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飞秒激光切割金属的表面粗糙度 被引量：6
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作者 谭超 孙小燕 +5 位作者 银恺 罗志 夏国才 邓旺 周江夏子 段吉安 《中南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第12期4481-4487,共7页
为提高激光切割金属的表面质量,用不同工艺参数的飞秒激光单次切割厚度为100μm的铜箔,并采用弱激光表面修复加工方法,取单次切割后最低粗糙度约为694 nm的表面进行弱激光再扫描修复。研究结果表明：高能量飞秒激光切割金属存在热效应,... 为提高激光切割金属的表面质量,用不同工艺参数的飞秒激光单次切割厚度为100μm的铜箔,并采用弱激光表面修复加工方法,取单次切割后最低粗糙度约为694 nm的表面进行弱激光再扫描修复。研究结果表明：高能量飞秒激光切割金属存在热效应,扫描电镜显示表面有颗粒氧化物,实验得到再扫描修复加工的优化工艺参数为：再扫描进给深度为10μm,速度为100μm/s,单脉冲能量为50~100μJ。在最优条件下,再扫描1次的表面粗糙度达220~250 nm,再扫描3次的表面粗糙度小于130 nm。该方法能有效提高飞秒激光切割金属的表面质量。 展开更多
关键词 飞秒激光 金属切割 表面粗糙度 再扫描工艺
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