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多孔硅发光机制的分析 被引量:5
1
作者 汪开源 唐洁影 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1994年第4期317-322,共6页
从量子力学的基本理论出发讨论了量子限制效应,推导出多孔硅有效禁带宽度增量并用量子限制效应和表面态及其物质在发光中作用的理论解释了PS光致发光的实验现象。
关键词 多孔硅 光致发光 量子限制效应 量子力学 分析
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多孔硅湿度传感器研究进展 被引量:6
2
作者 许媛媛 何金田 +1 位作者 李新建 陈渝仁 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第8期5-8,共4页
综述了湿度传感器的研究现状。分析了多孔硅湿度传感器的感湿机理,介绍了几种多孔硅湿度传感器的制作工艺及结构,并讨论了它们的优缺点。最后,对多孔硅湿度传感器的应用前景作了展望。
关键词 多孔硅 湿度传感器 湿敏元件 制作工艺 感湿机理
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多孔硅的应用研究进展 被引量:3
3
作者 裴立宅 刘翠娟 《光电技术应用》 2004年第4期16-19,22,共5页
多孔硅是一种新型的纳米半导体光电材料 ,室温下具有优异的光致发光、电致发光等特性 ,易与现有硅技术兼容 ,极有可能实现硅基光电器件等多个领域的应用 .扼要论述了多孔硅在绝缘材料、敏感元件及传感器、照明材料及太阳能电池、光电器... 多孔硅是一种新型的纳米半导体光电材料 ,室温下具有优异的光致发光、电致发光等特性 ,易与现有硅技术兼容 ,极有可能实现硅基光电器件等多个领域的应用 .扼要论述了多孔硅在绝缘材料、敏感元件及传感器、照明材料及太阳能电池、光电器件以及作为合成其它材料的模板等多个领域内的应用进展情况 。 展开更多
关键词 多孔硅 应用 研究进展
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多孔硅中八羟基喹啉铝的光致发光 被引量:4
4
作者 薛清华 徐春祥 +2 位作者 钟嫄 罗宗南 崔一平 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第8期845-847,共3页
通过两种方法将有机小分子八羟基喹啉铝 (Alq3)嵌入到用阳极腐蚀法制备的多孔硅中。一是浸泡法 ,将新鲜的多孔硅浸泡于 Alq3的氯仿溶液中 ,通过物理吸附使 Alq3嵌入到多孔硅的纳米孔中 ;二是反应法 ,先将多孔硅浸泡于硫酸铝的水溶液中 ... 通过两种方法将有机小分子八羟基喹啉铝 (Alq3)嵌入到用阳极腐蚀法制备的多孔硅中。一是浸泡法 ,将新鲜的多孔硅浸泡于 Alq3的氯仿溶液中 ,通过物理吸附使 Alq3嵌入到多孔硅的纳米孔中 ;二是反应法 ,先将多孔硅浸泡于硫酸铝的水溶液中 ,再在其中加入八羟基喹啉的甲醇溶液 ,使它们在多孔硅的纳米孔中反应产生 Alq3。两种方法得到的 Alq3的光致发光光谱均较硅片上蒸镀的 Alq3的光致发光光谱有所蓝移 ,半高宽有所减小。 展开更多
关键词 多孔硅 光致发光 八羟基喹啉
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水热腐蚀铁钝化多孔硅的湿敏特性研究 被引量:3
5
作者 许媛媛 何金田 +2 位作者 李新建 陈渝仁 胡行 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2004年第3期11-13,共3页
采用水热腐蚀铁钝化法在单晶硅片上生长铁钝化多孔硅(IPS)薄膜,以IPS为感湿介质制成湿敏元件。在不同湿度环境以及测试频率下,测出其电容值,得到了IPS的湿敏特性曲线。研究发现,当相对湿度从11%RH逐渐增加到95%RH的过程中,在测试频率为1... 采用水热腐蚀铁钝化法在单晶硅片上生长铁钝化多孔硅(IPS)薄膜,以IPS为感湿介质制成湿敏元件。在不同湿度环境以及测试频率下,测出其电容值,得到了IPS的湿敏特性曲线。研究发现,当相对湿度从11%RH逐渐增加到95%RH的过程中,在测试频率为100Hz时,IPS湿敏元件的电容值增大幅度达1500%,电容响应时间在升湿过程和脱湿过程分别为15s和5s,并且IPS湿敏元件的温度系数在15℃到35℃的范围内较小。结果表明:IPS湿敏元件的特性包括灵敏度、响应时间以及温度系数等均优于多孔硅(PS)湿敏元件的特性。 展开更多
关键词 水热腐蚀 铁钝化 多孔硅 湿敏特性 响应时间 传感器
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O_3有效钝化多孔硅的研究 被引量:5
6
作者 黄燕华 陈松岩 江炳熙 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期450-454,共5页
开发了用O3氧化钝化多孔Si(PS)的实用工艺方法。O3的基本作用是对Si-Hx和Si悬挂键(DB)的充分氧化,经过随后158 d贮存的老化实验,得到了表面Si-Hx键完全被Si-Ox膜和Si-烷基膜所替代并覆盖的PS,其光致发光(PL)强度达到稳定的增强,这归因... 开发了用O3氧化钝化多孔Si(PS)的实用工艺方法。O3的基本作用是对Si-Hx和Si悬挂键(DB)的充分氧化,经过随后158 d贮存的老化实验,得到了表面Si-Hx键完全被Si-Ox膜和Si-烷基膜所替代并覆盖的PS,其光致发光(PL)强度达到稳定的增强,这归因于PS纳米晶粒的表面势垒高度的提高以及量子效率的提高。 展开更多
关键词 多孔Si(ps) 光致发光(PL) 臭氧处理(OT) 傅立叶变换红外吸收谱(FTIR)
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ZnS薄膜生长温度对ZnS/PS体系结构和发光的影响 被引量:5
7
作者 王彩凤 李清山 郑萌萌 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期490-492,共3页
用电化学阳极氧化法制备了一定孔隙率的多孔硅(PS,PorousSilicon)样品,然后以PS为衬底用脉冲激光沉积(PLD)的方法在100℃、200℃和300℃下生长ZnS薄膜。X射线衍射(XRD)结果表明,样品都在28.5°附近有一个较强的衍射峰,对应于β-ZnS(... 用电化学阳极氧化法制备了一定孔隙率的多孔硅(PS,PorousSilicon)样品,然后以PS为衬底用脉冲激光沉积(PLD)的方法在100℃、200℃和300℃下生长ZnS薄膜。X射线衍射(XRD)结果表明,样品都在28.5°附近有一个较强的衍射峰,对应于β-ZnS(111)晶向,说明薄膜沿该方向择优取向生长,但由于衬底PS粗糙的表面结构,衍射峰的半高全宽(FWHM)较大。随着ZnS薄膜生长温度的升高,薄膜的衍射峰强度逐渐增强。扫描电子显微镜(SEM)像显示,随着薄膜生长温度的升高,构成薄膜的纳米晶粒生长变大。室温下的光致发光(PL)谱表明,随着薄膜生长温度的升高,ZnS的发光强度增强而PS的发光强度减弱,把ZnS的蓝绿光与PS的红光叠加,在可见光区450~700nm形成了一个较宽的光致发光谱带,呈现较强的白光发射。 展开更多
关键词 光致发光(PL) 白光 脉冲激光沉积(PLD) ZnS多孔硅(ps)
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一种新型阳极氧化多孔硅技术 被引量:4
8
作者 陈松岩 蔡贝妮 +1 位作者 黄燕华 蔡加法 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期561-566,共6页
在适当条件下氧化多孔硅是提高多孔硅发光强度的良好途径,提出了一种新型阳极氧化方法,并探讨了该方法所涉及的阳极氧化条件。采用含CH3CSNH2的HF酸水溶液作为氧化剂对初始多孔硅进行了湿法阳极氧化,发现氧化使多孔硅光致发光性质得到... 在适当条件下氧化多孔硅是提高多孔硅发光强度的良好途径,提出了一种新型阳极氧化方法,并探讨了该方法所涉及的阳极氧化条件。采用含CH3CSNH2的HF酸水溶液作为氧化剂对初始多孔硅进行了湿法阳极氧化,发现氧化使多孔硅光致发光性质得到极大改善,进而研究了氧化电流、氧化温度、氧化时间等一系列因素对氧化多孔硅光致发光强度的影响,并给出了合理解释。实验发现,在1mA,10min,60℃的氧化条件下,采用阳极氧化技术使多孔硅发光强度增强了18倍。 展开更多
关键词 多孔硅(ps) 湿法氧化 光致发光(PL)
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二氧化钛/多孔硅/硅异质结的表面光电压谱 被引量:3
9
作者 李旦振 刘平 付贤智 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第5期558-560,共3页
首次在多孔硅 (PS)的表面镀纳米二氧化钛 (TiO2)薄膜,表面光电压谱 (SPS)测试表明:镀膜后多孔硅的光电压信号增强约2~3个数量级,其原因可能是双异质结构TiO2/PS/p-Si能有效地吸收近红外一直到紫外光... 首次在多孔硅 (PS)的表面镀纳米二氧化钛 (TiO2)薄膜,表面光电压谱 (SPS)测试表明:镀膜后多孔硅的光电压信号增强约2~3个数量级,其原因可能是双异质结构TiO2/PS/p-Si能有效地吸收近红外一直到紫外光,并且近本征的多孔硅自建电场增大,使光生电子-空穴对能有效地分离;PS/p-Si之间的势垒差产生的阻止少于向电极扩散的背向电场,也能有效地增强光生电压. 展开更多
关键词 表面光电压谱 多孔硅 异质结 纳米二氧化钛薄膜
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RECTIFYING EFFECT OF POLYANILINE(PANI)/N-TYPE POROUS SILICONE HETEROJUNCTION 被引量:1
10
作者 万梅香 《Chinese Journal of Polymer Science》 SCIE CAS CSCD 1999年第1期49-55,共7页
Heterojunctions between polyaniline (PANI) and n-type porous silicon (PS), Al/PS-PANI/Au cell, were fabricated, and the rectifying parameters of this heterojunction diode were measured as a function of the preparation... Heterojunctions between polyaniline (PANI) and n-type porous silicon (PS), Al/PS-PANI/Au cell, were fabricated, and the rectifying parameters of this heterojunction diode were measured as a function of the preparation conditions of PANI and PS, the electronic structure of PANI as well as cell structure. The rectifying parameters of Al/PS-PANI/Au cell were determined to be gamma = 1.8x10(1) similar to 1.0x10(5) for the rectifying ratio at 3V, n = 3 similar to 12 for the ideal factor, j(0) = 8.0x10(-5) similar to 5.6x10(-2) mA/cm(2) for the reversed saturated current density, and phi(0) = 0.67 similar to 0.83 V for the barrier height, respectively. The best rectifying heterojunction diode made between PANI and n-type PS with higher rectifying factor (gamma = 1.0x10(5) at 3V), output current (>1500 mA/cm(2) at 3V) and lower ideal factor (n = 3.3) was obtained by preventing the oxidation of PS before evaporating Al electrode. 展开更多
关键词 polyaniline(PANI) porous silicon(ps) rectifying effect HETEROJUNCTION
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多孔硅的不稳定性对太阳电池的影响 被引量:4
11
作者 黄金昭 徐征 +3 位作者 朱琳 许颖 李海玲 王文静 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第12期1421-1423,1428,共4页
研究了多孔硅(PS)的特性及其在太阳电池上的应用,并对PS太阳电池性能以及由于PS的不稳定性对电池产生的影响进行了研究。实验表明,将PS的光致发光(PL)以及减反射特性应用于太阳电池能有效提高电池的效率,同比提高了83.89%,效率为14.73%... 研究了多孔硅(PS)的特性及其在太阳电池上的应用,并对PS太阳电池性能以及由于PS的不稳定性对电池产生的影响进行了研究。实验表明,将PS的光致发光(PL)以及减反射特性应用于太阳电池能有效提高电池的效率,同比提高了83.89%,效率为14.73%,但其不稳定性对电池效率的影响较为明显。 展开更多
关键词 多孔硅(ps) 太阳电池 不稳定性
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多孔硅的微结构和发光机制探讨 被引量:2
12
作者 王军 康建勋 +1 位作者 陈飞明 胥爱军 《郑州大学学报(自然科学版)》 CAS 1999年第4期38-41,共4页
阐述了多孔硅微结构及主要发光机制,并讨论了微结构研究与发光机制研究中存在的问题,并提出改进制备及后处理工艺,纯化表面成分及状态。
关键词 多孔硅 发光机制 光致发光 量子限制效应 微结构
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纳米硅颗粒在多孔氧化铝中的光致荧光特性 被引量:2
13
作者 车永莉 曹小龙 李清山 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期94-97,共4页
采用阳极氧化方法制备了多孔硅(PS),经过超声波充分粉碎PS层得到分散的Si纳米颗粒(n-Si),利用高速离心旋转方法将n-Si镶嵌到多孔氧化铝(Al2O3)模板中,得到n-Si/Al2O3复合体系。研究了PS、分散的n-Si和n-Si/Al2O3的荧光(PL)光谱性质,观察... 采用阳极氧化方法制备了多孔硅(PS),经过超声波充分粉碎PS层得到分散的Si纳米颗粒(n-Si),利用高速离心旋转方法将n-Si镶嵌到多孔氧化铝(Al2O3)模板中,得到n-Si/Al2O3复合体系。研究了PS、分散的n-Si和n-Si/Al2O3的荧光(PL)光谱性质,观察到n-Si极强的蓝紫光发射。结果表明,在Al2O3模板中的n-Si,比起PS和丙酮中的发光峰值波长向短波方向“蓝移”,而且半峰全宽(FWHM)也相对变窄。实验现象表明,量子限制效应(QCE)对样品的PL性质有重要作用,并用QCE对样品的发光“蓝移”现象进行了解释。 展开更多
关键词 多孔硅(ps) 硅纳米颗粒(n-Si) 多孔氧化铝(Al2O3) 量子限制效应(QCE)
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新型共轭聚合物PDABTh/PS复合膜的光学三阶非线性研究 被引量:3
14
作者 向梅 贾振红 +1 位作者 吕小毅 钟福如 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第8期1200-1202,共3页
采用旋转涂布法在多孔硅(PS)中嵌入新型含偶氮苯与噻吩结构单元的共轭聚合物PDABTh,制备出聚合物PDABTh/PS复合膜。采用单光束反射Z扫描方法分别对PS和PDABTh/PS复合膜在532nm处的非线性折射率进行了测量。实验结果表明,复合材料三阶非... 采用旋转涂布法在多孔硅(PS)中嵌入新型含偶氮苯与噻吩结构单元的共轭聚合物PDABTh,制备出聚合物PDABTh/PS复合膜。采用单光束反射Z扫描方法分别对PS和PDABTh/PS复合膜在532nm处的非线性折射率进行了测量。实验结果表明,复合材料三阶非线性光学效应较PS得到了明显增强,为新型共轭聚合物PDABTh/PS复合体系作为Si基非线性光学材料用于先进光电器件的设计提供了重要参考。 展开更多
关键词 共轭聚合物 多孔硅(ps) 非线性折射率 PDABTh
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ZnS/PS体系的结构和发光特性 被引量:3
15
作者 王彩凤 李清山 +2 位作者 李少兰 胡波 李卫兵 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期359-362,共4页
用电化学阳极氧化法制备了不同孔隙率的多孔硅(PS)样品,然后用脉冲激光沉积(PLD)法在其表面生长ZnS薄膜,研究ZnS/PS复合体系的结构和发光特性。X射线衍射仪(XRD)结果表明,ZnS薄膜的生长具有高度择优取向,在28.5°附近有一很强的衍射... 用电化学阳极氧化法制备了不同孔隙率的多孔硅(PS)样品,然后用脉冲激光沉积(PLD)法在其表面生长ZnS薄膜,研究ZnS/PS复合体系的结构和发光特性。X射线衍射仪(XRD)结果表明,ZnS薄膜的生长具有高度择优取向,在28.5°附近有一很强的衍射峰,对应于β-ZnS(111)晶向。扫描电子显微镜像(SEM)显示,ZnS薄膜表面很不平整并出现空洞,这是由于衬底PS的表面粗糙所致。ZnS/PS复合体系的光致发光(PL)谱的高斯拟合分峰表明,随着衬底孔隙率的增大,在样品B和C的发光谱中,在光谱中间520nm左右都出现了一个新的绿色发光峰,归因于ZnS的缺陷中心发光。位于480nm附近的ZnS的蓝光和520nm附近的ZnS的绿光以及位于600nm处的PS的橙红光叠加在一起,整个ZnS/PS复合体系呈现出较强的白光。 展开更多
关键词 光致发光(PL) 白光 ZNS薄膜 多孔硅(ps) 脉冲激光沉积(PLD)
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铜辅助化学腐蚀条件对多孔硅的影响 被引量:2
16
作者 黄燕华 韩响 陈松岩 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第10期1101-1107,共7页
以铜(Cu)作为催化剂,采用两步化学腐蚀法成功制备了微纳米多孔硅(PS)。本文方法成本低廉、操作简易。系统研究了腐蚀液中H2O2浓度、Si衬底掺杂浓度、腐蚀液温度和腐蚀时间对PS表面形貌和腐蚀深度的影响,并得到最佳制备参数。高、低掺Si... 以铜(Cu)作为催化剂,采用两步化学腐蚀法成功制备了微纳米多孔硅(PS)。本文方法成本低廉、操作简易。系统研究了腐蚀液中H2O2浓度、Si衬底掺杂浓度、腐蚀液温度和腐蚀时间对PS表面形貌和腐蚀深度的影响,并得到最佳制备参数。高、低掺Si衬底所采用的最佳配比腐蚀液中的H2O2浓度分别达到0.70mol/L和0.24mol/L。在25℃腐蚀液中,腐蚀2h得到约200nm深的纳米级孔洞,其表面反射率在宽波段内降低到5%以下;而在50℃腐蚀液中,经过2~4h的腐蚀,可得到14~41μm深的结构稳定的微纳米级孔洞。文中还对Cu辅助腐蚀与其他金属辅助腐蚀(MACE)作了对比,分析了Cu辅助腐蚀获得锥状孔洞的原因和机理。 展开更多
关键词 金属辅助化学腐蚀(MACE) 铜(Cu)催化 多孔硅(ps) 纳米结构 表面减反
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多孔硅表面Si—OH结构的研究 被引量:1
17
作者 周明秀 杨春 +1 位作者 郁卫飞 李金山 《四川师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2006年第4期455-459,共5页
建立了2×1的表面为S i—OH结构的多孔硅(Porous S ilicon,PS)模型,在周期性边界条件下的K空间中,采用基于密度泛函理论广义梯度近似的平面波超软赝势方法,对S i—OH结构进行几何结构与电子结构的计算研究.通过分析优化后稳定的S i... 建立了2×1的表面为S i—OH结构的多孔硅(Porous S ilicon,PS)模型,在周期性边界条件下的K空间中,采用基于密度泛函理论广义梯度近似的平面波超软赝势方法,对S i—OH结构进行几何结构与电子结构的计算研究.通过分析优化后稳定的S i—OH结构,从理论上证实多孔硅的结构是完全不规则的,表面结构中两类S i—O键长值分别介于0.161-0.163 nm之间和0.168-0.170 nm之间,两类O—H键长值分别为0.097 nm和0.098-0.100 nm,角∠S i—O—H的值主要分布在109.0-°116.3°之间,角∠O—S i—O的值主要分布在96.2-°98.5°之间;最后通过电子局域函数ELF图分析了表面成键与表面电子分布特性. 展开更多
关键词 多孔硅(ps) Si-OH 密度泛函 表面结构 电子密度
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基于微腔光学晶体生物传感器的研究进展 被引量:1
18
作者 李莎 时喜喜 蔡林涛 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第12期1-4,共4页
多孔硅(PS)与多孔硅微腔晶体(PSM)作为新型功能材料,其独特的光学特性、微电子相容性、滤过性、纳米微孔生长可控性及大的比表面积为生物信号传感提供了一个较为理想的平台,已制备成多种生物传感器应用于血液,细菌,病毒,DNA等的快速检... 多孔硅(PS)与多孔硅微腔晶体(PSM)作为新型功能材料,其独特的光学特性、微电子相容性、滤过性、纳米微孔生长可控性及大的比表面积为生物信号传感提供了一个较为理想的平台,已制备成多种生物传感器应用于血液,细菌,病毒,DNA等的快速检测中。在分析了PS与PSM的结构和性能的基础上,重点介绍了PS与PSM生物传感器的研究现状,并提出开发微型芯片、集成器件和市场化产品将是PS与PSM生物传感器的发展趋势。 展开更多
关键词 生物传感器 多孔硅 多孔硅微腔晶体
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无酸水热法制备多孔硅 被引量:1
19
作者 朱利兵 唐元洪 +1 位作者 胡爱平 林良武 《电子器件》 CAS 2006年第2期311-313,329,共4页
报道一种在无酸性腐蚀液的条件下用反应釜制备多孔硅的新方法。实验采用扫描电镜、拉曼光谱和光致发光谱对样品表面形貌、结构及发光性能进行表征,并与用常规电化学阳极氧化法制出的多孔硅进行了对比研究,研究结果表明用无酸水热法制出... 报道一种在无酸性腐蚀液的条件下用反应釜制备多孔硅的新方法。实验采用扫描电镜、拉曼光谱和光致发光谱对样品表面形貌、结构及发光性能进行表征,并与用常规电化学阳极氧化法制出的多孔硅进行了对比研究,研究结果表明用无酸水热法制出的多孔硅表面平整,孔的形状规则,发光效能提高更多。 展开更多
关键词 光电集成 多孔硅 无酸水热法 电化学阳极氧化法
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多孔硅荧光谱双峰结构的研究 被引量:1
20
作者 陈松岩 何国荣 +3 位作者 陈小红 韩建军 林爱清 陈丽蓉 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2002年第2期182-185,共4页
采用阳极腐蚀法制备了多孔硅 (PS) ,用原子力显微镜 (AFM)照片对其表面和结构做了分析 ,观察到多孔硅纳米尺寸的微结构 ;并进行了多孔硅层 (PSL )的光致发光谱 (PL)测量 ,观察到PL谱峰的”蓝移”和双峰现象 ,符合量子尺寸效应和发光中... 采用阳极腐蚀法制备了多孔硅 (PS) ,用原子力显微镜 (AFM)照片对其表面和结构做了分析 ,观察到多孔硅纳米尺寸的微结构 ;并进行了多孔硅层 (PSL )的光致发光谱 (PL)测量 ,观察到PL谱峰的”蓝移”和双峰现象 ,符合量子尺寸效应和发光中心理论 。 展开更多
关键词 多孔硅 红外吸收谱 量子效应 蓝移 微结构 荧光光谱 双峰结构
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