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题名基于厚膜混合集成的电容式加速度传感器
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作者
王永田
王玲
唐豫桂
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机构
河南农业大学机电工程学院
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出处
《传感器世界》
2009年第11期20-22,共3页
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基金
河南省科技攻关项目基金资助(编号:082102210111)
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文摘
为了减小电容式加速度计的体积,提高检测精度、扩展应用范围,采用厚膜混合集成工艺,将检测电路和电容式加速度计敏感单元集成于一体。详细介绍了厚膜混合集成工艺的版图设计和制作过程,并介绍了制作工艺中的各道工序。用UP-16封装形式,对厚膜混合集成电容式加速度计进行了封装。经过与原电路比较后可知经厚膜混合集成后,体积大大减小,经封装后通过金属外壳接地,提高抗干扰能力,经测试,其测试精度能提高1-2个数量级。
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关键词
电容式加速度计
厚膜混合集成
丝网印刷
再回流焊
金丝键合
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Keywords
capacitive accelerometer
thick-film hybrid integrated
silk screen printing
refluence solder
spun gold bonding
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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