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非晶氧化铟镁薄膜晶体管的光电特性研究 被引量：1
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作者 卢慧玲 张乐陶 +1 位作者 周航 张盛东 《光电子技术》 CAS 2017年第1期27-29,共3页
研究了氧化铟镁(MgInO)薄膜晶体管在不同波长下的光响应。实验表明,入射光波长减小,光电流将增加。和积累区相比,耗尽区具有更高的信噪比,更适合于紫外探测。器件在短波时具有较大的响应度(>1A/W),截止波长在360nm左右。同时研究了... 研究了氧化铟镁(MgInO)薄膜晶体管在不同波长下的光响应。实验表明,入射光波长减小,光电流将增加。和积累区相比,耗尽区具有更高的信噪比,更适合于紫外探测。器件在短波时具有较大的响应度(>1A/W),截止波长在360nm左右。同时研究了源漏电压和沟道长度对光电流的影响。光电流与源漏电压之间具有良好的线性关系;沟长变短,渡越时间减小,可获得更高的光电增益。 展开更多
关键词 薄膜晶体管 金属氧化物 紫外探测 氧化铟镁 光电特性
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