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现代微电子技术及其发展综述
被引量:
1
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作者
李兴
刘盾
张建民
《天津职业技术师范学院学报》
2003年第4期35-37,46,共4页
介绍了当前超大规模集成电路技术的发展现状及几种主要生产工艺,如化学机械抛光、离子注入、物理气相沉积、化学气相沉积、刻蚀等,并对今后使ULSI特征尺寸从0.13μm进一步减小的研究方向以及材料的选择等方面进行了探讨。
关键词
微电子技术
化学机械抛光
快速热处理
低电阻率
下载PDF
职称材料
盛夏流域面融雪量初步分析
被引量:
4
2
作者
毛炜峄
《沙漠与绿洲气象》
2007年第6期24-28,共5页
盛夏主汛期我国西部地区流域的洪水类型较东部地区复杂,为了提高当地防洪气象服务水平和丰富全国汛期气象服务技术,分析了融雪洪水与暴雨洪水物理过程的差异,提出了描述流域融雪洪水过程的面融雪量等概念。指出了盛夏主汛期流域融雪洪...
盛夏主汛期我国西部地区流域的洪水类型较东部地区复杂,为了提高当地防洪气象服务水平和丰富全国汛期气象服务技术,分析了融雪洪水与暴雨洪水物理过程的差异,提出了描述流域融雪洪水过程的面融雪量等概念。指出了盛夏主汛期流域融雪洪水的气象服务关键技术。
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关键词
雪-洪过程
面融雪量
积雪遥感监测
高温过程预报
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职称材料
题名
现代微电子技术及其发展综述
被引量:
1
1
作者
李兴
刘盾
张建民
机构
天津职业技术师范学院电子工程系
出处
《天津职业技术师范学院学报》
2003年第4期35-37,46,共4页
基金
教育部科学技术研究重点项目(02012)
文摘
介绍了当前超大规模集成电路技术的发展现状及几种主要生产工艺,如化学机械抛光、离子注入、物理气相沉积、化学气相沉积、刻蚀等,并对今后使ULSI特征尺寸从0.13μm进一步减小的研究方向以及材料的选择等方面进行了探讨。
关键词
微电子技术
化学机械抛光
快速热处理
低电阻率
Keywords
microelectronic
technology
chemical
mechanical
polishing
rapid
temperature
process
low
resistivity
分类号
TN47 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
盛夏流域面融雪量初步分析
被引量:
4
2
作者
毛炜峄
机构
新疆气候中心
出处
《沙漠与绿洲气象》
2007年第6期24-28,共5页
基金
中国沙漠气象科学研究基金(sqj2004006)
国家自然科学基金项目(40371022)联合资助
文摘
盛夏主汛期我国西部地区流域的洪水类型较东部地区复杂,为了提高当地防洪气象服务水平和丰富全国汛期气象服务技术,分析了融雪洪水与暴雨洪水物理过程的差异,提出了描述流域融雪洪水过程的面融雪量等概念。指出了盛夏主汛期流域融雪洪水的气象服务关键技术。
关键词
雪-洪过程
面融雪量
积雪遥感监测
高温过程预报
Keywords
snowmeh
flood
area
inching-snow
amounts
remote
sensing
monitoring
on
snow
cover
forecast
of
the
rapid
increasing
temperature
process
分类号
P426 [天文地球—大气科学及气象学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
现代微电子技术及其发展综述
李兴
刘盾
张建民
《天津职业技术师范学院学报》
2003
1
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职称材料
2
盛夏流域面融雪量初步分析
毛炜峄
《沙漠与绿洲气象》
2007
4
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职称材料
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