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题名低频响应MEMS压电式微型振动发电机
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作者
安坤
陈东红
刘立
何剑
丑修建
张文栋
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机构
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
中北大学计算机与控制工程学院
中北大学电子测试技术重点实验室
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出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2015年第11期713-717,728,共6页
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基金
国家自然科学基金项目(51422510
51175483
+1 种基金
61401406)
中国教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET)
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文摘
利用溶胶-凝胶工艺实现均匀致密压电(PZT)膜与Pt/Ti/SiO2/Si/SiO2晶片良好异质集成制造,结合湿法腐蚀、干法刻蚀、磁控溅射、光刻和剥离等MEMS加工工艺制造了一种"单中心质量块-8悬臂梁"结构的压电式微型振动发电机,实现了振动能向电能的转换。测试结果表明:在谐振频率16 Hz、加速度激励3 g、16个压电敏感单元相串联条件下,器件开路输出交流电压峰峰值最大,为166.40 mV;当加载1.20 MΩ负载时,输出功率最大,为0.73 nW,单位体积的输出功率为37.27 nW/cm3,压电敏感单元有效单位面积下的输出功率为0.26 nW/cm2。
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关键词
低频响应
微型振动发电机
pzt膜
输出功率
溶胶-凝胶
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Keywords
low frequency response
micro-vibration generator
piezoelectric（pzt）film
output power
sol-gel
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分类号
TH703
[机械工程—仪器科学与技术]
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