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SiOx包装阻隔薄膜的发展现状及其制备方法 被引量:17
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作者 韩尔立 陈强 +1 位作者 葛袁静 张广秋 《包装工程》 CAS CSCD 北大核心 2005年第6期76-78,共3页
S iOx阻隔薄膜具有优异的阻隔性,并且光透过性和微波透过性好,在阻隔包装领域的应用前景广泛,介绍了S iOx包装阻隔薄膜的制备方法:物理气相沉积,等离子体聚合及大气下等离子体聚合等。
关键词 SIOX薄膜 阻隔性 物理气相沉积 等离子体化学气相沉积
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