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基于MEMS的压电泵及其研究进展 被引量:14
1
作者 何秀华 张睿 蒋权英 《排灌机械》 2007年第4期64-68,共5页
基于MEMS的压电泵是集驱动部件、工作部件和控制部件于一体的便于集成的微型泵,它采用压电晶体作为其驱动部件材料。根据其工作原理和结构的差异,压电泵主要分为压电薄膜泵和压电超声泵。介绍了压电泵的单腔体结构和多腔体结构,而多腔... 基于MEMS的压电泵是集驱动部件、工作部件和控制部件于一体的便于集成的微型泵,它采用压电晶体作为其驱动部件材料。根据其工作原理和结构的差异,压电泵主要分为压电薄膜泵和压电超声泵。介绍了压电泵的单腔体结构和多腔体结构,而多腔体结构的压电泵是今后研究的一个主要方向。由于压电泵具有尺寸小、结构简单、响应快等优点,在许多需要微流量控制的场合中具有广阔的应用前景。重点总结了压电泵国内外的最新研究现状,展望了压电泵的主要发展方向,提出了压电泵研究的主要问题,对压电泵的研究具有指导意义。 展开更多
关键词 压电泵 微电子机械系统 压电振子 单腔体 多腔体 压电晶体
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基于差分吸收检测技术的非分散红外CO_(2)呼吸气体传感器 被引量:15
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作者 袁博 袁宇鹏 +5 位作者 张祖伟 杨靖 黄诗田 柯淋 张开盛 罗文博 《重庆邮电大学学报(自然科学版)》 CSCD 北大核心 2021年第1期118-125,共8页
采用非分散红外(non-dispersive infrared,NDIR)气体传感器实时检测呼吸气体中的CO_(2)气体浓度,进而反映人体运动机能和代谢功能等身体状态,可以满足人类日益增强的对自身健康状况进行了解的需求。利用电调制微机电系统(micro-electro-... 采用非分散红外(non-dispersive infrared,NDIR)气体传感器实时检测呼吸气体中的CO_(2)气体浓度,进而反映人体运动机能和代谢功能等身体状态,可以满足人类日益增强的对自身健康状况进行了解的需求。利用电调制微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)光源和双通道热释电传感器分别作为红外光源和探测器,采用气室结构设计和压电微泵相结合的方法为传感器提供稳定的气体流速,设计出红外呼吸CO2气体传感器。通过测量不同CO_(2)标准气体浓度下热释电传感器参考通道和测量通道的电压比值进行传感器标定,获得了在室温下、检测量程0%~8%内,绝对误差小于0.5%,相对误差3%,系统响应时间小于1.5 s的传感器,提高了基于NDIR气体传感器检测呼吸气体的抗干扰能力,可望满足运动机能和代谢功能检测等应用对CO_(2)气体监测的需求。 展开更多
关键词 CO_(2) 气体传感器 压电微泵 呼吸检测 差分检测
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基于MEMS工艺的压电微泵的研究进展
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作者 李以贵 王一 《应用技术学报》 2024年第1期123-132,共10页
在微纳米尺度流体控制的应用中,压电微泵因其简易结构,高精密度,高力密度,快速响应与良好环境适性成为研究的热点。从致动原理与流体控制方案角度对压电微泵的研究现状进行了归纳总结,介绍了其在药物供给、细胞分离、微量化学检测等领... 在微纳米尺度流体控制的应用中,压电微泵因其简易结构,高精密度,高力密度,快速响应与良好环境适性成为研究的热点。从致动原理与流体控制方案角度对压电微泵的研究现状进行了归纳总结,介绍了其在药物供给、细胞分离、微量化学检测等领域的应用,指出了压电微泵输出功率较小、输出具有蠕变特性、成本偏高等问题,并对压电微泵的发展方向进行了展望。 展开更多
关键词 压电微泵 致动原理 流体控制方案 腔室
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压电微泵性能的终端特性分析及其模拟研究 被引量:3
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作者 陈坚美 应济 《工程设计学报》 CSCD 2003年第4期179-182,共4页
根据压电微泵的结构及其功能可将其划分成6个功能块或子系统:压电片子系统、泵腔、入口阀子系统、出口阀子系统、入口通道子系统和出口通道子系统.对6个子系统建立终端特性模型,并进行有关终端特性分析.最后,将压电微泵子系统的终端特... 根据压电微泵的结构及其功能可将其划分成6个功能块或子系统:压电片子系统、泵腔、入口阀子系统、出口阀子系统、入口通道子系统和出口通道子系统.对6个子系统建立终端特性模型,并进行有关终端特性分析.最后,将压电微泵子系统的终端特性模型进行了组合,得到整个系统的特性模型.对此进行分析,可以方便地获得压电微泵的性能特性. 展开更多
关键词 压电微泵 终端特性 子系统
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新型锯齿流道压电微泵加工制作及试验(英文) 被引量:4
5
作者 关炎芳 张国贤 俞正寅 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2010年第2期149-155,共7页
以硅作为基底材料,采用深反应离子刻蚀(DRIE)技术加工出含有新型锯齿流道和传统锥形管的微泵,整个微泵结构为聚二甲基硅氧烷(PDMS)-玻璃-硅-PDMS式.采用阳极键合方法对硅和玻璃之间进行封装.PDMS和玻璃、PDMS和硅之间的封装采用紫外线... 以硅作为基底材料,采用深反应离子刻蚀(DRIE)技术加工出含有新型锯齿流道和传统锥形管的微泵,整个微泵结构为聚二甲基硅氧烷(PDMS)-玻璃-硅-PDMS式.采用阳极键合方法对硅和玻璃之间进行封装.PDMS和玻璃、PDMS和硅之间的封装采用紫外线照射方法,使PDMS表面改性,从而达到不可逆密封.分别对两种微泵在不同电压、频率以及波形驱动下的最大流量(MFR)和最大压力头(MPH)进行测试与比较,发现在固定频率下,两个微泵的最大流量和最大压力头均随驱动电压升高而升高,并且正弦波驱动下的效果要好于其他两种驱动波形;在固定电压下,最大流量随着频率升高在60Hz和200Hz两个频率点同时达到最大,最大压力头则在60~600Hz内一直处于最大值不变;锯齿流道微泵的最大流量和最大压力头明显高于传统锥形微泵.由于流道侧面环形面积的存在增加了流通面积,新形锯齿形流道微泵的效率明显高于传统锥形管微泵. 展开更多
关键词 深反应离子刻蚀 锯齿流道 压电微泵 性能 效率
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一种合成射流压电微泵关键结构参数确定方法 被引量:4
6
作者 何秀华 张习同 +1 位作者 杨嵩 邓志丹 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期184-188,共5页
为增大无阀微泵流量,改进合成射流微泵设计方法,设计一种基于合成射流压电激励器的微泵结构,并提出关键结构参数的确定方法.在合成射流激励器流场模拟结果基础上,绘制其轴线上的轴向瞬时速度变化曲线以及出口横截面上的轴向速度分布曲线... 为增大无阀微泵流量,改进合成射流微泵设计方法,设计一种基于合成射流压电激励器的微泵结构,并提出关键结构参数的确定方法.在合成射流激励器流场模拟结果基础上,绘制其轴线上的轴向瞬时速度变化曲线以及出口横截面上的轴向速度分布曲线,利用轴线上轴向速度稳定点以及出口横截面上轴向速度分布曲线的零点确定最佳泵腔高度和出口直径.对所选用的合成射流激励器流场进行三维数值模拟,结果表明:利用该方法得到微泵结构的最佳泵腔高度为7 mm,最佳出口直径为1.78 mm.在零背压下,当雷诺数为225、频率为100 Hz时,该合成射流微泵流量可达32.1 m L/min.数值仿真与实验对比验证了方法的可行性.利用该方法可以有效地确定该类微泵在大流量且连续稳定出流性能下的关键结构尺寸. 展开更多
关键词 压电微泵 合成射流 结构参数 流量 数值模拟
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对数螺旋组合管无阀压电微泵性能 被引量:3
7
作者 张习同 徐伟 何秀华 《排灌机械工程学报》 EI CSCD 北大核心 2017年第2期119-125,132,共8页
为了增大流管的流阻比以提高微泵性能,在传统的扩散/收缩管基础上提出1种新型对数螺旋组合管结构.该组合管为三通结构,由汇流管即传统的扩散/收缩管和分流管即以对数螺旋线为轮廓的一对对称流管组成.利用数值模拟方法分别对汇流管和分... 为了增大流管的流阻比以提高微泵性能,在传统的扩散/收缩管基础上提出1种新型对数螺旋组合管结构.该组合管为三通结构,由汇流管即传统的扩散/收缩管和分流管即以对数螺旋线为轮廓的一对对称流管组成.利用数值模拟方法分别对汇流管和分流管进行正交优化设计,并通过试验对数值模拟结果进行检验.结果表明优化后的对数螺旋组合管正反向流阻比近似为常数1.7,优于传统的扩散/收缩管.正、反向流动数值模拟结果相比试验值误差分别小于20%和12%.加工出应用对数螺旋组合管的样泵并进行试验测量,结果显示该微泵的扬程和流量在频率为225 Hz下存在峰值,该频率下扬程和流量随输入电压的增大而增大.该微泵最大扬程为396 mm水柱,最大流量为0.43 mL/min.应用该组合管可以有效增大正反流阻比从而提高无阀压电微泵的性能. 展开更多
关键词 无阀压电微泵 对数螺旋组合管 正交优化 流阻性能
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双层泵腔压电无阀微泵结构设计与优化 被引量:1
8
作者 单杰 郭利华 +1 位作者 冉朋辉 李经民 《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第5期746-751,共6页
面向植入式微泵在生物医疗领域的应用需求,为了提高低电压及微型化条件下微泵的输出流量,该文设计了一种双层泵腔压电无阀植入式微泵。基于压电振子的压电耦合仿真以及微泵的电-固-液三相耦合仿真,验证了双层泵腔微泵设计的有效性,并优... 面向植入式微泵在生物医疗领域的应用需求,为了提高低电压及微型化条件下微泵的输出流量,该文设计了一种双层泵腔压电无阀植入式微泵。基于压电振子的压电耦合仿真以及微泵的电-固-液三相耦合仿真,验证了双层泵腔微泵设计的有效性,并优化了结构及驱动参数。通过实验验证了耦合仿真结果的正确性,并测试了微泵的流量范围。结果表明,微泵最优设计参数:扩散角为30°,颈宽为300μm,上层泵腔高度为100μm。微泵的净流量随电压的增大而增大,且适用于低频驱动。实验结果表明,双层泵腔压电无阀微泵的输出流量是传统压电无阀微泵的5.38倍。 展开更多
关键词 压电微泵 双层泵腔 电-固-液耦合 压电耦合 喷嘴扩散器
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用微型压电陶瓷泵产生液体射流的实验研究 被引量:2
9
作者 王超 朱泽飞 施红辉 《浙江理工大学学报(自然科学版)》 2009年第5期721-725,共5页
研究微型压电陶瓷泵液体射流装置在不同工作状态下的射流形态和射流速度。实验结果表明该装置产生的射流很快破碎形成液滴。射流速度和液滴速度随着加载于压电陶瓷电极上的电压信号幅值增加而成线性增加。电压信号频率对射流速度的影响... 研究微型压电陶瓷泵液体射流装置在不同工作状态下的射流形态和射流速度。实验结果表明该装置产生的射流很快破碎形成液滴。射流速度和液滴速度随着加载于压电陶瓷电极上的电压信号幅值增加而成线性增加。电压信号频率对射流速度的影响则不相同,当信号频率小于2700 Hz时,射流速度随着信号频率的增加而增加,但当信号频率大于2700 Hz时,射流速度基本不变。电压信号模式不仅影响射流速度,还影响射流形态。连续信号模式下,射流破碎后液滴形状更加不规则、液滴大小更加不均匀。 展开更多
关键词 液体射流 微型压电陶瓷泵 射流形成 射流形态 射流速度
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基于ANSYS压电振子结构最优化模拟分析
10
作者 姚武昊 许红 +1 位作者 吴大鸣 杨晨明 《塑料》 CAS CSCD 北大核心 2019年第2期90-93,97,共5页
在建立压电微泵的结构理论模型的基础上,通过有限元仿真软件ANSYS对不同基材和不同几何尺寸的压电振子进行静力学分析和不同驱动电压及频率的谐响应分析,确定了构成压电振子部件的最优几何结构的尺寸关系以及最优驱动电压、频率的关系... 在建立压电微泵的结构理论模型的基础上,通过有限元仿真软件ANSYS对不同基材和不同几何尺寸的压电振子进行静力学分析和不同驱动电压及频率的谐响应分析,确定了构成压电振子部件的最优几何结构的尺寸关系以及最优驱动电压、频率的关系当构成压电振子晶片和基片厚度均为0.2mm,晶片与基片直径比值为11/15时,泵腔体积的变化量最大;模拟确定了驱动信号的最佳电压和频率范围,分别为电压幅值30 ~ 80V、频率40 ~ 100Hz。当驱动电压为50V,驱动频率为100 Hz时,通过实验验证,微泵流量已达到6. 56 mL/min,极大地满足了微泵流量的设计要求。为基于压电微泵驱动的微流控系统的研究提供了理论依据和实验分析数据。 展开更多
关键词 压电微泵 压电振子 流量模拟分析 结构最优化 微流控系统
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压电微泵驱动信号及流量影响因素分析
11
作者 杨晨明 许红 +3 位作者 姚武昊 吴大鸣 张亚军 代伊豪 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2018年第5期736-741,共6页
压电微泵的泵出流量由微泵结构、压电振子特性及驱动系统驱动信号的形式决定。在机械结构及材料特性确定的条件下,压电振子的驱动信号决定着微泵输出微流量的可靠性和稳定性。在分析压电微泵驱动基理的基础上,通过Ansys对驱动压电振子... 压电微泵的泵出流量由微泵结构、压电振子特性及驱动系统驱动信号的形式决定。在机械结构及材料特性确定的条件下,压电振子的驱动信号决定着微泵输出微流量的可靠性和稳定性。在分析压电微泵驱动基理的基础上,通过Ansys对驱动压电振子有效振动的一、二阶频率进行有限元模拟分析,确定了驱动信号电压幅值、频率对微泵流量的影响。以此为基础搭建压电微泵流量测试实验平台,在相同电压和频率条件下,研究了3种不同脉冲信号(正弦波、三角波、矩形波)对输出流量的影响。通过实验对理论模型进行修正,得到了压电微泵输出流量简化模型。实验验证了所得模型在正弦波、三角波、矩形波3种不同波形驱动下最大误差不超过4%,控制范围内可靠性在99.0%以上。综合比较可知,方波脉冲信号为压电微泵最佳驱动信号。 展开更多
关键词 微通道 压电微泵 计算机模拟 脉冲驱动信号 模型简化
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微型药品输送压电泵的性能分析与试验研究 被引量:9
12
作者 阚君武 宣明 +3 位作者 杨志刚 吴一辉 吴博达 程光明 《生物医学工程学杂志》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期809-813,共5页
微系统(泵)给药易于控制药品释放速度,进而提高药物疗效。研制了一种微型薄膜阀压电驱动微型泵,适用于内置式或便携式药品输送系统。分析压电振子及阀片动态特性的影响因素,给出了薄膜阀片谐振频率的计算方法。分析结果表明,阀和压电振... 微系统(泵)给药易于控制药品释放速度,进而提高药物疗效。研制了一种微型薄膜阀压电驱动微型泵,适用于内置式或便携式药品输送系统。分析压电振子及阀片动态特性的影响因素,给出了薄膜阀片谐振频率的计算方法。分析结果表明,阀和压电振子的耦合作用决定了压电泵的输出特性,对于确定的压电振子,通过阀片设计可提高压电泵的最佳工作频率和输出能力。制作了阀片尺寸不同的两个微型压电泵,进行了对比试验。小阀片微型压电泵输出的能力及最佳工作频率较高,且有两个最佳工作频率段(800Hz和3000Hz),输出流量和压力分别为3.5ml/min和27KPa;大阀片压电泵的输出能力和最佳工作频率相对较低,只有一个最佳工作频率点(200Hz左右),输出流量和压力分别为3.0ml/min和9.5KPa。这说明通过阀片的设计可提高药用微型压电泵的最佳工作频率及输出能力、减小输出脉动,以往认为有阀压电泵只能在低频状态工作的观点是错误的。 展开更多
关键词 药品输送压电泵 技术性能 性能试验 工作频率 薄膜阀
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基于附壁效应的无阀压电泵研究 被引量:1
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作者 杨嵩 袁寿其 +2 位作者 何秀华 蔡盛川 韦丹丹 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第11期343-348,共6页
提出一种基于附壁效应的无阀压电泵,该泵利用附壁射流元件造成吸入过程和排出过程中进出口的流量差,实现流体输送。首先通过动网格技术及数值模拟研究微泵的内部流场和外特性,结果表明该无阀压电泵的容积效率η可以达到0.5以上,高于传... 提出一种基于附壁效应的无阀压电泵,该泵利用附壁射流元件造成吸入过程和排出过程中进出口的流量差,实现流体输送。首先通过动网格技术及数值模拟研究微泵的内部流场和外特性,结果表明该无阀压电泵的容积效率η可以达到0.5以上,高于传统扩散/收缩管无阀压电泵。然后讨论了平面锥管长度和两分流直管间凹劈面宽度对微泵性能的影响,平面锥管长度L1必须大于dcot(θ/2),当c2/c1=1时L1/d=9的微泵在零输出压力下流量最大;不同输出压力和c2/c1的微泵流量对比表明凹劈面宽度越宽微泵输出压力性能越佳,但是在低输出压力下微泵随着凹劈面宽度的增加其容积效率降低。最后应用响应面方法对平面锥管长度和凹劈面宽度进行优化,结果表明当输出压力为5 k Pa时,最优的参数选取范围为4≤L1/d≤5,0.75≤c2/c1≤0.85,当L1/d=4.3,c2/c1=0.80时η达到最大,为0.323。其数值模拟为0.317,相差1.89%。 展开更多
关键词 无阀压电泵 附壁效应 数值模拟 响应面
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附壁射流无阀压电微泵的多场耦合模拟 被引量:1
14
作者 何秀华 杨航 杨嵩 《排灌机械工程学报》 EI CSCD 北大核心 2021年第5期439-444,共6页
为了研究在多场耦合影响下的压电微泵的输出性能,提出了一种新的数值模拟方法,以附壁射流无阀压电微泵为对象进行数值计算,并通过试验验证了数值计算方法的正确性,同时对压电泵的外特性进行了研究.结果表明:随着频率的增大,压电泵的流... 为了研究在多场耦合影响下的压电微泵的输出性能,提出了一种新的数值模拟方法,以附壁射流无阀压电微泵为对象进行数值计算,并通过试验验证了数值计算方法的正确性,同时对压电泵的外特性进行了研究.结果表明:随着频率的增大,压电泵的流量和背压都呈现先增大后减小的趋势;当电压为200 V,频率为62.5 Hz时,压电泵的流量和背压都达到最大,分别为0.703 mL/min和0.672 kPa;提取压电振子的位移分布和压电泵瞬时流量的数据,显示压电泵的出口瞬时流量滞后于瞬时电压的原因是耦合作用的影响;随着喉部高度H的增大,压电泵的流量呈现先增大后减小的趋势,当电压为200 V,频率为50.0 Hz,喉部高度H=0.4 mm时流量达到最大,为4.023 mL/min;结合压电振子的最大位移曲线和压电泵内部流场的速度矢量图分析,表明压电振子的最大振幅决定于从泵腔泵出的总流量,而内流场形成的旋涡尺寸和位置决定了进口管和出口管之间流量的分配. 展开更多
关键词 无阀压电微泵 附壁射流 多场耦合 数值计算
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