宁省自然科学基金(20180550284)
大连外国语大学研究创新团队项目“计算语言学与人工智能创新团队”(2016CXTD06)。
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文摘
针对带滞留时间约束的混流集束型晶圆制造装备调度问题,为了优化晶圆加工排序和机械手搬运作业排序,提出了改进差分进化算法.通过定义机械手搬运作业,将双排序问题转换为单排序问题,并将其应有到染色体编码中;设计基于禁止区间法的启发式构造算法以生成初始种群,避免了不可行染色体的产生;给出可行解必须满足的条件,将其应用到差分变异和差分交叉算子设计中,避免冗余迭代和陷入局部最优等现象.与差分进化算法、遗传禁忌混合算法、粒子群算法的仿真实验比较,验证了提出算法的有效性和鲁棒性.
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关键词
集束型装备
晶圆制造
差分进化算法
混流加工
滞留时间约束
-
Keywords
cluster tools
semiconductor manufactory
mixed-wafer processing
residency time constraints
-
分类号
TP18
[自动化与计算机技术—控制理论与控制工程]
TN305
[自动化与计算机技术—控制科学与工程]
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题名有滞留时间约束的两集束型装备调度模型
- 7
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作者
李林瑛
卢睿
邹咏楠
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机构
大连外国语大学软件学院
辽宁警察学院公安信息系
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出处
《数学的实践与认识》
北大核心
2017年第5期179-189,共11页
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基金
辽宁省教育厅科学研究一般项目(L2015137
L2014011
+2 种基金
L2014455
L2014456)
辽宁省大学生创新创业训练计划项目(201610172000015)
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文摘
针对有滞留时间约束和并行加工的两集束型装备调度问题,分别推导了三类不等式约束条件,包括加工模块处于加工和空闲两种状态下的滞留时间约束、任意单个和两个搬运作业情况下的机械手搬运能力约束,以及缓冲模块能力约束,从理论上证明了并行加工模块等价加工时间的合理性,建立了以最小化生产周期为目标的混合整数规划模型.随机算例和基准算例的仿真结果验证了模型的可行性和有效性.
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关键词
两集束型装备
半导体制造
调度模型
滞留时间约束
并行加工模块
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Keywords
two-cluster tools
semiconductor manufactory
scheduling model
residency time constraints
parallel process modules
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分类号
TN305
[电子电信—物理电子学]
O221.4
[理学—运筹学与控制论]
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