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自由表面流动数值模拟方法的探讨 被引量:27
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作者 陈大宏 李炜 《水动力学研究与进展(A辑)》 CSCD 北大核心 2001年第2期216-224,共9页
本文建立和开发了一个用于求解具有自由表面的二维不可压缩粘性流体流动的Navier- Stokes方程组的数值模型。这个模型采用 AL E方法描述流体的运动 ,基本方程组中的流速和压力利用 Projection2方法来解耦 ,空间离散采用有限单元法 ,而... 本文建立和开发了一个用于求解具有自由表面的二维不可压缩粘性流体流动的Navier- Stokes方程组的数值模型。这个模型采用 AL E方法描述流体的运动 ,基本方程组中的流速和压力利用 Projection2方法来解耦 ,空间离散采用有限单元法 ,而时间离散则采用 semi-implicit方法。自由表面位置则通过求解相应的偏微分方程来确定 ,而计算过程中网格的调整则采用了新的方法。算例结果令人满意 ,表明方法可行。 展开更多
关键词 自由表面流动 数值模拟 projection 2方法 有限单元法
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数值模拟在管道和站场阴极保护中的应用 被引量:34
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作者 张丰 陈洪源 +5 位作者 李国栋 朱建平 毕武喜 薛致远 王维斌 刘玲莉 《油气储运》 CAS 北大核心 2011年第3期208-212,6,共5页
采用边界元数值模拟软件BEASYCP对管道干线和站场储罐库区的阴极保护进行模拟计算,研究了均压线跨接对并行管道阴极保护的影响,以及深井阳极和近网状阳极对储罐外底板电位分布的影响,并对近网状阳极保护罐底的通断电位IR降和接地分流效... 采用边界元数值模拟软件BEASYCP对管道干线和站场储罐库区的阴极保护进行模拟计算,研究了均压线跨接对并行管道阴极保护的影响,以及深井阳极和近网状阳极对储罐外底板电位分布的影响,并对近网状阳极保护罐底的通断电位IR降和接地分流效应进行了分析。研究表明:先期建设管道的站间距、末端保护电位及后期建设管道的涂层电阻率是影响并行管道建成后其共同的阴极保护电位和电流分布的主要因素;储罐外底板电位分布不均匀,当罐周测试电位达到保护时,外底板电位最正部位仍有未达到保护的风险;罐底板上极化电位和电流分配比例取决于罐底板钢材在罐基础上的极化性能,接地极在土壤中的极化性能,及两者在极化过程中电流密度参数的相对大小。 展开更多
关键词 管道 站场 阴极保护 边界元法 数值模拟 BEASYCP软件
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复合材料铺丝成型中的路径规划 被引量:16
3
作者 李善缘 王小平 朱丽君 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期25-29,41,共6页
针对复合材料自动铺丝路径规划问题,提出了一种新的基于正交投影的铺丝路径生成算法。首先根据铺丝意图设计空间曲线,然后正交投影到铺丝面上,利用经典的微分几何方法建立特征投影曲线的微分方程,用数值方法求解得到铺丝面上数据点,并用... 针对复合材料自动铺丝路径规划问题,提出了一种新的基于正交投影的铺丝路径生成算法。首先根据铺丝意图设计空间曲线,然后正交投影到铺丝面上,利用经典的微分几何方法建立特征投影曲线的微分方程,用数值方法求解得到铺丝面上数据点,并用B样条曲线拟合这些点即是铺丝参考线,再对其进行等距得到一条铺丝路径,进而得到所有路径。经过算例进行验证,该算法能实现任意方向的纤维铺放,满足铺丝技术工艺要求。应用本文的研究成果,在CATIA利用CAA中完成了自由曲面的铺丝路径仿真。 展开更多
关键词 复合材料 自动铺丝 正交投影 B样条 仿真
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3-PUU三维平动并联机器人的位置分析及其仿真 被引量:13
4
作者 郭宗和 孙术华 +2 位作者 郝秀清 牛国栋 李连升 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第17期1787-1789,共3页
提出了一种具有三角形平台的3-PUU并联机器人机构。证明了该机构在初始位置和一般情况时,机构做三维平动。运用解析几何中的坐标变换和投影,得出一种有效求解位置反解的新方法,通过MATLAB软件对该方法进行了仿真和验证。3-PUU三维平动... 提出了一种具有三角形平台的3-PUU并联机器人机构。证明了该机构在初始位置和一般情况时,机构做三维平动。运用解析几何中的坐标变换和投影,得出一种有效求解位置反解的新方法,通过MATLAB软件对该方法进行了仿真和验证。3-PUU三维平动并联机器人作为圆形平台并联机器人的一种异构形式,其操作灵活性和运动性能都有较大的改善。该机构可用于快速夹持、移动和组装等方面。 展开更多
关键词 三角形平台 坐标变换 投影 位置反解 仿真
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体积CT投影数据的模拟方法 被引量:11
5
作者 孙怡 侯颖 +1 位作者 胡家升 赵凤勇 《CT理论与应用研究(中英文)》 2005年第1期1-6,共6页
体积CT是目前研究的热点,也是医疗CT和工业CT的发展方向。在研究体积CT重建算法的过程中,模拟投影数据是必不可少的一部分。本文提出一种体积CT投影数据的模拟方法。这种方法的特点是准确、适用性广,模拟得到的投影数据能够准确反映各... 体积CT是目前研究的热点,也是医疗CT和工业CT的发展方向。在研究体积CT重建算法的过程中,模拟投影数据是必不可少的一部分。本文提出一种体积CT投影数据的模拟方法。这种方法的特点是准确、适用性广,模拟得到的投影数据能够准确反映各断层的细节信息,一方面可以为后继体积CT重建算法提供可靠的投影数据,另一方面也可以根据需要有选择地模拟失真的投影数据。我们利用此方法对人脑部及某工件的CT投影数据进行了模拟,并对模拟得到的数据采用滤波反投影算法进行重建,将重建后的断层图像与原始图像进行比较,得到了很好的重建结果,进一步验证了该投影数据模拟方法的可行性。 展开更多
关键词 体积CT 投影数据 模拟
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挑檐和窗槛墙阻止火灾竖向蔓延性能的数值模拟分析 被引量:15
6
作者 王经伟 黄德祥 +1 位作者 周子荐 王炯 《消防科学与技术》 CAS 2004年第2期111-113,共3页
为了阻止室内火灾通过窗户等开口沿着建筑外墙竖向蔓延 ,我国的防火设计规范规定需要设置一定高度的实体裙墙或窗槛墙 ,但在某些建筑中如落地玻璃窗的建筑通常采用一定长度的挑檐来代替实体裙墙或窗槛墙。运用 FDS模型对设置挑檐和设置... 为了阻止室内火灾通过窗户等开口沿着建筑外墙竖向蔓延 ,我国的防火设计规范规定需要设置一定高度的实体裙墙或窗槛墙 ,但在某些建筑中如落地玻璃窗的建筑通常采用一定长度的挑檐来代替实体裙墙或窗槛墙。运用 FDS模型对设置挑檐和设置实体裙墙建筑进行数值模拟 ,然后分析与比较计算结果 ,认为在防火性能上设置挑檐比设置实体裙墙或窗槛更合理 。 展开更多
关键词 挑檐 窗槛墙 火灾 性能化设计 数值模拟 防火设计
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CMIP3模式对未来50a欧亚大陆雪水当量的预估 被引量:14
7
作者 马丽娟 罗勇 秦大河 《冰川冻土》 CSCD 北大核心 2011年第4期707-720,共14页
为研究预估未来50 a欧亚大陆雪水当量,基于遥感数据,用误差百分率、空间相关和误差标准差等统计方法,评估了14个CMIP3模式在20C3M的雪水当量产品,诊断各模式对欧亚大陆雪水当量的模拟能力,在此基础上对模拟效果较好的10个模式产品进行... 为研究预估未来50 a欧亚大陆雪水当量,基于遥感数据,用误差百分率、空间相关和误差标准差等统计方法,评估了14个CMIP3模式在20C3M的雪水当量产品,诊断各模式对欧亚大陆雪水当量的模拟能力,在此基础上对模拟效果较好的10个模式产品进行多模式集合,分析了A2和B1情景下2002-2060年欧亚大陆雪水当量的变化.结果表明:欧亚大陆整体的雪水当量在未来50 a呈现一致的减少趋势;空间上,除了欧亚大陆东北部存在显著正趋势外,其余地区均为显著负趋势.季节上,雪水当量在夏季减少的比率最大,但量值上减少最大的却不是在积雪最多的冬季,而是在春季,这是因为春季雪水当量值的减少趋势普遍比冬季大,但增加却普遍比冬季小.未来50 a欧亚大陆冬、春季雪水当量呈现东增西减,且青藏高原明显减少的特征,这将有利于我国东部夏季雨带的北抬.雪水当量在A2情景下的减小范围和速率都要大于B1情景,表明较高的温室气体排放将从时间和空间上加快雪水当量的减少,不利于积雪的维持,控制温室气体排放对于未来欧亚大陆积雪的生存至关重要. 展开更多
关键词 雪水当量 预估 CMIP3 欧亚大陆 气候变化
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不可压缩流动问题快速计算的降阶模型 被引量:14
8
作者 吴学红 陶文铨 +1 位作者 吕彦力 龚毅 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2010年第26期69-74,共6页
目前所有的计算方法(如有限元方法、有限容积法或无网格方法)在计算时均需要较长的计算时间,很难直接应用于工业中的实时控制。该文应用最佳正交分解(proper orthogonal decomposition,POD)方法从不可压缩流动问题的流场中抽取特征函数... 目前所有的计算方法(如有限元方法、有限容积法或无网格方法)在计算时均需要较长的计算时间,很难直接应用于工业中的实时控制。该文应用最佳正交分解(proper orthogonal decomposition,POD)方法从不可压缩流动问题的流场中抽取特征函数,并用Galerkin方法将特征函数对N-S方程进行投影,得到N-S方程的降阶模型。通过一个具有分析解的例子验证该方法的精度与有效性。计算结果表明:POD方法计算得到的特征值的大小反应了它所能捕捉到流场中的广义"能"大小,最大特征值所对应的特征函数能很好地捕捉到流场的特征;降阶模型的计算结果与有限容积法的计算结果符合得很好,但能节省更多的计算时间,因此降阶模型能直接应用于工业中的实时控制。 展开更多
关键词 不可压缩流动 最佳正交分解方法 Galerkin投影 降阶模型 特征函数 数值模拟
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机载气象雷达扫描的理想模型仿真算法 被引量:11
9
作者 魏鸣 张思进 +2 位作者 刘佳 邵程远 刘晓东 《大气科学学报》 CSCD 北大核心 2011年第1期28-35,共8页
利用地基多普勒天气雷达数据,提出机载雷达扫描的模拟仿真算法,并建立了仿真扫描的理论模型。该模型利用数据分层几何投影,处理速度较快、精度较高,可应用于扇形扫描和圆锥扫描。在理想情况下,设计了消除地物回波的算法及多普勒速度退... 利用地基多普勒天气雷达数据,提出机载雷达扫描的模拟仿真算法,并建立了仿真扫描的理论模型。该模型利用数据分层几何投影,处理速度较快、精度较高,可应用于扇形扫描和圆锥扫描。在理想情况下,设计了消除地物回波的算法及多普勒速度退模糊的算法。试验表明,仿真回波可应用于机载气象雷达实际观测前的扫描方式可行性研究,有助于分析机载雷达探测的云雨回波特性。 展开更多
关键词 机载雷达 理论模型 分层投影 数据仿真 算法设计
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蛾群算法与投影寻踪耦合模型在区域水资源脆弱性评价中的应用 被引量:11
10
作者 崔东文 《三峡大学学报(自然科学版)》 CAS 2017年第4期10-18,共9页
提出一种新型群智能算法——蛾群算法(MSA)与投影寻踪(PP)技术耦合的水资源脆弱性评价模型,以云南省16个州市水资源脆弱性评价为例进行研究.从水量、水质、洪灾和旱灾4个方面遴选28个指标构建区域水资源脆弱性评价指标体系和分级标准;通... 提出一种新型群智能算法——蛾群算法(MSA)与投影寻踪(PP)技术耦合的水资源脆弱性评价模型,以云南省16个州市水资源脆弱性评价为例进行研究.从水量、水质、洪灾和旱灾4个方面遴选28个指标构建区域水资源脆弱性评价指标体系和分级标准;通过8个典型测试函数对MSA进行仿真验证,并与差分进化(DE)算法、文化算法(CA)、教学优化(TLBO)算法和粒子群优化(PSO)算法的仿真结果进行对比.利用MSA、DE、CA、TLBO和PSO算法优化PP最佳投影方向,构建MSA-PP、DE-PP、CA-PP、TLBO-PP和PSO-PP耦合模型对实例水资源脆弱性进行评价.结果表明:MSA寻优精度优于DE等4种算法,具有较好的全局极值寻优能力和收敛稳定性能,在求解高维、复杂优化问题时有着更高的求解精度;MSA-PP模型对昆明、玉溪、曲靖、楚雄4州市的水资源脆弱性评价为"轻度脆弱",对怒江州、迪庆州评价为"重度脆弱",其余州市评价为"中度脆弱".MSA-PP模型对实例评价结果与TLBO-PP模型相同,但在排序上存在差异;与CA-PP、DEPP和PSO-PP模型的评价结果及排序上均存在差异,表明智能算法求解精度的高低决定了评价效果的优劣.本文提出的模型及验证方法具有通用性,可推广应用于其他领域. 展开更多
关键词 水资源脆弱性评价 指标体系 分级标准 投影寻踪 蛾群算法 仿真验证
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一种基于STL样本的锥束CT快速仿真方法 被引量:10
11
作者 黄魁东 张定华 +1 位作者 刘晶 毛海鹏 《系统仿真学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期2578-2582,共5页
针对STL样本基元,根据锥束CT仿真投影的特点,研究了一套基于八叉树的锥束CT仿真投影快速计算方法,并采用SIMD技术对投影计算中的关键部分进行并行计算,进一步提高了生成仿真投影图象的速度。实验结果表明,在保证投影图象精度的前提下,... 针对STL样本基元,根据锥束CT仿真投影的特点,研究了一套基于八叉树的锥束CT仿真投影快速计算方法,并采用SIMD技术对投影计算中的关键部分进行并行计算,进一步提高了生成仿真投影图象的速度。实验结果表明,在保证投影图象精度的前提下,该方法较之于UG样本投影计算有65~90倍左右的加速比,极大地提高了锥束CT仿真投影的计算速度,增强了仿真系统的实用性。 展开更多
关键词 锥束CT 投影仿真 STL样本 八叉树
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图像重建中X射线投影模拟的常用方法 被引量:7
12
作者 黄建林 吕东辉 《上海大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2006年第3期228-233,共6页
锥束CT是目前医学成像领域研究的热点.在CT图像重建算法研究和比较过程中,第一步工作就是获取投影数据.该文为正在研究CT的工作者或即将步入CT领域的研究者提供几种在图像重建中X射线投影模拟的理论方法,对这几种方法进行了比较详细的... 锥束CT是目前医学成像领域研究的热点.在CT图像重建算法研究和比较过程中,第一步工作就是获取投影数据.该文为正在研究CT的工作者或即将步入CT领域的研究者提供几种在图像重建中X射线投影模拟的理论方法,对这几种方法进行了比较详细的理论推导,讨论了它们各自的适用条件,在计算机上模拟实现并比较了它们在获取投影数据方面的优劣.结果表明,在物体形状规则且密度分布均匀的情况下,解析法与矢量法能获取真实投影,而在物体形状不规则和密度分布不均匀的情况下,离散法的效果也可以接受. 展开更多
关键词 图像重建 投影 模拟 插值
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投影变换的原理及其应用浅析 被引量:7
13
作者 韩鲁佳 李松维 《科技视界》 2015年第26期171-174,共4页
现实世界是一个三维立体世界,可以轻易地分辨出物体的形状大小、远近高低及其之间的相对位置。而在显示器和绘图机上仅能用二维空间来表示三维空间,因此需要应用投影变换使其维数降低,达到合理逼真的显示。投影变换是一种重要而基本的... 现实世界是一个三维立体世界,可以轻易地分辨出物体的形状大小、远近高低及其之间的相对位置。而在显示器和绘图机上仅能用二维空间来表示三维空间,因此需要应用投影变换使其维数降低,达到合理逼真的显示。投影变换是一种重要而基本的三维几何图形变换,在实际中应用广泛。针对投影变换,主要介绍了其分类方法、基本原理,并浅析了投影变换的一些应用,给出了具体的推导步骤和方法,最后说明了投影变换在飞行模拟器视景仿真中的应用及其重要性。 展开更多
关键词 投影变换 透视投影 平行投影 斜投影 视景仿真
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基于医学X射线成像物理模型的模体投影仿真计算 被引量:7
14
作者 汤少杰 牟轩沁 闫浩 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期901-905,共5页
为了逼真模拟X射线CT投影数据,提出一种结合X射线能谱分布函数和组织边界逼近策略的投影仿真算法.该算法将模体内各区域CT值映射为组织密度和各元素质量分数,用XCOM软件计算组织质量衰减系数,确定X射线穿越各区域边界的位置,最后根据X... 为了逼真模拟X射线CT投影数据,提出一种结合X射线能谱分布函数和组织边界逼近策略的投影仿真算法.该算法将模体内各区域CT值映射为组织密度和各元素质量分数,用XCOM软件计算组织质量衰减系数,确定X射线穿越各区域边界的位置,最后根据X射线能谱参数、组织密度、组织质量衰减系数、相邻边界间的距离计算出经过衰减的X射线能谱分布函数与模体投影数据.该算法比解析模拟算法编程简单,比离散模拟算法存储空间小、计算精度高.对模拟投影进行Feldkamp锥形束三维重建,显示出预期的射束硬化效果. 展开更多
关键词 模体投影 投影仿真 能谱分布 锥形束 三维重建
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中国生育水平的间接估计 被引量:8
15
作者 姜全保 刘雪昭 杨淑彩 《人口与经济》 CSSCI 北大核心 2020年第4期43-52,共10页
中国的生育水平存在争议。使用普查和调查数据,采用四种间接估计方法,估计了中国的生育水平。研究发现,变量-r方法得到1990—2010年的总和生育率在1.5—1.6,低于1.7。单次普查数据的P/F比值方法估计1990年、2000年和2010年的总和生育率... 中国的生育水平存在争议。使用普查和调查数据,采用四种间接估计方法,估计了中国的生育水平。研究发现,变量-r方法得到1990—2010年的总和生育率在1.5—1.6,低于1.7。单次普查数据的P/F比值方法估计1990年、2000年和2010年的总和生育率分别为2.29、1.43和1.50,而两次普查数据的P/F方法估算1990—2000年和2000—2010年间总和生育率分别为1.35和1.32,低于普遍认为的1.5左右的水平。逆存活分析方法推算的数据显示,1982年、1990年和2000年的总和生育率分别为2.95、2.63和1.54,分别比历次普查公布的数据高出0.3左右。预测模拟方法显示,2000—2010年总和生育率在1.5—1.6之间波动,2010年之后基本在1.5之下。考虑到2018年和2019年出生人口数量分别为1523万和1465万,总和生育率已经降低到1.5以下。考虑到长期低生育水平对于人口发展的影响,中国需要认真审视当前的人口形势和政策,及时调整政策以达到人口社会长期可持续均衡发展。 展开更多
关键词 变量-r方法 P/F比值法 逆存活分析 预测模拟 总和生育率
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降雨及爆破扰动下某露天矿山顺层高陡岩质边坡稳定性的影响及优化 被引量:6
16
作者 高庆 杨润基 +1 位作者 卢许佳 谢东武 《有色金属(矿山部分)》 2023年第4期52-57,共6页
通过对某矿山顺层岩质边坡的结构面调查,采用室内力学试验的方法确定边坡的岩体质量,并基于强度折减法和极限平衡法理论,对边坡在降雨及爆破扰动条件下的稳定性进行研究。结果显示:边坡在自重+暴雨工况下,边坡结构面无动力扰动影响,边... 通过对某矿山顺层岩质边坡的结构面调查,采用室内力学试验的方法确定边坡的岩体质量,并基于强度折减法和极限平衡法理论,对边坡在降雨及爆破扰动条件下的稳定性进行研究。结果显示:边坡在自重+暴雨工况下,边坡结构面无动力扰动影响,边坡处于稳定状态,该工况下边坡的最大剪应变发生在结构面的最上方,结构面中部的最大剪应力为6.0 mm。在自重+爆破工况下,结构面受到动力扰动的影响,边坡的稳定性受到严重威胁,边坡处于不稳定状态,同时结构面中部剪应变已达110 mm,在此条件下边坡可能会产生滑坡等地质灾害。鉴于此,对该顺层边坡进行了优化设计,设计为开采边坡方向与结构面延伸方向夹角为21.32°,优化后的顺层边坡安全系数显著提升,保证了边坡的稳定性。同时为今后相似矿山的安全设计提供了科学依据。 展开更多
关键词 赤平投影 数值模拟 强度折减法 极限平衡法 力学试验
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航空线阵摆扫式相机成像仿真 被引量:7
17
作者 莫德林 张永生 +1 位作者 王涛 张艳 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第7期328-337,共10页
成像仿真是相机研制必不可缺的步骤。航空线阵摆扫式相机具有距离远、成像倾角大的特点,容易导致成像仿真过程中坐标投影计算迭代不收敛。针对这一问题,提出一种视向量分段迭代的坐标投影计算方法。首先将迭代窗口内的视向量进行分段,... 成像仿真是相机研制必不可缺的步骤。航空线阵摆扫式相机具有距离远、成像倾角大的特点,容易导致成像仿真过程中坐标投影计算迭代不收敛。针对这一问题,提出一种视向量分段迭代的坐标投影计算方法。首先将迭代窗口内的视向量进行分段,根据像点坐标和其所在扫描行的外方位元素计算各分段处的高程与对应的地面点的高程之差,寻找差值最小的分段;然后在该分段处继续构建迭代窗口进行计算,直至高程差值的最小值小于给定的阈值,得到像点坐标对应的地面点三维坐标;最后将该地面点对应的正射影像上的灰度值赋予模拟影像的像点,生成仿真影像。通过三组不同地形的实验数据成像仿真结果表明,该方法成像仿真的精度高于0.005pixel,且其稳健性较高,能够适用于大倾角成像方式的成像仿真。 展开更多
关键词 遥感 坐标投影 线阵摆扫 成像仿真 视向量分段
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基于投影的fMRI时间序列图像配准方法研究 被引量:4
18
作者 罗棻 陈华富 尧德中 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期410-413,共4页
利用投影技术,针对功能磁共振时间序列图像,介绍了一种新的自动图像配准方法。该方法将序列图像二值化后沿着水平方向或垂直方向进行投影,根据投影向量元素的位置和大小,快速地计算出图像的旋转、平移运动的变化参数。仿真实验和实际的... 利用投影技术,针对功能磁共振时间序列图像,介绍了一种新的自动图像配准方法。该方法将序列图像二值化后沿着水平方向或垂直方向进行投影,根据投影向量元素的位置和大小,快速地计算出图像的旋转、平移运动的变化参数。仿真实验和实际的功能磁共振应用证实了该方法的有效性。 展开更多
关键词 图像配准 投影 功能磁共振 仿真
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基于3DEC数值模拟的矿山边坡关键块体稳定性研究 被引量:6
19
作者 康志强 邵陆航 李蕾 《金属矿山》 CAS 北大核心 2018年第8期137-141,共5页
以河北钢铁集团研山铁矿节理岩质边坡作为主要研究对象,使用Shape Metri X 3D高精度三维不接触边坡扫描仪对边坡中结构面信息进行采集。通过分析数据得到优势结构面并采用赤平极射投影方法进行边坡临空面中关键块体的搜索,通过矢量运算... 以河北钢铁集团研山铁矿节理岩质边坡作为主要研究对象,使用Shape Metri X 3D高精度三维不接触边坡扫描仪对边坡中结构面信息进行采集。通过分析数据得到优势结构面并采用赤平极射投影方法进行边坡临空面中关键块体的搜索,通过矢量运算方法得到关键块体的稳定性系数及失稳模式。并结合3DEC数值模拟软件,建立关键块体的三维模型,反演了不同优势结构面组合下关键块体发生失稳的过程,从而验证了数值计算的正确性,为矿山治理边坡稳定性提供了可靠的科学依据及技术支撑。 展开更多
关键词 3DEC 赤平极射投影 关键块体 数值模拟
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投影光刻技术的计算机模拟研究 被引量:4
20
作者 范建兴 冯伯儒 +1 位作者 张锦 周崇喜 《微细加工技术》 EI 1996年第4期23-31,共9页
投影光刻技术的计算机模拟分为三部分:空间像强度分布计算,曝光计算和显影计算。本文分别讨论了各部分数学模型的建立,计算方法及特点,并给出了一些研究结果。
关键词 投影光刻 计算机模拟 光刻技术
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