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基于压阻效应的陶瓷压力传感器 被引量:7
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作者 邬林 陈丛 +2 位作者 钱江蓉 赵潇 胡国俊 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2017年第6期26-28,共3页
设计制作了一种基于压阻效应的陶瓷压力传感器,采用宜弯折柔性调理电路,体积小、稳定性好、宜封装集成。在不同温度、压强环境条件下,对传感器进行了系列实验测试,其满量程综合检测精度(线性、迟滞、重复性等)达到0.975%,完全符合压力... 设计制作了一种基于压阻效应的陶瓷压力传感器,采用宜弯折柔性调理电路,体积小、稳定性好、宜封装集成。在不同温度、压强环境条件下,对传感器进行了系列实验测试,其满量程综合检测精度(线性、迟滞、重复性等)达到0.975%,完全符合压力传感器通用技术条件规定的综合误差要求,性能指标优良。加之陶瓷芯片具有耐腐蚀、抗磨损、成本低廉等优点,该传感器可被广泛应用在各种压力检测的场合。 展开更多
关键词 压阻效应 陶瓷 压力传感器 压力检测 柔性调理电路
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谐振式MEMS压力传感器的设计与分析 被引量:6
2
作者 许高斌 胡海霖 +2 位作者 徐枝蕃 陈兴 马渊明 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2019年第12期5-11,共7页
提出一种基于静电激励/压阻检测的硅微谐振式压力传感器,该器件采取面内动平衡的振动模式,为了抑制压力敏感膜片受压变形时谐振器的高度变化,在谐振器固定端设计了悬置扭转结构。根据对传感器数学模型的分析与建立,并利用MEMS有限元仿... 提出一种基于静电激励/压阻检测的硅微谐振式压力传感器,该器件采取面内动平衡的振动模式,为了抑制压力敏感膜片受压变形时谐振器的高度变化,在谐振器固定端设计了悬置扭转结构。根据对传感器数学模型的分析与建立,并利用MEMS有限元仿真软件对传感器在0~120 kPa范围以及全范围过压1.5倍下进行模拟分析与仿真验证,初始频率为24.01 kHz,传感器灵敏度达18 Hz/kPa。利用硅-硅键合技术实现压力传感器的真空封装,并通过TSV通孔技术将传感器与电路芯片进行三维混合集成封装。 展开更多
关键词 MEMS 谐振式压力传感器 静电激励 压阻检测 三维混合集成封装
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一种集成三维微力传感器的微夹持器研制 被引量:5
3
作者 荣伟彬 谢晖 +2 位作者 王家畴 孙立宁 陈伟 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2007年第2期175-178,共4页
微操作中力的检测与控制是实现无损伤操作的关键。因此,该文提出了一种以压阻检测技术为基础,集成三维微力传感器的微夹持器。传感器标定实验结果表明,该传感器具有耦合小,测量分辨率高,线性度好的优点。传感器量程为-10^+10 mN,在x、y... 微操作中力的检测与控制是实现无损伤操作的关键。因此,该文提出了一种以压阻检测技术为基础,集成三维微力传感器的微夹持器。传感器标定实验结果表明,该传感器具有耦合小,测量分辨率高,线性度好的优点。传感器量程为-10^+10 mN,在x、y向的分辨率均为2.4μN,z向的分辨率为4.2μN。微夹持器采用压电陶瓷驱动两级柔性放大机构,实现张合量300μm,完成了微夹持实验。 展开更多
关键词 微夹持器 三维微力传感器 压阻检测 标定实验
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老化对碳纳米管/环氧树脂复合材料动态压阻特性的影响 被引量:4
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作者 黄鹤 岳夏 +3 位作者 王超 王文龙 邓清文 张春良 《电镀与涂饰》 CAS CSCD 北大核心 2018年第24期1128-1133,共6页
在200°C下对碳纳米管/环氧树脂(CNTs/EP)复合材料进行5 h的热处理,并采用激振实验台测试其动态压阻特性。结果表明,含5%碳纳米管的CNTs/EP复合材料经过老化后,形貌基本不受影响,但对1~10 kHz谐波激振力的灵敏度和抗外界信号干扰... 在200°C下对碳纳米管/环氧树脂(CNTs/EP)复合材料进行5 h的热处理,并采用激振实验台测试其动态压阻特性。结果表明,含5%碳纳米管的CNTs/EP复合材料经过老化后,形貌基本不受影响,但对1~10 kHz谐波激振力的灵敏度和抗外界信号干扰的能力提高了。适当的老化处理提升了CNTs/EP复合材料对动态特性的检测能力,避免后续老化问题对其测量过程产生的影响,可望应用于设备的原位动态特征检测中。 展开更多
关键词 碳纳米管 环氧树脂 复合材料 压阻传感器 老化 检测
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一种压阻式微悬臂梁免疫传感器及其动力学分析 被引量:4
5
作者 刘志伟 童朝阳 +3 位作者 穆晞惠 刘冰 郝兰群 张金平 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2014年第3期8-11,共4页
针对传统光学读出微悬臂梁传感器所需测量系统复杂的局限,将生物素—亲和素系统的放大效应与压阻式微悬臂梁传感技术结合起来,成功构建了一种读出方式简单的压阻式微悬臂梁免疫传感器。利用构建的传感器对相思子毒素进行检测,检测限达8... 针对传统光学读出微悬臂梁传感器所需测量系统复杂的局限,将生物素—亲和素系统的放大效应与压阻式微悬臂梁传感技术结合起来,成功构建了一种读出方式简单的压阻式微悬臂梁免疫传感器。利用构建的传感器对相思子毒素进行检测,检测限达8μg/L,反应在20 min内基本完成,具有很好的特异性和重现性,能满足水样、土壤、食品等实际模拟样品检测的要求。建立了压阻式微悬臂梁免疫传感器检测相思子毒素的反应动力学模型,并对实际检测数据进行了拟合分析,相关系数R值在0.971 1以上(P<0.001)。根据拟合方程求出的传感器对不同浓度相思子毒素反应达到平衡的响应电压ΔU e、响应时间t0均与实测值非常接近。 展开更多
关键词 压阻式微悬臂梁 免疫传感器 相思子毒素 检测 动力学分析
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静电驱动压阻检测微机械陀螺仪的研究 被引量:3
6
作者 王瑞荣 杜康 +1 位作者 石云波 刘俊 《测试技术学报》 2010年第4期334-338,共5页
对静电驱动压阻检测微机械陀螺仪进行了结构设计并对工作原理进行了介绍.与硅压阻器件相比,本文利用多势垒纳米膜所具有的压阻效应作为检测方式,实现了较高的压阻灵敏度;采用硅基异质外延砷化镓薄膜工艺进行陀螺结构以及多势垒纳米膜器... 对静电驱动压阻检测微机械陀螺仪进行了结构设计并对工作原理进行了介绍.与硅压阻器件相比,本文利用多势垒纳米膜所具有的压阻效应作为检测方式,实现了较高的压阻灵敏度;采用硅基异质外延砷化镓薄膜工艺进行陀螺结构以及多势垒纳米膜器件的加工,较好地实现了工艺的兼容.通过对结构进行模态仿真,确定了陀螺的固有频率. 展开更多
关键词 静电驱动 压阻检测 结构设计 微机械陀螺 加工工艺
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微机械谐振器的快速测试方法 被引量:1
7
作者 邢维巍 张晓灿 +1 位作者 樊尚春 汤章阳 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第2期198-201,共4页
为了缩短微机械谐振器的测量时间,提高测量效率。提出了一种针对压阻检测的微谐振器的频率特性测试新方法,该方法利用欧姆鉴相器,积分器和微处理器实现对微弱信号的有效检测。欧姆鉴相器以检测电阻为鉴相器,利用欧姆定律实现参考信号和... 为了缩短微机械谐振器的测量时间,提高测量效率。提出了一种针对压阻检测的微谐振器的频率特性测试新方法,该方法利用欧姆鉴相器,积分器和微处理器实现对微弱信号的有效检测。欧姆鉴相器以检测电阻为鉴相器,利用欧姆定律实现参考信号和被测信号的乘法鉴相运算;通过积分器实现对鉴相结果的积分运算,抑制干扰和噪声;微处理器用于对积分数据的采样并处理。实验结果表明:微谐振器快速测试方法样机的等效输入噪声指标约为槡2.7 nV/Hz,单频率点的测量时间为4 ms,与商用锁相放大器(LIA)相比,测量效率大大提高了。 展开更多
关键词 微机械谐振器 压阻检测 微弱信号检测 互相关检测 信噪比 快速测量
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I^2形原子力显微镜探针设计优化 被引量:2
8
作者 熊壮 屈明山 +1 位作者 张照云 杨荷 《传感器与微系统》 CSCD 2019年第3期96-98,101,共4页
针对基于微机电系统(MEMS)技术的I^2形原子力显微镜(AFM)探针与传统悬臂式探针相比,虽然有很多优点,但由于I^2形探针的压阻检测设计未考虑结构应变分布,导致检测灵敏度较悬臂式探针相比尚有一定差距的问题,通过对I^2形探针应变分布的考... 针对基于微机电系统(MEMS)技术的I^2形原子力显微镜(AFM)探针与传统悬臂式探针相比,虽然有很多优点,但由于I^2形探针的压阻检测设计未考虑结构应变分布,导致检测灵敏度较悬臂式探针相比尚有一定差距的问题,通过对I^2形探针应变分布的考察,实现了探针结构优化设计。实验结果表明:在相同结构,相同输入前提下,改进后探针的力灵敏度达到28. 9p N/Hz^(1/2),较原有基础上提高10倍。通过进一步对检测电路的优化,力灵敏度有望满足商用需求(小于10p N/Hz^(1/2))。 展开更多
关键词 原子力显微镜 微机电系统(MEMS)谐振器 热执行 压阻检测 微纳加工
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压阻式微悬臂梁传感器检测生化毒剂的响应动力学研究 被引量:1
9
作者 刘志伟 童朝阳 +4 位作者 穆晞惠 郝兰群 刘冰 张金平 高川 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第9期1297-1302,共6页
为了探索压阻式微悬臂梁传感器检测靶分子的信号响应规律,在利用压阻式微悬臂梁传感器生化毒剂大量实测数据的基础上,基于配体-受体动力学和吸附动力学创建了两种压阻式微悬臂梁传感器检测靶分子的动力学模型,利用创建的动力学模型对检... 为了探索压阻式微悬臂梁传感器检测靶分子的信号响应规律,在利用压阻式微悬臂梁传感器生化毒剂大量实测数据的基础上,基于配体-受体动力学和吸附动力学创建了两种压阻式微悬臂梁传感器检测靶分子的动力学模型,利用创建的动力学模型对检测数据进行了分析。结果表明:创建的模型能很好地拟合抗体、适配子等不同敏感分子检测不同种类(大分子蛋白毒素、小分子化学毒剂)、不同浓度生化毒剂的实测数据,相关系数R值均在0.948 5以上(p<0.01)。两种模型中,基于配体-受体特异结合动力学模型由于考虑了敏感膜与靶分子间的特异相互作用,对传感器实际检测数据的拟合效果更佳,相关系数R值均在0.957 1以上(p<0.01),能更好的反映压阻式微悬臂梁传感器检测靶分子的响应特点和规律;并且能求出更有意义的平衡响应电压(ΔUe)、响应时间(t0)等参数,根据曲线拟合方程求出的ΔUe、t0均与实测值非常接近。 展开更多
关键词 压阻式微悬臂梁 生物传感器 生化毒剂 检测 响应动力学
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陶瓷压阻式机油压力传感器研制 被引量:1
10
作者 邬林 陈丛 +2 位作者 钱江蓉 赵潇 胡国俊 《传感器世界》 2017年第5期11-14,共4页
针对传统滑线式机油压力传感器不足,设计制作了一种陶瓷压阻式机油压力传感器。利用自搭建的温度压力测试系统对其进行了标定与测试,实验结果显示:其综合检测精度(线性、迟滞、重复性等)达到0.925%F.S.,完全符合压力传感器通用技术条件... 针对传统滑线式机油压力传感器不足,设计制作了一种陶瓷压阻式机油压力传感器。利用自搭建的温度压力测试系统对其进行了标定与测试,实验结果显示:其综合检测精度(线性、迟滞、重复性等)达到0.925%F.S.,完全符合压力传感器通用技术条件规定的综合误差≤2%F.S.的要求,并通过了2~3倍量程的过载、爆破压力测试,性能稳定可靠。加之陶瓷芯片具有耐腐蚀、抗磨损、成本低廉等优点,该传感器可广泛应用于机油压力及其他相关场合的压力检测中。 展开更多
关键词 陶瓷 压阻式 机油压力 压力传感器 压力检测
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基于MOS电容衬底压阻的纳米梁检测研究
11
作者 丁萃 成海涛 杨恒 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第12期47-49,53,共4页
传统的纳米谐振器压阻检测在工艺上需解决制备结深浅、掺杂浓度高的薄层电阻的技术难题。基于MOS电容衬底压阻的谐振式纳米梁系统是一种新型的压阻检测方案,它通过将MOS电容耗尽层下的掺杂区用作力敏电阻,回避了制备浅结高浓度电阻的技... 传统的纳米谐振器压阻检测在工艺上需解决制备结深浅、掺杂浓度高的薄层电阻的技术难题。基于MOS电容衬底压阻的谐振式纳米梁系统是一种新型的压阻检测方案,它通过将MOS电容耗尽层下的掺杂区用作力敏电阻,回避了制备浅结高浓度电阻的技术问题,也解决了MOS沟道压阻抗干扰性差的问题,在SoI硅片上制作了150 nm厚的梁结构。在检测方面,通过设计屏蔽式驱动封装结构,解决了驱动信号电磁耦合干扰的问题,并结合一系列降低噪声、减小串扰的措施,实现了μV量级的微弱信号检测。测试得到该结构在常温常压下的Q值为197,谐振峰频率为3.96 MHz,输出端检测灵敏度为0.73 mV/nm。 展开更多
关键词 纳米梁 谐振器 压阻检测 MOS电容
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基于STM32与压阻式传感器的新型按摩椅设计
12
作者 王琦 《电工技术》 2021年第10期51-53,共3页
为了解决气囊推动按摩椅机械手按摩模式简单、无法检测按摩合适位置、经络梳理不足等问题,基于STM32单片机与压阻式传感器实现按摩椅多功能按摩与自动检测人体坐姿等功能,介绍了其系统设计、坐姿自动检测、肩部轨道设计与按摩机械手多... 为了解决气囊推动按摩椅机械手按摩模式简单、无法检测按摩合适位置、经络梳理不足等问题,基于STM32单片机与压阻式传感器实现按摩椅多功能按摩与自动检测人体坐姿等功能,介绍了其系统设计、坐姿自动检测、肩部轨道设计与按摩机械手多功能按摩的实现思路。该新型按摩椅可以通过检测坐姿来调整合适坐姿,其肩部轨道契合手臂来确定合适的按摩位置,按摩机械手可以进行多功能、全方位的按摩。 展开更多
关键词 STM32 压阻式传感器 自动检测 按摩机械手
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SOI压阻传感器的阳极键合结合面检测
13
作者 陈立国 王挺 +1 位作者 李亚娣 潘明强 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第6期1382-1388,共7页
由于当前绝缘体上硅(SOI)压阻传感器芯片的封装质量仍依赖人工检测,本文提出了一种自动实现该项检测的视觉检测方法。分析了压阻传感器的工作原理,研究了芯片定位精度和结合面质量对传感器性能的影响。以传感器性能和质量为导向,提出了... 由于当前绝缘体上硅(SOI)压阻传感器芯片的封装质量仍依赖人工检测,本文提出了一种自动实现该项检测的视觉检测方法。分析了压阻传感器的工作原理,研究了芯片定位精度和结合面质量对传感器性能的影响。以传感器性能和质量为导向,提出了一种以中心定位偏差和键合面结合度为检测点的封装结合面检测方法。该方法通过对Hough圆检测效果和实际图像的分析完成定位精度的检测;基于对传感器质量影响因素的分析和气泡面积的统计实现结合面质量的检测。在传感器实际制造封装过程中对该视觉检测算法进行了实验验证。结果表明:该方法能识别的结合面上的最小气泡直径为6μm;玻璃内孔半径检测误差约为0.015mm.。本文提出的基于视觉检测的方法基本满足了压阻传感器封装对结合面检测的要求,有助于实现封装质量的自动化检测。 展开更多
关键词 绝缘体上硅(SOI) 压阻传感器 芯片 封装质量 视觉检测 阳极键合
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Flexible Tactile Electronic Skin Sensor with 3D Force Detection Based on Porous CNTs/PDMS Nanocomposites 被引量:20
14
作者 Xuguang Sun Jianhai Sun +9 位作者 Tong Li Shuaikang Zheng Chunkai Wang Wenshuo Tan Jingong Zhang Chang Liu Tianjun Ma Zhimei Qi Chunxiu Liu Ning Xue 《Nano-Micro Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第4期35-48,共14页
Flexible tactile sensors have broad applications in human physiological monitoring,robotic operation and human-machine interaction.However,the research of wearable and flexible tactile sensors with high sensitivity,wi... Flexible tactile sensors have broad applications in human physiological monitoring,robotic operation and human-machine interaction.However,the research of wearable and flexible tactile sensors with high sensitivity,wide sensing range and ability to detect three-dimensional(3D)force is still very challenging.Herein,a flexible tactile electronic skin sensor based on carbon nanotubes(CNTs)/polydimethylsiloxane(PDMS)nanocomposites is presented for 3D contact force detection.The 3D forces were acquired from combination of four specially designed cells in a sensing element.Contributed from the double-sided rough porous structure and specific surface morphology of nanocomposites,the piezoresistive sensor possesses high sensitivity of 12.1 kPa?1 within the range of 600 Pa and 0.68 kPa?1 in the regime exceeding 1 kPa for normal pressure,as well as 59.9 N?1 in the scope of<0.05 N and>2.3 N?1 in the region of<0.6 N for tangential force with ultra-low response time of 3.1 ms.In addition,multi-functional detection in human body monitoring was employed with single sensing cell and the sensor array was integrated into a robotic arm for objects grasping control,indicating the capacities in intelligent robot applications. 展开更多
关键词 Flexible TACTILE sensors ELECTRONIC SKIN piezoresistive sensors CNTs/PDMS NANOCOMPOSITES 3D force detection
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基于MEMS技术的微操作三维力传感器研究 被引量:10
15
作者 荣伟彬 王家畴 +2 位作者 赵玉龙 陈立国 孙立宁 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期692-698,共7页
针对微操作过程中对微力觉信号的需求,以压阻检测技术为基础结合MEMS加工工艺,设计了一种用于微操作的三维力传感器,建立传感器的数学模型并用有限元分析软件对敏感弹性元件进行分析。利用悬臂梁受力弯曲变形的原理结合显微视觉技术,实... 针对微操作过程中对微力觉信号的需求,以压阻检测技术为基础结合MEMS加工工艺,设计了一种用于微操作的三维力传感器,建立传感器的数学模型并用有限元分析软件对敏感弹性元件进行分析。利用悬臂梁受力弯曲变形的原理结合显微视觉技术,实现对传感器的标定,并给出了传感器的信号处理方法。实验证明,该传感器具有耦合小、测量分辨率高、线性度好、标定简单的优点,满足了预计的设计要求。传感器最大量程为10mN,X向与Y向的分辨率均为2.4μN,Z向的分辨率为4.2μN。 展开更多
关键词 三维微力传感器 压阻检测技术 有限元分析 标定实验
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高性能SOI基纳米硅薄膜微压阻式压力传感器的研究 被引量:2
16
作者 高颖 姜岩峰 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第6期839-848,共10页
针对高端领域对高性能微小量程压力传感器的迫切需求,设计并实现了一种应用于电子血压计的高性能SOI基纳米硅薄膜微压阻式压力传感器,并提出了相应的检测电路。根据小挠度弯曲理论设计了传感器方形敏感薄膜结构,确定了纳米硅薄膜压敏电... 针对高端领域对高性能微小量程压力传感器的迫切需求,设计并实现了一种应用于电子血压计的高性能SOI基纳米硅薄膜微压阻式压力传感器,并提出了相应的检测电路。根据小挠度弯曲理论设计了传感器方形敏感薄膜结构,确定了纳米硅薄膜压敏电阻的阻值大小和尺寸。采用ANSYS有限元分析(FEA)对所设计的传感器结构进行仿真,根据仿真结果确定了压敏电阻在膜片上的最佳放置位置。基于标准MEMS制造技术,在SOI基纳米硅薄膜上设计并实现了该压力传感器。实测结果表明,室温下,在0~40 kPa微压测量范围内所设计的传感器检测灵敏度可达0.45 mV/(kPa·V),非线性度达到0.108%F.S。在-40℃~125℃的工作温度范围内,温度稳定性好,零点温度漂移系数与灵敏度温度漂移系数分别为0.0047%F.S与0.089%F.S。所设计的压力传感器及其检测电路,在现代医疗、工业控制等领域具有较大的应用潜力。 展开更多
关键词 SOI基 纳米硅薄膜 微压阻式压力传感器 检测电路 有限元分析(FEA)
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The dual cycle bridge detection of piezoresistive triaxial accelerometer based on MEMS technology 被引量:3
17
作者 张娟婷 何常德 +4 位作者 张慧 李玉平 张永平 杜春晖 张文栋 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2014年第6期80-89,共10页
A cycle bridge detection method, which uses a piezoresistive triaxial accelerometer, has been described innovatively. This method just uses eight resistors to form a cycle detection bridge, which can detect the signal... A cycle bridge detection method, which uses a piezoresistive triaxial accelerometer, has been described innovatively. This method just uses eight resistors to form a cycle detection bridge, which can detect the signal of the three directions for real time. It breaks the law of the ordinary independent Wheatstone bridge detection method, which uses at least 12 resistors and each four resistors connected as a Wheatstone bridge to detect the output signal from a specific direction. In order to verify the feasibility of this method, the modeling and simulating of the sensor structure have been conducted by ANSYS, then the dual cycle bridge detection method and independent Wheatstone bridge detection method are compared, the result shows that the former method can improve the sensitivity of the sensor effectively. The sensitivity of the x, y-axis used in the former method is two times that of the sensor used in the latter method, and the sensitivity of the z-axis is four times. At the same time, it can also reduce the cross-axis coupling degree of the sensor used in the dual cycle bridge detection method. In addition, a signal amplifier circuit and adder circuit have been provided, Finally, the test result of the "eight-beams/mass" triaxial accelerometer, which is based on the dual cycle bridge detection method and the related circuits, have been provided. The results of the test and the theoretical analysis are consistent, on the whole. 展开更多
关键词 piezoresistive triaxial accelerometer cycle detection bridge MEMS
原文传递
基于GRNN的糖尿病足足底压力信号检测系统设计
18
作者 吴玉广 张文栋 +3 位作者 桑胜波 杨琨 阳佳 李晟嘉 《电子设计工程》 2023年第9期84-89,共6页
信号采集系统在实际应用中,会受到传感器本身及外界温湿度等内外因素的影响,导致系统采集到的数据存在较大误差。该文基于STM32单片机对传统压力采集电路结构进行了改进设计,并采用了广义回归神经网络(GRNN)拟合算法,研制出一套针对多... 信号采集系统在实际应用中,会受到传感器本身及外界温湿度等内外因素的影响,导致系统采集到的数据存在较大误差。该文基于STM32单片机对传统压力采集电路结构进行了改进设计,并采用了广义回归神经网络(GRNN)拟合算法,研制出一套针对多传感采集(1 024个)及采样频率为100 Hz的足底信号检测系统。文中对传感阵列施压测得电导,基于最小二乘法和GRNN两种算法在Matlab中对压-导值进行拟合对比,结果显示,应用了GRNN力-导映射关系的足压检测系统的相对误差为2.89%,相较于最小二乘法,降低了9.11%。由此可得,采用GRNN拟合关系的压力信号检测系统生成的压力云图,可以更好地反应检测者的足底压力分布,能够为糖尿病足病况分析提供可靠的测试平台和高精度的环境。 展开更多
关键词 压阻式传感阵列 足底压力检测 传感器标定 GRNN 曲线拟合
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Development of a novel accelerometer based on an overlay detection bridge
19
作者 杜春晖 何常德 +4 位作者 葛晓洋 张永平 于佳琪 宋小鹏 张文栋 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2013年第2期52-59,共8页
This paper describes the design, simulation, processing and test result of a high sensitivity accelerometer based on the piezoresistive effect which uses an overlay bridge detection method. The structure of this accel... This paper describes the design, simulation, processing and test result of a high sensitivity accelerometer based on the piezoresistive effect which uses an overlay bridge detection method. The structure of this accelerometer is supersymmetric "mass-beams". This accelerometer has 8 beams, where two varistors are put in the two ends. Four varistors compose a Wheatstone bridge and the output voltages of the 4 Wheatstone bridges have been superimposed as the final output voltage. The sensitivity of the accelerometer can be improved effectively by these clever methods. A simplified mathematical model has been created to analyze the mechanical properties of the sensor, then the finite element modeling and simulation have been used to verify the feasibility of the accelerometer. The results show that the sensitivity of the accelerometer is 1.1381 mV/g, which is about four times larger than that of the single bridge accelerometers and series bridge sensor. The bandwidth is 0-1000 Hz which is equal to that of the single bridge accelerometers and the series bridge sensor. The comparison reveals that the new overlay detection bridge method can improve the sensitivity of the sensor in the same bandwidth. Meanwhile, this method provides an effective method to improve the sensitivity of piezoresistive sensors. 展开更多
关键词 ACCELEROMETER MEMS piezoresistive overlay detection bridge
原文传递
介观压阻效应电磁驱动微机械陀螺仪的设计与测试
20
作者 王瑞荣 杜康 +1 位作者 石云波 刘俊 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第12期1700-1703,共4页
将共振隧穿二极管具有的介观压阻效应与哥氏效应结合应用于陀螺的设计中,提出了一种新型的采用回折型正交梁的陀螺结构。结合现在的工艺水平,设计了合理的加工工艺方案,并进行了加工与封装。通过对封装后的陀螺进行驱动方向测试,得到了... 将共振隧穿二极管具有的介观压阻效应与哥氏效应结合应用于陀螺的设计中,提出了一种新型的采用回折型正交梁的陀螺结构。结合现在的工艺水平,设计了合理的加工工艺方案,并进行了加工与封装。通过对封装后的陀螺进行驱动方向测试,得到了固有频率的范围;检测方向上利用振动台对陀螺灵敏度进行了测试,得到在1kHz和4kHz时的测试灵敏度分别为7.51mV/gn、100.74mV/gn。 展开更多
关键词 介观压阻效应 微机械陀螺 驱动测试 检测测试
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