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精密微位移工作台的设计与性能分析 被引量：12
1
作者 李蓓智 杨永金 +2 位作者 杨建国 张家梁 徐源 《机械设计与研究》 CSCD 北大核心 2008年第4期41-43,53,共4页
在微位移技术中,柔性铰链是实现微位移和高分辨率的理想机构。结合精密磨床工作台高精度、高分辨率和大刚度的特点,以及满足工作台的工作行程和进给稳定性要求,设计了宏微两级精密进给机构;建立了柔性铰链导向机构的理论模型并进行刚度... 在微位移技术中,柔性铰链是实现微位移和高分辨率的理想机构。结合精密磨床工作台高精度、高分辨率和大刚度的特点,以及满足工作台的工作行程和进给稳定性要求,设计了宏微两级精密进给机构;建立了柔性铰链导向机构的理论模型并进行刚度分析;详细给出了柔性铰链的参数设计、有限元分析和疲劳寿命分析。 展开更多
关键词 微位移 柔性铰链 压电陶瓷 有限元分析(FEA)
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