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题名用透射光谱法测光栅参数的数值模拟
被引量：1
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作者
张丽娟
傅克祥
李建龙
麻健勇
谢金
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机构
四川大学物理科学与技术学院
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出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期42-44,共3页
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文摘
本文基于光栅的严格理论,提出结合透射光谱和优化算法来测量光栅参数的新方法,首先,利用傅立叶模式理论和反射透射系数递推算法(RTCM) ,计算出在2 0 0 -90 0nm波段内的理论透射光谱图,通过在上面叠加不同偏差的高斯噪声来模拟光栅的实际测量曲线,接着在模拟曲线上任取若干个点作为实验测量值,最后利用优化算法进行反演搜索,找到待测光栅的结构参数。文中我们选择了三种类型的光栅对该法进行数值上的模拟,其结果是成功的。该法可能会给光栅参数的测量指明一条新的途径。
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关键词
傅立叶模式理论
反射透射系数递推算法
透射光谱法
正单纯形法
高斯噪声
光栅参数
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Keywords
the Fourier model method
reflection and transmission coefficient matrix method(rtcm)
transmission spectrum method
normal simplex algorithm
Gaussian noise
Gratings parameters
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分类号
O434.19
[机械工程—光学工程]
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