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C-V法测量pn结杂质浓度分布的基本原理及应用 被引量：13
1
作者 何波 史衍丽 徐静 《红外》 CAS 2006年第10期5-10,共6页
全面地介绍了pn结C-V测量法的基本原理、测试设备及条件。利用pn结反向偏压时的电容特性推导了有效杂质浓度随深度分布的计算公式及突变结和线性缓变结的1/(C2)-V和1/(C3)-V关系图。应用该原理计算、分析了IN5401整流二极管pn结的特性... 全面地介绍了pn结C-V测量法的基本原理、测试设备及条件。利用pn结反向偏压时的电容特性推导了有效杂质浓度随深度分布的计算公式及突变结和线性缓变结的1/(C2)-V和1/(C3)-V关系图。应用该原理计算、分析了IN5401整流二极管pn结的特性及杂质浓度的纵向分布。 展开更多
关键词 C—V测量法 杂质浓度分布 PN结 势垒电容 离子注入
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