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φ300mm干涉仪参考镜的设计及测试 被引量:12
1
作者 武旭华 陈磊 王磊 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1235-1240,共6页
针对一台有效口径为300 mm的斐索立式移相干涉仪的参考镜,采用有限元方法对其水平状态不同支承方式下的表面变形进行了分析及优化设计,根据设计结果在对镜坯抛光时留出变形余量,并用液面基准法进一步验证了分析结果,其PV的差值为0.008λ... 针对一台有效口径为300 mm的斐索立式移相干涉仪的参考镜,采用有限元方法对其水平状态不同支承方式下的表面变形进行了分析及优化设计,根据设计结果在对镜坯抛光时留出变形余量,并用液面基准法进一步验证了分析结果,其PV的差值为0.008λ,RMS的差值为0.005λ。实验结果表明,此干涉仪参考镜支撑结构的设计满足技术要求。 展开更多
关键词 应用光学 大口径干涉仪 参考镜 镜面支承 有限元法
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新型高精度激光干涉小角度测量仪的研究 被引量:4
2
作者 朱鸿锡 何宗琴 +3 位作者 叶声华 魏昭伦 天津市测量技术研究所 天津300100 《计量学报》 CSCD 1996年第2期89-91,共3页
在分析小角度测量基本原理和特点的基础上,介绍了光波干涉小角度测量的方法和一种新型双参考镜激光干涉小角度测量仪的测角原理、功能特点及具体应用方法。
关键词 激光测量 角度测量 干涉仪
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高精度标准镜支撑结构的研究与设计 被引量:3
3
作者 丁玲 王涛 +1 位作者 杨洪波 贾宏光 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第4期1172-1175,共4页
为了保证高精度光学元件面形检测精度,必须对干涉仪标准镜自身的面形精度进行严格控制。在考虑标准镜自重的情况下,采用有限元方法研究了不同胶点数量及分布形式、不同的镜框支撑方式对参考面面形精度的影响。根据研究结果,针对球面标... 为了保证高精度光学元件面形检测精度,必须对干涉仪标准镜自身的面形精度进行严格控制。在考虑标准镜自重的情况下,采用有限元方法研究了不同胶点数量及分布形式、不同的镜框支撑方式对参考面面形精度的影响。根据研究结果,针对球面标准镜面形精度要优于λ/40的要求,设计了口径准150mm的标准镜的支撑方式,采用12×3点胶接、镜框底面六点的挠性支撑方式,经有限元分析得到:参考面面形的PV值为7.36 nm,RMS值为1.52 nm;并验证了温度变形较自重变形很小。结果表明,各项指标满足设计要求,证明了结构设计的合理性。 展开更多
关键词 标准镜 参考面 支撑结构 自重变形 有限元法
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Research and application of multi-angle polarization characteristics of water body mirror reflection 被引量:2
4
作者 LUO YangJie ZHAO YunSheng +2 位作者 LI XiaoWen WU TaiXia ZHAO LiLi 《Science China Earth Sciences》 SCIE EI CAS 2007年第6期946-952,共7页
On the basis of the multi-angle polarized reflection spectrum of the water samples,the water body mirror reflection polarization characteristics and mechanism are described systematically. By altering such influential... On the basis of the multi-angle polarized reflection spectrum of the water samples,the water body mirror reflection polarization characteristics and mechanism are described systematically. By altering such influential factors as the angle of incidence,detecting angle,detecting azimuth angle and polari-zation angle,ubiquitous laws for the multi-angle polarized reflection spectrum of the water samples are obtained. Combining multi-angle remote sensing with polarized light,the multi-angle polarized reflec-tion method about eliminating the water body mirror reflection and the suitable time of the polarized remote sensing of the water body are proposed. This study provides technical references for the ap-plication of multi-angle polarization technology on water body remote sensing. 展开更多
关键词 water BODY REMOTE sensing mirror REFLECTION multi-angle polarization BREWSTER angle reference time TABLE
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φ150mm菲索干涉仪球面标准具结构分析与设计 被引量:2
5
作者 田伟 王平 +3 位作者 王汝冬 隋永新 王立朋 杨怀江 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第3期275-278,共4页
在高精度的光学元件面形检测中,为了保证检测的精度,必须对高精度菲索干涉仪的标准镜的自重和温度变形进行严格地控制。针对高精度菲索干涉仪标准镜的精度要求,设计了一种新的标准镜装卡结构。采用有限元方法分析了标准镜在胶接方式下... 在高精度的光学元件面形检测中,为了保证检测的精度,必须对高精度菲索干涉仪的标准镜的自重和温度变形进行严格地控制。针对高精度菲索干涉仪标准镜的精度要求,设计了一种新的标准镜装卡结构。采用有限元方法分析了标准镜在胶接方式下的表面变形情况,参考面表面变形峰谷(PV)值仅为9.6nm,均方根(RMS)值为2.1nm。同时对不同环境温度下参考面的变形进行了计算得出面形的峰谷值和均方根值。最后介绍球面标准具的装配过程。 展开更多
关键词 应用光学 菲索干涉仪 标准镜 镜面支承 有限元法
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相变存储器驱动电路的设计与实现 被引量:2
6
作者 沈菊 宋志棠 +1 位作者 刘波 封松林 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第5期431-434,共4页
介绍了一种新型的相变存储器驱动电路的基本原理,设计了一种依靠电流驱动的驱动电路,整体电路由带隙基准电压源电路、偏置电流产生电路、电流镜电路及控制电路组成。该结构用于16Kb以及1Mb容量的相变存储器芯片的设计,并采用中芯国际集... 介绍了一种新型的相变存储器驱动电路的基本原理,设计了一种依靠电流驱动的驱动电路,整体电路由带隙基准电压源电路、偏置电流产生电路、电流镜电路及控制电路组成。该结构用于16Kb以及1Mb容量的相变存储器芯片的设计,并采用中芯国际集成电路制造(上海)有限公司的0·18μm标准CMOS工艺实现。该驱动电路通过Hspice仿真,表明带隙基准电压、偏置电流均具有较高的精度,取得了良好的仿真结果,在16Kb相变存储器芯片测试中,进一步验证了以上仿真结果。 展开更多
关键词 相变存储器 电流驱动 基准电压 偏置电流 电流镜 互补金属氧化物半导体
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基于总线收发器的宽温欠压保护电路 被引量:1
7
作者 朱晓宇 蒋志林 孙迪 《现代电子技术》 2022年第22期91-96,共6页
文中提出一种用于总线收发器的结构简单的欠压保护电路,其自身含有带隙基准结构,并采用比例电流镜和正反馈实现带有迟滞的欠压保护,在非常宽的温度范围内具有良好的独立性和稳定性,且其阈值电压在较大范围内精确可调,从而能针对性地解... 文中提出一种用于总线收发器的结构简单的欠压保护电路,其自身含有带隙基准结构,并采用比例电流镜和正反馈实现带有迟滞的欠压保护,在非常宽的温度范围内具有良好的独立性和稳定性,且其阈值电压在较大范围内精确可调,从而能针对性地解决汽车总线收发器工作时温度变化大和外界干扰重等问题。基于TSMC的180 nm BCD工艺,对该电路进行理论推导、仿真验证和版图设计。PSpice仿真和流片结果表明:与以往相同工艺条件下的欠压保护电路相比,版图面积减小47%;当电源电压在0~6 V变化时,该电路能在-40~150℃范围内实现欠压保护,迟滞大小为120 mV,阈值电压约为3.42 V;常温时5种工艺角下电路的阈值电压和迟滞大小基本不变,平均功耗电流值均在可控范围内。 展开更多
关键词 UVLO 带隙基准 电流镜 宽温 总线收发器 迟滞 低功耗 BCD工艺
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公共性与公众性:日本公共雕塑事业滞缓原因探究 被引量:2
8
作者 赵云川 《艺术设计研究》 CSSCI 2020年第1期66-72,共7页
日本在20世纪50~60年代后掀起了全国性的公共雕塑设置运动,其规模之大、波及面之广、所取得之成就令世人瞩目。不过,从20世纪90年代以后,日本公共雕塑事业急转直下,仿佛一个泄了气的夕阳事业而风光不再。这种滞缓的原因除了经济萧条的... 日本在20世纪50~60年代后掀起了全国性的公共雕塑设置运动,其规模之大、波及面之广、所取得之成就令世人瞩目。不过,从20世纪90年代以后,日本公共雕塑事业急转直下,仿佛一个泄了气的夕阳事业而风光不再。这种滞缓的原因除了经济萧条的影响外,雕塑设置中的公共性、公众性的缺失也是不可忽视的重要原因。本文拟对这种滞缓的原因进行分析和探究。"他山之石,可以攻玉",冀望日本公共雕塑事业发展的经验和教训,能对我国正在蓬勃兴起、方兴未艾的城市雕塑和公共艺术事业有所镜鉴。 展开更多
关键词 日本公共雕塑 滞缓 公共性(公众性) 镜鉴
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光学相干层析系统的耦合效率分析 被引量:1
9
作者 史国水 张平 +1 位作者 吴震 向际鹰 《应用光学》 CAS CSCD 1999年第2期28-31,共4页
在高斯光束传输理论的基础上,利用矩阵光学原理和高斯光束耦合理论,得出光学相干层析系统中参考反射镜的空间位置对系统耦合效率影响的表达式,并用计算机模拟系统的耦合效率与参考反射镜和棒透镜间的距离及参考反射镜偏转角度的关系... 在高斯光束传输理论的基础上,利用矩阵光学原理和高斯光束耦合理论,得出光学相干层析系统中参考反射镜的空间位置对系统耦合效率影响的表达式,并用计算机模拟系统的耦合效率与参考反射镜和棒透镜间的距离及参考反射镜偏转角度的关系曲线。 展开更多
关键词 参考反射镜 棒透镜 光学相干层析 耦合效率
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集成双极性神经刺激脉冲发生器设计
10
作者 赵天宇 李效龙 李小伟 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第9期92-94,98,共4页
基于SMIC 0.18μm CMOS工艺,设计了一种幅度、频率、占空比可调的集成双极性神经刺激脉冲发生器。利用带隙基准电流源产生基准电流,通过两级电流镜级联将电流复制和放大以实现幅度范围可调。采用脉冲宽度调制(PWM)信号控制H桥开关管的... 基于SMIC 0.18μm CMOS工艺,设计了一种幅度、频率、占空比可调的集成双极性神经刺激脉冲发生器。利用带隙基准电流源产生基准电流,通过两级电流镜级联将电流复制和放大以实现幅度范围可调。采用脉冲宽度调制(PWM)信号控制H桥开关管的通断实现频率、占空比可调的双极性信号。利用Cadence仿真软件,对电路进行了仿真。结果表明:当电源电压为5 V,在-40~100℃下,基准电流温漂系数为5.38×10^(-6)/℃;系统可产生幅度为0.01~10 mA,频率为1 Hz~2 kHz,脉冲宽度为20~1 000μs范围内可调的双极性脉冲信号。 展开更多
关键词 双极性 带隙基准 电流镜 脉冲宽度调制 H桥
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基于温度和工艺补偿的基准电流源
11
作者 王春荣 周忠强 +3 位作者 邹衡君 孙天奇 张宗江 傅兴华 《电脑知识与技术》 2011年第3期1686-1688,共3页
介绍了一个采用温度和工艺补偿电流镜实现的基准电流源。与绝对温度成正比(PTAT)的电流和与绝对温度互补(CTAT)电流以一定权重相加产生与温度无关的基准电流。在Cadence软件平台下用Spectre工具,基于CSMC 0.5um BiCMOS工艺模型对... 介绍了一个采用温度和工艺补偿电流镜实现的基准电流源。与绝对温度成正比(PTAT)的电流和与绝对温度互补(CTAT)电流以一定权重相加产生与温度无关的基准电流。在Cadence软件平台下用Spectre工具,基于CSMC 0.5um BiCMOS工艺模型对电路进行仿真,仿真结果表明该基准可输出2152uA的稳定电流,-40-85℃内,温度系数为24.4ppm/℃。 展开更多
关键词 电流基准 电流镜 共源共栅 与绝对温度互补 与绝对温度成正比
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摆式加速度计基准镜法线水平调节方法研究
12
作者 田蔚 吴书朝 《测绘科学》 CSCD 北大核心 2013年第6期99-102,共4页
摆式加速度计通常被安装在仪器盒中,以装在仪器盒外壳上的基准镜作为参考建立坐标系,测量加速度计输入轴相对于基准镜坐标系的几何关系从而获得加速度计输入轴的实际指向。按照国军标在分度头上进行四点翻滚实验,能够很方便地测量加速... 摆式加速度计通常被安装在仪器盒中,以装在仪器盒外壳上的基准镜作为参考建立坐标系,测量加速度计输入轴相对于基准镜坐标系的几何关系从而获得加速度计输入轴的实际指向。按照国军标在分度头上进行四点翻滚实验,能够很方便地测量加速度计输入轴相对于输入基准轴的失准角。利用基准镜法线调节水平方法将基准镜的法线在初始时刻调节到水平方向,从而能够通过四点翻滚实验精确测量加速度计的失准角,建立加速度计的输入轴与基准镜坐标系之间的关系。 展开更多
关键词 摆式加速度计 四点翻滚实验 失准角 基准镜 水平调节
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舰船测量设备平行基准传递机构设计
13
作者 于萍 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2012年第3期19-21,共3页
为了实现舰船等测量设备的基准平行传递,设计了一种平行基准传递机构。该机构以平行放置的两块平面反射镜为平行度传递的基础,其中一块反射镜设计成半反半透镜,利用其反射及透射原理和自准直平行光管的自准直成像原理,实现两基准镜的平... 为了实现舰船等测量设备的基准平行传递,设计了一种平行基准传递机构。该机构以平行放置的两块平面反射镜为平行度传递的基础,其中一块反射镜设计成半反半透镜,利用其反射及透射原理和自准直平行光管的自准直成像原理,实现两基准镜的平行度测量。在介绍了平行基准传递机构的工作原理的基础上,给出精度标定方法及误差不大于0.2″;介绍了两基准镜平行度检测方案,给出了检测结果,分析了影响测量结果的因素,两基准镜的平行度误差在X方向不大于0.75″,在Y方向不大于1.15″,测量系统的误差不大于0.35″。结果表明,平行基准传递机构具有设计简单、成本低、使用方便、测量精度高等优点,可在工程中推广使用。 展开更多
关键词 平行基准传递机构 基准镜 平行度
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高精度电流偏置电路的设计
14
作者 蒋本福 杨骁 《微型机与应用》 2013年第19期29-31,共3页
提出了一款应用于RF无线收发芯片的高精度电流偏置电路。综合考虑功耗、面积和失调电压对基准电压的影响,设计了一款符合实际应用的带隙基准电路。并以带隙基准电路作基准电流源的偏置,采用电压电流转换器结构设计了具有高电源电压抑制... 提出了一款应用于RF无线收发芯片的高精度电流偏置电路。综合考虑功耗、面积和失调电压对基准电压的影响,设计了一款符合实际应用的带隙基准电路。并以带隙基准电路作基准电流源的偏置,采用电压电流转换器结构设计了具有高电源电压抑制比(PSRR)的基准电流源。电流镜采用辅助运放的设计方法来提高电流镜的输出阻抗,减小沟道调制效应对输出的基准电流的影响,从而提高输出基准电流的精度。采用0.35μm CMOS工艺设计芯片版图,版图面积为0.18 mm2。提取寄生参数(PEX)仿真结果表明,该电路在-55℃^+90℃范围内的温度系数为15.5 ppm/℃,室温下基准电压为1.203 5 V;在低频段电流源的电源抑制比为90 dB;在外接电阻从1 kΩ~400 kΩ变化时,输出基准电流误差范围是0.000 1μA。 展开更多
关键词 基准电流 电流镜 版图
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低杂散锁相环中的电荷泵设计 被引量:11
15
作者 薛红 李智群 +2 位作者 王志功 李伟 章丽 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1988-1992,共5页
用TSMC0.18μm CMOS工艺设计并实现了一种电荷泵电路,传统的电荷泵电路中充放电电流有较大的电流失配,电流失配导致相位偏差,从而引起杂散并降低了锁相环的锁定范围,文中采用与电源无关的基准电流源电路,运用运算放大器和自偏置高摆... 用TSMC0.18μm CMOS工艺设计并实现了一种电荷泵电路,传统的电荷泵电路中充放电电流有较大的电流失配,电流失配导致相位偏差,从而引起杂散并降低了锁相环的锁定范围,文中采用与电源无关的基准电流源电路,运用运算放大器和自偏置高摆幅共源共栅电流镜电路实现了充放电电流的高度匹配,从而降低了杂散。测试结果表明:电源电压1.8V时,电荷泵电流为0.475mA,在0.3-1.6V输出电压范围内电流失配小于10mA,功耗为6.8mW。 展开更多
关键词 参考杂散 电流火配 电荷泵 运算放大器 自偏置电流镜
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低功耗CMOS带隙基准电压源的设计 被引量:3
16
作者 曾健平 文剑 晏敏 《宇航计测技术》 CSCD 2004年第6期41-44,共4页
设计了低功耗、高电源抑制比CMOS带隙基准电压发生器电路。其设计特点是采用了共源共栅电流镜 ,运放的输出作为驱动的同时还作为自身的偏置电路 ;使用CSMC标准 0 6 μm双层多晶硅n -wellCMOS工艺混频信号模型 ,利用Cadence的Spectre工... 设计了低功耗、高电源抑制比CMOS带隙基准电压发生器电路。其设计特点是采用了共源共栅电流镜 ,运放的输出作为驱动的同时还作为自身的偏置电路 ;使用CSMC标准 0 6 μm双层多晶硅n -wellCMOS工艺混频信号模型 ,利用Cadence的Spectre工具对其仿真 ,结果显示当温度和电源电压变化范围为 - 5 0℃~ 15 0℃和4 5V~ 5 5V时输出基准电压变化小于 1 6mV和 0 13mV ;低频电源抑制比达到 75dB。电路在 5V电源电压下工作电流小于 10 μA。该电路适用于对功耗要求低。 展开更多
关键词 带隙基准电压源 低功耗 CMOS 偏置电路 电流镜 电源抑制比 运放 集成温度传感器 显示 输出
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一种带软启动电路的带隙基准电压源的实现 被引量:7
17
作者 张科 冯全源 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 2006年第12期179-181,共3页
文章提出了一种带软启动电路的带隙基准电压源电路,设计基于0.5!m2P3MBiCMOSProcess,并使用了低压共源共栅电流镜结构减少了对电源电压的依赖,消除了精度与余度之间的矛盾,同时还增加了软启动电路,从而减少了基准电路在启动时的电流,保... 文章提出了一种带软启动电路的带隙基准电压源电路,设计基于0.5!m2P3MBiCMOSProcess,并使用了低压共源共栅电流镜结构减少了对电源电压的依赖,消除了精度与余度之间的矛盾,同时还增加了软启动电路,从而减少了基准电路在启动时的电流,保护了电路的正常启动工作,并用HL50S-S3.1S.lib库文件对HSPICE进行了仿真,其电源抑制比PSRR大约为-78.9dB。 展开更多
关键词 带隙基准 软启动 PTAT 低压共源共栅电流镜 BICMOS
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一种自偏置低压共源共栅带隙基准电路设计 被引量:7
18
作者 白浪 刘文平 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 2007年第8期52-55,共4页
随着CMOS工艺的发展,器件尺寸逐渐缩小,短沟道效应的影响日益突出。共源共栅电流源可以很好地抑制小尺寸效应,但其消耗的电压余度较大,偏置电路设计繁琐。因此介绍了一种采用自偏置低压共源共栅电流源的带隙基准电路结构,用两个电阻代... 随着CMOS工艺的发展,器件尺寸逐渐缩小,短沟道效应的影响日益突出。共源共栅电流源可以很好地抑制小尺寸效应,但其消耗的电压余度较大,偏置电路设计繁琐。因此介绍了一种采用自偏置低压共源共栅电流源的带隙基准电路结构,用两个电阻代替了偏置电路。仿真结果显示,该带隙基准电路的最低电源电压约为2.98V,相对于普通的共源共栅结构,降低了2个MOSFET阈值电压;工作在最低电源电压下,功耗约为270μW,相对于带偏置电路的结构,降低约75μW。仿真结果证明,该电路能够简化共源共栅电路的设计和调试,并减少低压共源共栅电路的功耗。 展开更多
关键词 带隙基准 低压共源共栅电流源 自偏置
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Φ300mm平面标准镜高精度支撑关键技术 被引量:4
19
作者 方斌 田伟 +3 位作者 王汝冬 朱岩 张永凯 王飞 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2015年第9期273-279,共7页
为保证大口径平面面形的高精度检测,必须对大口径平面标准镜自身的精度进行严格控制。在考虑标准镜自身重力的作用下,通过有限元方法仿真分析了不同粘胶位置以及不同镜框支撑方式下参考面面形的变化。根据分析结果,设计了口径300 mm的... 为保证大口径平面面形的高精度检测,必须对大口径平面标准镜自身的精度进行严格控制。在考虑标准镜自身重力的作用下,通过有限元方法仿真分析了不同粘胶位置以及不同镜框支撑方式下参考面面形的变化。根据分析结果,设计了口径300 mm的平面标准镜支撑方式,镜片采用12点粘胶与镜框固定,镜框下表面采用旋转补偿的方式寻找最优支撑方案。对加工完成的Φ300 mm平面标准镜进行了集成装配,装配结果显示支撑引入的参考面面形变化约为1.294 nm[均方根(RMS)值],与仿真分析结果吻合,并且满足大口径平面检测的检测需求。 展开更多
关键词 光学设计 光学检测 平面标准镜 有限元法 参考面面形
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300mm平面标准镜装卡结构的关键参数 被引量:4
20
作者 田伟 王汝冬 +2 位作者 王平 隋永新 王立朋 《中国光学》 EI CAS 2011年第3期264-270,共7页
为了实现大口径平面标准镜的高精结构装卡,对其在重力作用下的面形变化进行了研究。首先,对结构胶的有限元建模进行了理论分析,建立了大口径平面标准镜胶结装卡结构有限元模型。然后,分析了不同胶点数量及分布、不同胶接面积以及不同镜... 为了实现大口径平面标准镜的高精结构装卡,对其在重力作用下的面形变化进行了研究。首先,对结构胶的有限元建模进行了理论分析,建立了大口径平面标准镜胶结装卡结构有限元模型。然后,分析了不同胶点数量及分布、不同胶接面积以及不同镜框支撑方式等关键结构参数对参考面面形的影响。最后,设计了大口径平面标准镜胶结及支撑的结构。结果表明,采用胶点直径为5 mm,12×3胶点分布形式胶结时,参考面面形的PV值为24.06 nm,RMS值为6.78 nm,满足了大口径平面标准镜面形精度的要求。 展开更多
关键词 光学检测 球面标准镜 参考面 有限元法
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