期刊导航
期刊开放获取
cqvip
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
二次曝光全息干涉技术及其应用
被引量：
4
1
作者
李田泽
《微细加工技术》
EI
1997年第3期27-31,共5页
本文对全息曝光技术进行了分析，给出了二次曝光的典型再现光路，并且对制造微电子集成电路上的应用作了展望。
关键词
激光全息术
二次曝光
微电子集成电路
光刻
下载PDF
职称材料
题名
二次曝光全息干涉技术及其应用
被引量：
4
1
作者
李田泽
机构
山东工程学院电气工程系
出处
《微细加工技术》
EI
1997年第3期27-31,共5页
文摘
本文对全息曝光技术进行了分析，给出了二次曝光的典型再现光路，并且对制造微电子集成电路上的应用作了展望。
关键词
激光全息术
二次曝光
微电子集成电路
光刻
Keywords
laser
holography
two
exposure
reappearing
light
path
microelectronic
circuit
分类号
TN405.7 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TB877 [一般工业技术—摄影技术]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
二次曝光全息干涉技术及其应用
李田泽
《微细加工技术》
EI
1997
4
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
