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题名极坐标激光直写径向漂移理论研究
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作者
金占雷
谭久彬
刘玉涛
王雷
张山
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机构
哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所
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出处
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第7期38-43,共6页
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基金
国家自然科学基金资助项目(50675052)
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文摘
为了进一步提高光学元件的线条制作精度,建立了极坐标激光直写时线条中心径向漂移的补偿模型。首先推导了极坐标激光直写的曝光量分布模型,分析了径向漂移产生的原因,然后针对数值孔径为0.5的光刻物镜建立了线条展宽模型和径向漂移模型,并分析了线条展宽和径向漂移的耦合关系,在此基础上分别建立了线条展宽补偿模型和径向漂移补偿模型。仿真结果表明,补偿前的径向漂移量是线条展宽量的3倍,对径向漂移进行补偿可以很好地减小系统原理误差,提高极坐标激光直写的制作精度。
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关键词
径向漂移
线条展宽
补偿
极坐标激光直写
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Keywords
radial shift
line broadening
compensation
polar laser direct writing
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分类号
TN249
[电子电信—物理电子学]
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题名激光直写变剂量曝光制作菲涅尔透镜研究
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作者
王丽
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机构
长春理工大学
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出处
《黑龙江科学》
2015年第17期18-18,21,共2页
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文摘
本文利用极坐标激光直写系统，采用变剂量曝光的方法实现了在折射率n=1．512的K9玻璃上制作一焦距为f=100mm，齿高为0．79um，环带半径分别为284．6um、402．5um、493．0um、569．2um、636．4um的菲涅尔透镜，证实了利用光学玻璃制作菲涅耳透镜的可行性及实用性。
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关键词
极坐标激光直写
变剂量曝光
菲涅耳透镜
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Keywords
polar laser direct writing
Variable dose exposure
Fresnel lens
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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题名极坐标激光直写系统原点定位的实验研究
被引量：3
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作者
李凤有
谢永军
卢振武
王肇圻
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机构
南开大学现代光学研究所
中国科学院长春光机与物理研究所应用光学国家重点实验室
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第10期1163-1165,共3页
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基金
国家自然科学基金 (6 0 0 780 0 6 )
中科院创新基金资助项目
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文摘
分析了旋转线性光栅法对准光轴与旋转机械轴中心的理论准确度 ,实验研究了极坐标激光直写系统的原点定位 在极坐标激光直写系统下进行了圆环线条写入实验 ,得出了原点定位的准确度 ,原点定位准确度优于 0 .5 μm 。
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关键词
极坐标激光直写系统
坐标原点定位
激光直写
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Keywords
polar coordinate laser writing systems
Fixing the origin of coordinate
laser direct writing
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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