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刻线边缘表面重构及其边缘粗糙度测量
被引量：
2
1
作者
李洪波
赵学增
褚巍
《光电子．激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第12期1635-1640,共6页
给出了一种边缘粗糙度(LER)三维参数评估的方法。采用原子力显微镜(AFM)测量了刻线单侧边缘形貌,根据AFM的工作机理和测量特点重构边缘表面,采用回归分析方法确定了边缘表面的评价基准面。结合集成电路中光刻工艺的具体需求,提出了能够...
给出了一种边缘粗糙度(LER)三维参数评估的方法。采用原子力显微镜(AFM)测量了刻线单侧边缘形貌,根据AFM的工作机理和测量特点重构边缘表面,采用回归分析方法确定了边缘表面的评价基准面。结合集成电路中光刻工艺的具体需求,提出了能够反映边缘表面形貌特征的三维LER表征参数。结合实例,计算了所提出的部分LER参数,分析了LER标准差参数的测量精度。
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关键词
原子力显微镜(AFM)
重构
边缘粗糙度(LER)
三维参数
原文传递
题名
刻线边缘表面重构及其边缘粗糙度测量
被引量：
2
1
作者
李洪波
赵学增
褚巍
机构
北京理工大学光电学院
哈尔滨工业大学机电工程学院
出处
《光电子．激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第12期1635-1640,共6页
文摘
给出了一种边缘粗糙度(LER)三维参数评估的方法。采用原子力显微镜(AFM)测量了刻线单侧边缘形貌,根据AFM的工作机理和测量特点重构边缘表面,采用回归分析方法确定了边缘表面的评价基准面。结合集成电路中光刻工艺的具体需求,提出了能够反映边缘表面形貌特征的三维LER表征参数。结合实例,计算了所提出的部分LER参数,分析了LER标准差参数的测量精度。
关键词
原子力显微镜(AFM)
重构
边缘粗糙度(LER)
三维参数
Keywords
atomic
force
microscope
reconstruction
of
line
edge
surface
line
edge
roughness
3-D
parameters
分类号
TG84 [金属学及工艺—公差测量技术]
TH161 [机械工程—机械制造及自动化]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
刻线边缘表面重构及其边缘粗糙度测量
李洪波
赵学增
褚巍
《光电子．激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
2
原文传递
已选择
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参考文献
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