期刊文献+
共找到95篇文章
< 1 2 5 >
每页显示 20 50 100
等离子体化学气相沉积TiN涂层的后热处理技术研究 被引量:9
1
作者 赵程 彭红瑞 +1 位作者 谢广文 李世直 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2000年第5期366-369,共4页
为了提高等离子体化学气相沉积 (PCVD)涂层的质量 ,改善基体材料的机械性能 ,更好地发挥PCVD硬质涂层的使用效果 ,采用了先沉积后热处理的新工艺。结果表明 ,热处理温度对PCVD TiN涂层的化学成分、显微结构和性能有较大的影响。随着处... 为了提高等离子体化学气相沉积 (PCVD)涂层的质量 ,改善基体材料的机械性能 ,更好地发挥PCVD硬质涂层的使用效果 ,采用了先沉积后热处理的新工艺。结果表明 ,热处理温度对PCVD TiN涂层的化学成分、显微结构和性能有较大的影响。随着处理温度的提高 ,涂层的结晶度得到大幅度的改善 ,涂层内的杂质氯含量降低 ,涂层的 (2 0 0 )晶面距减小 ,但在 90 0℃时 ,PCVD 展开更多
关键词 TIN涂层 后热处理 Pcvd 金属表面强化
下载PDF
高速钢工件表面物理化学气相沉积TiN 被引量:10
2
作者 石玉龙 彭红瑞 +1 位作者 李世直 李建华 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 1997年第11期22-23,共2页
介绍了等离子化学气相沉积氮化钛技术在高速钢刀具和飞机用高速钢精密轴承上的应用。经PCVD-TiN处理的高速钢刀具可以提高其表面强度,降低摩擦系数,从而提高其使用寿命。处理过的高速钢轴承精度高,具有抗高温氧化和抗热震性... 介绍了等离子化学气相沉积氮化钛技术在高速钢刀具和飞机用高速钢精密轴承上的应用。经PCVD-TiN处理的高速钢刀具可以提高其表面强度,降低摩擦系数,从而提高其使用寿命。处理过的高速钢轴承精度高,具有抗高温氧化和抗热震性能,满足了使用要求。 展开更多
关键词 等离子化学气相沉积 氮化钛 高速钢刀具 精密轴承
下载PDF
A New Approach to Plasma CVD of TiO_2 Photocatalyst on γ-Al_2O_3 Pellet Filled in Dielectric Barrier Discharges at Atmospheric Pressure 被引量:3
3
作者 朱爱民 聂龙辉 +3 位作者 张秀玲 石川 宋志民 徐勇 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2004年第6期2546-2548,共3页
A supported TiO2/γ-Al2O3 photocatalyst has been prepared by γ-Al2O3 pellet-filled dielectric barrier discharges induced plasma CVD at atmospheric pressure and room temperature. The TiO2/γ-Al2O3 photocatalyst exhibi... A supported TiO2/γ-Al2O3 photocatalyst has been prepared by γ-Al2O3 pellet-filled dielectric barrier discharges induced plasma CVD at atmospheric pressure and room temperature. The TiO2/γ-Al2O3 photocatalyst exhibits higher photocatalytic activity than Degussa P25, and much higher photocatalytic activity than that prepared by thermal CVD. 展开更多
关键词 plasma cvd dielectric barrier discharges PHOTOCATALYST
下载PDF
Si对TiSiN膜组成结构的影响 被引量:4
4
作者 石玉龙 彭红瑞 李世直 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期66-67,共2页
报告了等离子化学气相沉积(PCVD)硬膜TiSiN中Si对膜的影响。沉积膜经过电子探针(EMPA)、扫描电镜(SEM)、X射线(XRD)和X光电子谱(XPS)分析。实验表明,在TiN的气相沉积中加入少量Si可以明显改善膜的结构和组成。
关键词 Pcvd TiSiN膜 显微分析 结构 组成
下载PDF
Tuning Effect of N_2 on Atmospheric-Pressure Cold Plasma CVD of TiO_2 Photocatalytic Films 被引量:2
5
作者 底兰波 李小松 +3 位作者 赵天亮 常大磊 刘倩倩 朱爱民 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第1期64-69,共6页
To deposit TiO2 films through plasma CVD, the partial pressure ratio of O2 to TIC14 should be greater than the stoichiometric ratio (PO2/PTiCl4 〉 1). However, this may lead to the formation of powder instead of fil... To deposit TiO2 films through plasma CVD, the partial pressure ratio of O2 to TIC14 should be greater than the stoichiometric ratio (PO2/PTiCl4 〉 1). However, this may lead to the formation of powder instead of film on the substrate when using volume dielectric barrier discharge (volume-DBD) at atmospheric pressure. In this study, by adding N2 into the working gas Ar, TiO2 photocatalytic films were successfully fabricated in the presence of excess O2 (PO2/PTiC14 = 2.6) by using a wire-to-plate atmospheric-pressure volume-DBD. The tuning effect of N2 on the deposition of TiO2 film was studied in detail. The results showed that by increasing the N2 content, the deposition rate and particle size of the TiO2 film were reduced, and its photocatalytic activity was enhanced. The tuning mechanism of N2 is further discussed. 展开更多
关键词 plasma cvd TiO2 photocatalytic films atmospheric-pressure cold plasma dielectric barrier discharge (DBD) optical emission spectra (OES)
下载PDF
热丝辅助等离子体化学气相法生长c-BN薄膜 被引量:4
6
作者 姬荣斌 王万录 +1 位作者 廖克俊 张斌 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第2期162-167,共6页
用热丝辅助射频等离子体化学气相沉积法(PCVD)合成:c-BN薄膜获得成功。实验结果表明,灯丝温度、反应气压、衬底温度、灯丝与衬底距离对薄膜质量有重要影响。
关键词 氮化硼薄膜 等离子体 气相沉积法
下载PDF
渗硼铁衬底上利用热丝辅助r.f等离子体CVD法生长C-BN薄膜 被引量:3
7
作者 姬荣斌 王万录 +3 位作者 廖克俊 刘爱民 蒋志成 张斌 《甘肃科学学报》 1993年第3期33-36,共4页
本文利用热丝辅助射频等离子体CVD法在渗硼铁样品上成功地生长了c—BN薄膜。薄膜的维氏硬度高达4500Kg/mm^2,c—BN膜与Fe衬底的附着力也令人满意。本文还给出了x射线衍射及红外吸收谱测试结果。
关键词 c—BN薄膜 等离子体cvd 附着力
下载PDF
化学气相沉积法制备(类)金刚石薄膜专利技术分析
8
作者 汤庆新 《科技视界》 2015年第12期297-299,共3页
本文主要对化学气相沉积法制备(类)金刚石薄膜专利申请中专利申请的年度变化趋势、专利申请国家/地区布局、制备方法、申请人类型、专利技术改进方向、国内外主要申请人技术演进和发展等方面进行分析。研究表明,日本、美国等在该领域处... 本文主要对化学气相沉积法制备(类)金刚石薄膜专利申请中专利申请的年度变化趋势、专利申请国家/地区布局、制备方法、申请人类型、专利技术改进方向、国内外主要申请人技术演进和发展等方面进行分析。研究表明,日本、美国等在该领域处于绝对领先地位,近年来国内的研究已取得了重大的进展,正在逐渐缩小与国外技术差距,切削加工和耐磨部件等应用领域是申请热点。 展开更多
关键词 化学气相沉积 金刚石 类金刚石 热丝cvd 等离子cvd
下载PDF
The Effect of Nitrogen Gas Flow Rate on the Cr-Containing DLC (Diamond-Like Carbon) Coating by AEGD Hybrid-CVD Coating Process 被引量:1
9
作者 Yong-Ki Cho Jae-Hoon Lee +1 位作者 Masahiro Okumiya Sang-Gweon Kim 《Advances in Materials Physics and Chemistry》 2017年第5期198-211,共14页
The development of electric and hybrid automobiles has gained momentum with the growth of interest in the field of miniaturization of electrode materials. In particular, technologies that improve the electrical proper... The development of electric and hybrid automobiles has gained momentum with the growth of interest in the field of miniaturization of electrode materials. In particular, technologies that improve the electrical property of stainless steel, while maintaining corrosion resistance, are gaining interest in terms of maintaining specific resistivity. The study on metal doping in diamond-like carbon coating is currently in progress to enhance the characteristics of conductivity and corrosion resistance with excellent properties such as corrosion resistance and lubrication coating. It is the process of using Cr arc with DLC coating to actuate AEGD. The change of I(D)/I(G) (Graphite peak (G) and disordered bond peak (D)) ratio and G-peak position in Cr-containing DLC film causes graphitization and thus lowers the basic electric resistance. Simultaneous input of nitrogen gas leads to deposition of CrN by a specific ratio of Cr and N in the DLC coating, and the nitrogen atoms replace hydrogen in bonding to increase the sp3 bond structure in the DLC film, in which CrN is not deposited, to result in specific resistivity of a specific value or less. 展开更多
关键词 Cr(N)-C:H Film Nitrogen DOPING Graphitic Carbon Electrical RESISTIVITY plasma cvd Arc Enhanced GLOW Discharge (AEGD)
下载PDF
Plasma enhanced diamond deposition on steel and Si substrates 被引量:1
10
作者 Y.S. Li Y. Tang +3 位作者 Wo Chen Q. Yang C.Xiao A. Hirose 《Acta Metallurgica Sinica(English Letters)》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第5期321-329,共9页
Diamond growth on Fe-Cr-Al-Si steel and Si substrates was comparatively investigated in microwave plasma enhanced chemical vapor deposition (MPCVD) reactor with different deposition parameters. Adherent nanocrystall... Diamond growth on Fe-Cr-Al-Si steel and Si substrates was comparatively investigated in microwave plasma enhanced chemical vapor deposition (MPCVD) reactor with different deposition parameters. Adherent nanocrystalline diamond films were directly deposited on this steel substrate under a typical deposition condition, whereas microcrystalline diamond films were produced on Si wafer. With increasing CH4 concentration, reaction pressure, or the total gas flow rate, the quality of nanocrystalline diamond films formed on Fe-Cr-Al-Si substrates is gradually deteriorated in terms of density and adhesion. This impaired diamond quality on steels is primarily associated with a combined effect by the substrate composition and the specific process conditions that favor excessive nucleation of diamond. 展开更多
关键词 plasma cvd Diamond film STEEL SI
下载PDF
辅助加热PCVD-TiN薄膜的性能及结构分析 被引量:2
11
作者 彭红瑞 石玉龙 +2 位作者 谢雁 李世直 赵程 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 1998年第8期15-17,共3页
研究了反应气体对辅助加热PCVD-TiN薄膜制备的影响。结果表明,提高反应气体中TiCl4的含量TiN薄膜内的氯含量基本不变。提高反应气体中的H2/N2比可以略降低薄膜内的氯含量,在H2/N2=2、TiCl4约为10... 研究了反应气体对辅助加热PCVD-TiN薄膜制备的影响。结果表明,提高反应气体中TiCl4的含量TiN薄膜内的氯含量基本不变。提高反应气体中的H2/N2比可以略降低薄膜内的氯含量,在H2/N2=2、TiCl4约为10%时TiN薄膜的硬度最高,TiN薄膜仍呈柱状结构,具有较强的(200)晶面织构。 展开更多
关键词 辅助加热 Pcvd 反应气体 薄膜 氮化钛 高速钢
下载PDF
低压气相金刚石薄膜镀膜刀具膜/基附着性能压痕测试分析 被引量:1
12
作者 龙剑平 汪灵 +1 位作者 张湘辉 常嗣和 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期57-63,共7页
低压气相金刚石薄膜硬质合金刀具在直流弧光放电等离子体CVD镀膜设备上制备。基底为YG6(WC-6%Co,质量分数)硬质合金刀具。采用洛氏(HRA)、表面洛氏(HRM)、维氏(HV)硬度试验机对所制备的金刚石薄膜刀具进行压痕测试;采用扫描电镜(SEM)观... 低压气相金刚石薄膜硬质合金刀具在直流弧光放电等离子体CVD镀膜设备上制备。基底为YG6(WC-6%Co,质量分数)硬质合金刀具。采用洛氏(HRA)、表面洛氏(HRM)、维氏(HV)硬度试验机对所制备的金刚石薄膜刀具进行压痕测试;采用扫描电镜(SEM)观察压痕形貌并定性评价膜/基附着性能。结果表明:所制备的金刚石薄膜镀膜刀具的优选膜/基附着性能压痕测试方法是表面洛氏压痕法;优选测试条件为采用120°金刚石圆锥压头,测试加载载荷441N。 展开更多
关键词 金刚石薄膜 硬质合金刀具 附着性能 压痕测试 等离子体cvd
下载PDF
PREPARATION OF IODINE-INCLUDED CARBON USING RF PLASMA CVD
13
作者 Y. Sakamoto M. Takaya T. Uchiyama 《Acta Metallurgica Sinica(English Letters)》 SCIE EI CAS CSCD 2005年第3期423-426,共4页
For the aim of synthesis of the carbon-iodine compound, the preparation of iodin e-included carbon using RF plasma CVD was studied. Iodine-included carbon was sy nthesized on Si substrate using ICP type RF plasma CVD ... For the aim of synthesis of the carbon-iodine compound, the preparation of iodin e-included carbon using RF plasma CVD was studied. Iodine-included carbon was sy nthesized on Si substrate using ICP type RF plasma CVD apparatus. C2H5OH and I2 dissolved C2H5OH was used as reactant gases. As a result, surface morphologies o f Iodine included carbon films showed flat surfaces for each samples. On the str ucture of films estimated by Raman spectroscopy, amorphous carbon was recognized . And I2 peaks were observed in XPS spectra. As a result of friction test, frict ion coefficient of the sample growth with C2H5OH showed about 0.45. On the other hand, that of the sample with I2-C2H5OH showed about 0.3 and decrease of fricti on coefficient was recognized. Iodine inclusion for carbon materials can be achi eved by RF plasma CVD using an I2-C2H5OH reactant. The coefficient of iodine-inc luded carbon showed lower than of without iodine 展开更多
关键词 CARBON IODINE plasma cvd tribological property
下载PDF
辅助加热PCVD-TiN薄膜的制备及影响因素
14
作者 彭红瑞 石玉龙 +2 位作者 谢雁 李世直 赵程 《青岛化工学院学报(自然科学版)》 1998年第3期273-277,共5页
研究了反应气体对辅助加热PCVDTiN薄膜制备的影响。结果表明,提高反应气体中TiCl4的含量可以提高薄膜的沉积速率,而且对薄膜内的氯含量没有影响。提高反应气体中的V(H2)/V(N2)可以略降低薄膜内的氯含量,在V... 研究了反应气体对辅助加热PCVDTiN薄膜制备的影响。结果表明,提高反应气体中TiCl4的含量可以提高薄膜的沉积速率,而且对薄膜内的氯含量没有影响。提高反应气体中的V(H2)/V(N2)可以略降低薄膜内的氯含量,在V(H2)/V(N2)=2,TiCl4的体积分数为10%左右时TiN薄膜的硬度最高。随着反应气压的升高,沉积速率呈正比上升而显微硬度却下降。 展开更多
关键词 辅助加热 Pcvd TIN薄膜 薄膜 制备
下载PDF
PCVD-Ti(CNO)薄膜的性能及结构分析 被引量:1
15
作者 彭红瑞 赵程 《青岛化工学院学报(自然科学版)》 1998年第4期320-323,共4页
研究了Ti(CN)薄膜内氧的作用,研究结果表明,Ti(CN)薄膜内加入氧后可以消除薄膜的柱状晶结构,薄膜的断面呈致密的纤维状组织。随着反应气体中空气或CO2气体流量的增加,Ti(CNO)薄膜的硬度呈上升趋势,并在空气... 研究了Ti(CN)薄膜内氧的作用,研究结果表明,Ti(CN)薄膜内加入氧后可以消除薄膜的柱状晶结构,薄膜的断面呈致密的纤维状组织。随着反应气体中空气或CO2气体流量的增加,Ti(CNO)薄膜的硬度呈上升趋势,并在空气的流量为40mL·min-1或CO2的流量为15mL·min-1时(分别约占气体总量的15%和6%),薄膜的硬度达到最大值。 展开更多
关键词 Pcvd Ti(CNO)薄膜 制备 结构
下载PDF
氩气在直流PCVD镀硬膜中的作用 被引量:1
16
作者 赵程 李世直 《青岛化工学院学报(自然科学版)》 1996年第3期276-278,共3页
探讨了在直流PCVD镀膜过程中反应气体中的惰性气体Ar对膜的影响。实验发现,反应气体中加入0%-10%Ar可以显著提高膜的沉积速率,最高可以提高40%。但是当气体中的Ar超过10%后,膜的沉积速率与Ar的加入量无关。... 探讨了在直流PCVD镀膜过程中反应气体中的惰性气体Ar对膜的影响。实验发现,反应气体中加入0%-10%Ar可以显著提高膜的沉积速率,最高可以提高40%。但是当气体中的Ar超过10%后,膜的沉积速率与Ar的加入量无关。反应气体中加入Ar还可以略微改善膜的组织结构和膜的耐磨性。 展开更多
关键词 等离子体 化学气相沉积 氩气 镀膜 表面处理
下载PDF
等离子体增强化学气相沉积Ti-Si-N膜
17
作者 石玉龙 彭红瑞 李世直 《青岛化工学院学报(自然科学版)》 1995年第1期59-64,共6页
报导了用等离子体增强化学气相沉积法于560℃在高速钢基材上沉积Ti-Si-N膜。反应气为TiCl4,SiCl4,N2和H2。实验结果表明:调整两种氯化物在进气中的比例可以很好地控制膜的成分。膜中Si含量变化范围为0到... 报导了用等离子体增强化学气相沉积法于560℃在高速钢基材上沉积Ti-Si-N膜。反应气为TiCl4,SiCl4,N2和H2。实验结果表明:调整两种氯化物在进气中的比例可以很好地控制膜的成分。膜中Si含量变化范围为0到40%(原子)。在TiN膜中加入少量Si就可以显著改善膜的形貌,得到致密的类似玻璃的结构。同样,膜和基材之问的界面显得更加平滑和均匀。含Si量10%~25%(原子)的Ti-Si-N膜具有最高的硬度,约达到6350kgf/mm2,比TiN膜高得多。 展开更多
关键词 等离子体 化学气相沉积 氮化钛 氮化硅钛 硬膜
下载PDF
用PCVD法制备(TiAl)N膜的研究
18
作者 赵程 彭红瑞 李世直 《青岛科技大学学报(自然科学版)》 CAS 1990年第4期30-35,共6页
本文介绍了在PCVD设备中用固态AlCl_3制备(TiAl)N膜。结果表明,(TiAl)N膜的含Al量与AlCl_3的蒸发温度成正比,但膜内Cl含量却无明显变化。(TiAl)N膜保持了TiN膜的面心立方晶体结构,但其晶格常数变小,织构变弱,组织略有细化。(TiAl)N膜的... 本文介绍了在PCVD设备中用固态AlCl_3制备(TiAl)N膜。结果表明,(TiAl)N膜的含Al量与AlCl_3的蒸发温度成正比,但膜内Cl含量却无明显变化。(TiAl)N膜保持了TiN膜的面心立方晶体结构,但其晶格常数变小,织构变弱,组织略有细化。(TiAl)N膜的显微硬度略高于或等于TiN膜的硬度,但抗高温氧化性有较大幅度提高。 展开更多
关键词 Pcvd (TiAl)N膜
下载PDF
新型射频等离子化学气相沉积系统
19
作者 曲承林 谢雁 李世直 《青岛化工学院学报(自然科学版)》 1992年第1期51-55,共5页
设计了一种射频电极作为基板支架的射频等离子体化学气相沉积系统.其温度可达700℃,负偏压是可调的.并以沉积的TiN膜的取向为例说明了系统的工作情况.
关键词 射频 等离子体 化学系统 气相沉积
下载PDF
CVD金刚石自支撑膜的研究进展 被引量:18
20
作者 刘金龙 安康 +4 位作者 陈良贤 魏俊俊 唐伟忠 吕反修 李成明 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第4期1-10,共10页
金刚石膜以其最高的硬度、热导率、热震性能以及极高的强度等优点得到了越来越多的关注。自20世纪低压化学气相沉积技术成功制备出金刚石以来,在世界范围内,金刚石的制备技术及应用研究得到了快速发展。分别对国内外自支撑金刚石膜材料... 金刚石膜以其最高的硬度、热导率、热震性能以及极高的强度等优点得到了越来越多的关注。自20世纪低压化学气相沉积技术成功制备出金刚石以来,在世界范围内,金刚石的制备技术及应用研究得到了快速发展。分别对国内外自支撑金刚石膜材料的制备技术及相关应用进行简要介绍,并讨论近几年我国在高质量金刚石膜材料制备技术方面取得的进展。目前主要的制备技术有热丝、直流辅助等离子体、直流电弧等离子体喷射、微波等离子体化学气相沉积(CVD)等方法。在小尺寸、高质量金刚石膜的制备技术基础上,21世纪初,国外几大技术强国先后宣布实现了大面积、高质量CVD金刚石膜的制备,并将其用于诸如红外光学窗口等高技术领域。我国也在CVD金刚石膜研发方面不断进步,先后掌握了热丝、直流电弧等离子体喷射、直流辅助等离子体CVD等合成大面积金刚石自支撑膜技术,近几年也掌握了915 MHz微波等离子体CVD技术,这些成果也标志着我国在高质量金刚石膜制备技术领域跟上了世界先进水平。 展开更多
关键词 化学气相沉积 热丝化学气相沉积 直流辅助等离子体化学气相沉积 直流电弧等离子体化学气相沉积 微波等离子体化学气相沉积 自支撑金刚石膜
下载PDF
上一页 1 2 5 下一页 到第
使用帮助 返回顶部