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点衍射干涉仪小孔掩模技术研究进展 被引量:5
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作者 于长淞 向阳 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2013年第3期30-36,共7页
在点衍射干涉仪中小孔掩模的主要作用是通过衍射产生接近理想的球面波用于干涉测量,其直径、圆度及三维形貌对测量精度有决定性影响。介绍了小孔掩模的结构与作用原理,对小孔衍射电磁场仿真技术进行了分类比较。对国内外现有小孔掩模加... 在点衍射干涉仪中小孔掩模的主要作用是通过衍射产生接近理想的球面波用于干涉测量,其直径、圆度及三维形貌对测量精度有决定性影响。介绍了小孔掩模的结构与作用原理,对小孔衍射电磁场仿真技术进行了分类比较。对国内外现有小孔掩模加工技术的发展进行了归纳总结,阐述了聚焦离子束刻蚀、电子束曝光等加工技术的加工原理、加工精度及技术特点,指出了掩模对准精度对测量重复性的影响。分析了各种检测方法及存在的主要技术问题,并对小孔三维形貌的测量技术进行了展望。 展开更多
关键词 光学器件 小孔掩模 电磁场仿真 波像差
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飞秒激光深孔加工技术研究 被引量:3
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作者 倪晓昌 洪茹 +2 位作者 王清月 柴路 贾威 《天津工程师范学院学报》 2008年第3期5-8,20,共5页
采用聚焦物镜与接收材料同步运动的方法,以二维平面图形式研究焦点前后脉冲的空间形态。通过改变小孔直径和小孔前后单脉冲能量,可以观察光束空间形态的变化。结果显示:脉冲能量大小只影响刻痕线宽大小;缩小掩模小孔直径时,焦点前后光... 采用聚焦物镜与接收材料同步运动的方法,以二维平面图形式研究焦点前后脉冲的空间形态。通过改变小孔直径和小孔前后单脉冲能量,可以观察光束空间形态的变化。结果显示:脉冲能量大小只影响刻痕线宽大小;缩小掩模小孔直径时,焦点前后光束空间直径变化趋缓,甚至束腰位置也随之偏移。在选取合适参数的情况下,可成功刻划出边缘光滑的透射型金属光栅条纹。 展开更多
关键词 飞秒激光 激光烧蚀 针孔模板 透射光栅
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Noniterative spatially partially coherent diffractive imaging using pinhole array mask 被引量:3
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作者 Xingyuan Lu Yifeng Shao +5 位作者 Chengliang Zhao Sander Konijnenberg Xinlei Zhu Ying Tang Yangjian Cai HPaul Urbach 《Advanced Photonics》 EI CSCD 2019年第1期84-91,共8页
We propose and experimentally demonstrate a noniterative diffractive imaging method for reconstructing the complex-valued transmission function of an object illuminated by spatially partially coherent light from the f... We propose and experimentally demonstrate a noniterative diffractive imaging method for reconstructing the complex-valued transmission function of an object illuminated by spatially partially coherent light from the far-field diffraction pattern.Our method is based on a pinhole array mask,which is specially designed such that the correlation function in the mask plane can be obtained directly by inverse Fourier transforming the diffraction pattern.Compared to the traditional iterative diffractive imaging methods using spatially partially coherent illumination,our method is noniterative and robust to the degradation of the spatial coherence of the illumination.In addition to diffractive imaging,the proposed method can also be applied to spatial coherence property characterization,e.g.,free-space optical communication and optical coherence singularity measurement. 展开更多
关键词 partial coherence coherent diffractive imaging noniterative method pinhole array mask
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点衍射干涉仪小孔掩模制备与检测技术研究 被引量:1
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作者 于长淞 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2012年第4期24-26,30,共4页
在点衍射干涉仪中小孔掩模的主要作用是衍射产生接近理想的球面波用于干涉测量,其直径、圆度及三维形貌对测量精度有决定性影响。分析了聚焦离子束刻蚀、电子束曝光等加工技术的加工原理、加工精度及技术特点。采用优质航空铝,利用单点... 在点衍射干涉仪中小孔掩模的主要作用是衍射产生接近理想的球面波用于干涉测量,其直径、圆度及三维形貌对测量精度有决定性影响。分析了聚焦离子束刻蚀、电子束曝光等加工技术的加工原理、加工精度及技术特点。采用优质航空铝,利用单点金刚石机床和聚焦离子束设备,采用精密制备工艺,分别制备了小孔直径1.47μm和1.11μm的小孔掩模并利用扫描电子显微镜对其进行了检测。实验结果表明,聚焦离子束刻蚀是实现直径微米量级的小孔加工的有效手段,为获得较好的圆度和三维形貌,小孔掩模加工区域需保证较小的深径比。 展开更多
关键词 光学器件 小孔掩模 聚焦离子束 扫描电镜
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