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题名先导光刻中的光学邻近效应修正
被引量：4
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作者
韦亚一
粟雅娟
刘艳松
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机构
中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室
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出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2014年第3期186-193,共8页
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基金
国家中长期科技发展规划02科技重大专项(2014ZX02301001-004)
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文摘
按照逻辑器件发展的节点顺序,依次论述了各种光学邻近效应修正技术:基于经验的光学邻近效应修正、基于模型的光学邻近效应修正、曝光辅助图形、光源和掩模版的优化、反演光刻技术以及两次曝光技术等。概括了各种技术出现的逻辑技术节点、数据处理流程、修正的表现形式和效果、优势和发展前景等。最后就先导光刻工艺的研发模式(先建立光学和光刻胶模型,再进行"计算光刻"),论证了光刻工艺的研发必须和光学邻近效应修正的数据流程实现互动的观点,即任何光刻工艺参数的变动都会影响到"计算光刻"模型的准确性,需要重新进行修正,以避免原计算可能导致的失败。因此,光学邻近效应修正是先导光刻工艺研发的核心。
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关键词
光学邻近效应修正(OPC)
辅助图形
计算光刻
光源和掩模版的优化(SMO)
像素式光照
两次曝光技术
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Keywords
ptical proximity correction （OPC）
auxiliary graph
computational lithography
source-mask optimization （SMO）
pixelated illumination
double exposure technology
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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题名某型坦克驾驶模拟器视景软件设计与开发
被引量：6
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作者
郑长伟
刘永红
苗壮
黄俊卿
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机构
装甲兵工程学院装备作战室
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出处
《计算机仿真》
CSCD
2005年第11期263-266,共4页
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基金
国家"863"课题资助(2001AA115133)
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文摘
使用仿真系统对坦克驾驶员进行驾驶训练,具有安全、无污染、不受天候限制、节约训练成本等诸多优点。AL-ZARRAR坦克驾驶训练模拟器是一个用于出口的、能完成驾驶模拟训练任务的仿真系统。其视景仿真程序采用Mu ltiGenC reato三维实体建模工具、OpenGVS4.5三维实时视景驱动引擎、D irectX 8.0的D irectSound3D声音播放控制程序,使用了六点地形匹配、微光夜视模拟、像素级光照模拟、伪粒子系统降雨模拟等先进技术,成功地营造出了一个交互性好、沉浸感强的虚拟驾驶环境。该软件已得到实际应用,效果良好。
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关键词
六点地形匹配
微光夜视
雨雾特效
像素级光照
伪粒子系统
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Keywords
Six point terrain matching
Espial using twilight
Rain and fog specially good effect
pixel level illumination
Fake particle system
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分类号
TP391.9
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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