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加工中心高速电主轴综合精度分析 被引量：10
1
作者 王立平 赵钦志 张彬彬 《清华大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第8期746-751,共6页
高速电主轴作为加工中心的核心部件,直接影响加工中心的加工精度和工件的表面质量和粗糙度。该文以应用在加工中心上的高速电主轴为研究对象,对电主轴的径向精度、回转倾角、轴向精度进行了分析。基于最小二乘圆近似算法,对电主轴的径... 高速电主轴作为加工中心的核心部件,直接影响加工中心的加工精度和工件的表面质量和粗糙度。该文以应用在加工中心上的高速电主轴为研究对象,对电主轴的径向精度、回转倾角、轴向精度进行了分析。基于最小二乘圆近似算法,对电主轴的径向误差运动进行了建模,设计了一种电主轴径向回转精度快速评价方法,建立了倾斜误差运动模型,并给出了电主轴回转轴倾斜角度的计算方法;基于时域和频域信号分析方法,对电主轴轴向运动特征值进行了提取,从而实现电主轴轴向精度的评价。将该综合精度分析方法应用在一种加工中心的高速电主轴上,结果表明：电主轴的径向误差和轴向误差随着转速的升高,先保持不变再升高,回转轴线倾斜角度误差随着转速的升高基本保持不变。该方法可应用在电主轴性能检测和精度衰退试验中。 展开更多
关键词 电主轴 径向误差运动 倾斜误差运动 轴向误差运动 最小二乘圆
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圆光栅配合自准直仪测量主轴径向运动误差 被引量：10
2
作者 娄志峰 郝秀朋 +1 位作者 刘力 王晓东 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第9期2053-2061,共9页
提出一种在线非接触式测量主轴径向回转误差的方法,为验证其准确性,搭建了主轴回转误差测量装置并进行了比对实验。该方法主要由圆光栅、读数头、环形平面镜以及激光自准直仪组成。首先,将圆光栅及环形平面镜安装在主轴上,并在双顶尖装... 提出一种在线非接触式测量主轴径向回转误差的方法,为验证其准确性,搭建了主轴回转误差测量装置并进行了比对实验。该方法主要由圆光栅、读数头、环形平面镜以及激光自准直仪组成。首先,将圆光栅及环形平面镜安装在主轴上,并在双顶尖装置中将光栅安装偏心误差和平面镜与主轴不垂直误差进行标定。然后,将主轴安装在转台上,双读数头对径安装,自准直仪安装在平面镜下方。在主轴回转过程中,双读数头圆光栅可以测得主轴径向运动误差,自准直仪可以测得主轴径向运动误差方向上的偏摆角误差。最后,根据主轴上一点的径向运动误差及其在此方向上的偏摆角误差便可以计算出主轴轴向各个点的径向回转误差。设计了比对实验,结果表明在主轴径向回转误差为±12μm时,本方法与传统单向法比对残差在1μm以内。本文提出的主轴径向回转误差测量方法可以应用到精密主轴回转类装置中,实现在线检测主轴径向回转误差的目的。此外,该方法无需采用标准球,不受轴表面粗糙度、圆度等的影响。 展开更多
关键词 圆光栅 双读数头 自准直仪 径向运动误差 误差分离
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基于主轴回转运动误差在线检测的二次相移三点法 被引量：4
3
作者 李自军 洪迈生 +1 位作者 魏元雷 苏恒 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2001年第4期319-323,共5页
提出了一种基于数据重组和反滤波的二次相移三点法圆度误差分离技术，可以先行分离出主轴的 回转运动误差，从而能够实现运动误差的在线检测。通过对三个传感器的测量数据按照二次相移原则 进行数据重组，可以在数据处理的首次操作时消... 提出了一种基于数据重组和反滤波的二次相移三点法圆度误差分离技术，可以先行分离出主轴的 回转运动误差，从而能够实现运动误差的在线检测。通过对三个传感器的测量数据按照二次相移原则 进行数据重组，可以在数据处理的首次操作时消除圆度形状误差的影响，从而在二次操作时先行得到运 动误差。权函数的对比分析表明该方法与圆度三点法在本质上的同源性和统一性。仿真与实验结果均 表明：该方法可以先后分离出运动误差和形状误差，具有良好的分离效果。 展开更多
关键词 二次相移三点法 圆度误差分离技术 数据重组 反滤波 在线检测 主轴 回转运动误差
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角度误差对空气轴承径向回转误差测量的影响规律研究 被引量：1
4
作者 雷大江 钱林弘 +1 位作者 蓝河 夏欢 《制造技术与机床》 北大核心 2017年第7期128-131,共4页
在超精密空气轴承径向回转误差测量中,测量系统中带入的角度误差不能忽略。为此,详细分析了反向法下角度误差对测量结果的影响规律,并对测量系统制造、装配和数据采集过程进行了控制,在此基础上完成了径向回转误差测量实验。结果表明:... 在超精密空气轴承径向回转误差测量中,测量系统中带入的角度误差不能忽略。为此,详细分析了反向法下角度误差对测量结果的影响规律,并对测量系统制造、装配和数据采集过程进行了控制,在此基础上完成了径向回转误差测量实验。结果表明:通过对角度误差源的有效控制,所构建的测量系统能够很好地完成100 nm以内量级径向回转误差的测量,测量结果的一致性较好,所分离出标准球圆度误差与标称值吻合。 展开更多
关键词 径向回转误差 反向法 角度误差
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转轴径向运动误差干涉测量的信号处理方法
5
作者 丁要文 李家琨 +2 位作者 马栋 张海峰 冯其波 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第12期185-191,共7页
转轴径向运动误差是转轴的重要误差项之一,严重影响数控机床等转轴相关设备的精度和性能。利用激光干涉配合伺服转轴可以实现转轴径向运动误差的测量,但由于待测转轴和伺服转轴的自身转速不匀、伺服响应延迟、跟踪不稳等原因,干涉测量... 转轴径向运动误差是转轴的重要误差项之一,严重影响数控机床等转轴相关设备的精度和性能。利用激光干涉配合伺服转轴可以实现转轴径向运动误差的测量,但由于待测转轴和伺服转轴的自身转速不匀、伺服响应延迟、跟踪不稳等原因,干涉测量信号存在持续微幅相位抖动,进而造成非线性误差难以有效修正,相位解算精度不高,测量误差大。针对这一问题,提出一种零值截取-阈值判定的干涉信号处理方法,成功消除了相位抖动的影响。设计并搭建了一套转轴径向运动误差的激光干涉测量装置,针对实测信号的处理结果表明,相比于传统修正方法,文中提出的修正方法使得转轴径向运动误差干涉测量信号解算的重复性由4.8μm减小到0.2μm,与标准仪器的对比误差由3.5μm降为2μm。 展开更多
关键词 转轴 径向运动误差 相位抖动 非线性修正
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