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铂扩散工艺对硅快恢复二极管特性的影响 被引量:5
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作者 曾祥斌 孙树梅 +1 位作者 袁德成 蒋陆金 《华中科技大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第9期73-76,共4页
采用直拉单晶硅片代替成本较高的外延硅片,采取铂扩散的方法引入复合中心,从而控制少子寿命以减少快恢复二极管的反向恢复时间.通过大量实验研究了铂扩散二极管的特性,表明在扩散时间一定的条件下,随着铂扩散温度的升高,反向恢复时间TR... 采用直拉单晶硅片代替成本较高的外延硅片,采取铂扩散的方法引入复合中心,从而控制少子寿命以减少快恢复二极管的反向恢复时间.通过大量实验研究了铂扩散二极管的特性,表明在扩散时间一定的条件下,随着铂扩散温度的升高,反向恢复时间TRR呈线性下降趋势;并且相同扩散温度条件下,电阻率越小的样品TRR值越小.随着铂扩散时间的增加,TRR值逐渐减小.分析了TRR以及正向压降VF的温度特性,表明随着工作温度的升高,TRR呈上升趋势,而VF随温度的升高而下降. 展开更多
关键词 铂扩散 反向恢复时间 正向压降 漏电流
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高压FRD少子寿命控制技术研究
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作者 艾治州 李松岭 +2 位作者 张帮会 王二俊 张小辛 《固体电子学研究与进展》 CAS 2024年第2期173-177,共5页
快恢复二极管(Fast recovery diode,FRD)常采用寿命控制技术来减小反向恢复时间,但也会改变其他电学性能。本文研究了扩铂工艺、电子辐照工艺以及结合扩铂和电子辐照工艺对1 700 V FRD的导通压降温度特性、反向恢复特性以及反向漏电流... 快恢复二极管(Fast recovery diode,FRD)常采用寿命控制技术来减小反向恢复时间,但也会改变其他电学性能。本文研究了扩铂工艺、电子辐照工艺以及结合扩铂和电子辐照工艺对1 700 V FRD的导通压降温度特性、反向恢复特性以及反向漏电流的影响。实验结果表面:采用扩铂与电子辐照工艺后,FRD的导通压降分别呈现出负温度系数与正温度系数;结合两种工艺后,FRD的导通压降趋于零温度系数。此外,在导通压降近似为2 V时,扩铂后FRD的反向峰值电流为21.3 A,且反向漏电流最小;电子辐照后FRD的反向峰值电流为35.2 A,且反向漏电流最大;结合两种工艺后,发现反向漏电流介于两者之间,反向峰值电流为25.9 A,同时获得了较小的反向恢复电荷,大小为4148.9 nC。 展开更多
关键词 快恢复二极管 扩铂 电子辐照 温度系数 导通压降
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掺铂和电子辐照对快恢复二极管性能的影响 被引量:2
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作者 赵豹 贾云鹏 +4 位作者 吴郁 胡冬青 周璇 李哲 谭健 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第1期37-41,共5页
寿命控制技术是现在广泛使用的方法,该方法旨在减少快恢复二极管(FRD)基区载流子寿命从而实现更小的反向恢复时间,同时不可避免地引起其他性能的变化。通过高能电子辐照和扩铂对1 200 V FRD进行了寿命控制,并对铂扩散和电子辐照样品在... 寿命控制技术是现在广泛使用的方法,该方法旨在减少快恢复二极管(FRD)基区载流子寿命从而实现更小的反向恢复时间,同时不可避免地引起其他性能的变化。通过高能电子辐照和扩铂对1 200 V FRD进行了寿命控制,并对铂扩散和电子辐照样品在正向压降温度特性、静态和反向恢复特性等方面进行了对比分析,发现铂扩散样品随扩铂温度的增加,其击穿电压变大;高能电子辐照器件呈现电压正温度系数,其正向压降和反向恢复时间(VF-trr)折中曲线更靠近原点。实验结果表明,高能电子辐照样品具有更好的温度系数、更好的VF-trr折中特性,然而反向电流在125℃却高达约210μA。 展开更多
关键词 寿命控制 扩铂 电子辐照 快恢复二极管(FRD) 深能级瞬态谱(DLTS)
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铂扩散快恢复二极管特性的研究
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作者 孙树梅 曾祥斌 +3 位作者 袁德成 蒋陆金 肖敏 冯亚宁 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第12期930-934,共5页
描述了用直拉单晶(CZ)硅片采取铂液态源扩散的方法控制少子寿命,以达到减小快恢复二极管的反向恢复时间的目的。通过一系列的实验对铂扩散二极管的特性进行研究,分析了铂扩散二极管的反向恢复时间TRR、正向压降VF以及漏电流IR等参数之... 描述了用直拉单晶(CZ)硅片采取铂液态源扩散的方法控制少子寿命,以达到减小快恢复二极管的反向恢复时间的目的。通过一系列的实验对铂扩散二极管的特性进行研究,分析了铂扩散二极管的反向恢复时间TRR、正向压降VF以及漏电流IR等参数之间的关系,并分析了反向恢复时间TRR的温度特性。得到TRR与VF之间的理想折衷:TRR为80~500ns,VF控制在0.9~1.3V。不但使TRR与VF的折衷有了较大的改善,而且在材料上采用了成本较低的直拉单晶硅片代替成本较高的外延片。分析了铂扩散温度和时间对反向恢复时间TRR和正向压降VF的影响,理论上解释了各主要参数之间相互影响的原因。 展开更多
关键词 铂扩散 反向恢复时间 正向压降 漏电流
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Re扩散障厚度对铂改性铝化物涂层1200℃氧化行为影响
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作者 梁晋铭 尹斌 +2 位作者 李伟洲 赵小莲 邓春明 《材料研究与应用》 CAS 2024年第4期633-642,共10页
铂改性铝化物(PtAl)涂层具有良好的抗高温氧化和抗热腐蚀综合性能,被广泛用于单晶航空发动机高温合金叶片的高温防护。添加扩散障可阻止高温合金中难熔元素(W,Mo)向外扩散,提高涂层/基体结构稳定性,以及PtAl涂层抗氧化和高温力学性能。... 铂改性铝化物(PtAl)涂层具有良好的抗高温氧化和抗热腐蚀综合性能,被广泛用于单晶航空发动机高温合金叶片的高温防护。添加扩散障可阻止高温合金中难熔元素(W,Mo)向外扩散,提高涂层/基体结构稳定性,以及PtAl涂层抗氧化和高温力学性能。为探究Re扩散障厚度对PtAl涂层性能的影响,采用电镀与高温低活性渗铝技术,在Ni3Al基单晶高温合金表面制备了无Re扩散障和3种不同厚度Re扩散障的PtAl涂层,开展了1200℃恒温氧化实验,对比分析了PtAl涂层的抗高温氧化性能。利用场发射-扫描电镜、能谱仪和X射线衍射仪,对涂层微观组织结构和成分进行了详细表征,对其氧化行为及失效机制进行了深入探讨。研究表明,未添加Re扩散障的制备态PtAl涂层呈现双层结构,包括外层和互扩散区。添加Re扩散障后,PtAl涂层转变为3层结构,包括外层、扩散障层和互扩散区。添加了Re扩散障的PtAl涂层,经1200℃氧化后涂层表面呈现出更少的剥落面积,氧化膜相对致密完整,表明Re扩散障的添加可以显著提升PtAl涂层的抗高温氧化性能。随着Re扩散障厚度的增加,涂层的氧化增重进一步降低;然而,当Re扩散障厚度超过一定程度后,涂层抗氧化性能的提升并不明显。其原因是过厚的电镀Ni-Re层在氧化过程中导致了Re扩散障致密度和连续性的下降,降低了扩散障对Al元素的阻扩散效果。本研究深入揭示了Re扩散障厚度对PtAl涂层抗氧化性能的影响机理,为含Re扩散障的PtAl涂层的设计提供了重要理论基础。 展开更多
关键词 PtAl 扩散障 厚度 抗高温氧化性能 单晶高温合金 元素互扩散 渗铝 航空发动机
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贵金属催化氢电极过程的物质传递
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作者 王力臻 朱松然 《郑州轻工业学院学报》 1997年第3期5-9,共5页
基于对在相同反应电流、不同反应剂时的电位差ΔE(i)(ΔE(i)=EH2-EH2+N2)曲线的分析,考查了碱性体系下物质传递对贵金属催化氢电极过程电化学行为的作用,发现在这条曲线的不同区域内有着不同的传质方式.考虑到... 基于对在相同反应电流、不同反应剂时的电位差ΔE(i)(ΔE(i)=EH2-EH2+N2)曲线的分析,考查了碱性体系下物质传递对贵金属催化氢电极过程电化学行为的作用,发现在这条曲线的不同区域内有着不同的传质方式.考虑到气体扩散、溶解气体分子的扩散、电化学反应、IR压降等所建立的数学模型,很好地解释了实验结果,也说明了铂钯催化剂要比纯铂催化剂的性能稳定. 展开更多
关键词 物质传递 氢气体扩散电极 贵金属 电极过程
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