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HFCVD法制备SiC薄膜工艺 被引量:5
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作者 赵武 王雪文 +1 位作者 邓周虎 张志勇 《西北大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2002年第3期247-250,共4页
分析研究了热丝化学汽相沉积 (HFCVD)法工艺参数的变化对 Si C薄膜质量的影响。结果表明 ,合理的选取工艺参数 ,可在较低温度 (70 0~ 90 0℃ )下 ,沿 Si(1 1 1 )晶向异质生长出高质量的准晶 Si C薄膜。
关键词 HFCVD法 SIC薄膜 低温生长 碳化硅薄膜 准晶 热丝化学汽相沉积法 制备工艺 半导体材料
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热型连铸准单晶铜杆的工艺及性能 被引量:6
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作者 王东岭 苏勇 +3 位作者 陈翌庆 刘伟 熊小兵 叶东皇 《金属功能材料》 CAS 2010年第1期58-61,12,共5页
利用现有的水平连铸设备,改冷铸型为加热铸型,并在此基础上对电解铜(纯度99.95%)进行了水平连铸试验。在纯铜热型连铸过程中,当铸型出口温度为1135℃、拉铸速度为74 mm/s、冷却距离为20 mm时,能够拉铸出准单晶铜棒材。试验后对准单晶铜... 利用现有的水平连铸设备,改冷铸型为加热铸型,并在此基础上对电解铜(纯度99.95%)进行了水平连铸试验。在纯铜热型连铸过程中,当铸型出口温度为1135℃、拉铸速度为74 mm/s、冷却距离为20 mm时,能够拉铸出准单晶铜棒材。试验后对准单晶铜的电阻率和力学性能进行了测试分析,结果表明:与国家标准纯铜线T2M相比,准单晶铜的电阻率与国家标准相当;准单晶铜的抗拉强度与国家标准相比降低了26.6%,伸长率最大增加了76%。因此,准单晶铜具有较优异的塑性加工性能和较低电阻率,并且生产率较高。 展开更多
关键词 热型连铸 准单晶铜 工艺参数 准单晶铜性能
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准单晶硅铸锭过程中凝固界面形状的控制 被引量:6
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作者 余庆华 刘立军 +1 位作者 钟根香 黄新明 《工程热物理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第3期505-508,共4页
本文耦合求解了工业用准单晶硅铸锭炉内导热、辐射、熔体对流、氩气流动及相变等各种传热过程,比较分析了不同的隔热环移动状态下整个铸锭系统内部热场分布及凝固界面形状的变化过程。结果表明,隔热环的移动状态对铸锭系统内部热场分布... 本文耦合求解了工业用准单晶硅铸锭炉内导热、辐射、熔体对流、氩气流动及相变等各种传热过程,比较分析了不同的隔热环移动状态下整个铸锭系统内部热场分布及凝固界面形状的变化过程。结果表明,隔热环的移动状态对铸锭系统内部热场分布及凝固界面形状具有显著影响,采用下移隔热环能显著减少凹界面长晶的比例。 展开更多
关键词 移动隔热环 准单晶铸锭 定向凝固 数值模拟
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六角钡铁氧体准单晶块材制备及其磁性能研究 被引量:4
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作者 刘俊亮 郭翠静 +1 位作者 张伟 曾燕伟 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期599-601,共3页
具有高磁晶各向异性场的六角钡铁氧体(BaFe12O19,BaM)是毫米波器件中关键的旋磁材料.以片状纳米尺度六角钡铁氧体单畴颗粒为原料粉体,通过强磁场颗粒取向、加压成型、等静压处理以及微液相参与烧结等过程,成功制备得到了晶粒沿c轴取向度... 具有高磁晶各向异性场的六角钡铁氧体(BaFe12O19,BaM)是毫米波器件中关键的旋磁材料.以片状纳米尺度六角钡铁氧体单畴颗粒为原料粉体,通过强磁场颗粒取向、加压成型、等静压处理以及微液相参与烧结等过程,成功制备得到了晶粒沿c轴取向度达99%的六角钡铁氧体准单晶材料,其磁性接近单晶铁酸钡,饱和磁化强度达到4654kA/m,矫顽场约为9.552kA/m,并对其织构化和致密化机理进行了分析与讨论. 展开更多
关键词 六角钡铁氧体 旋磁铁氧体 准单晶结构 液相参与烧结
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准单晶电池片生产工艺研究
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作者 李雪方 贾宇龙 郭卫 《山西化工》 2020年第3期16-17,31,共3页
追求低成本、高质量晶体硅是光伏行业的发展趋势。准单晶硅采用铸锭设备批量生产,成本低,单一晶粒面积达90%及以上,缺陷少,少子寿命高,品质高。通过设计的实验步骤,对比分析获得适合准单晶电池片的生产工艺。实验中,准单晶使用普通单晶... 追求低成本、高质量晶体硅是光伏行业的发展趋势。准单晶硅采用铸锭设备批量生产,成本低,单一晶粒面积达90%及以上,缺陷少,少子寿命高,品质高。通过设计的实验步骤,对比分析获得适合准单晶电池片的生产工艺。实验中,准单晶使用普通单晶的生产工艺,匹配合适的丝网烧结工艺,可以获得接近于普通单晶电池片的转换效率。 展开更多
关键词 准单晶 转换效率 生产工艺
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