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新型移相量块干涉仪的研制 被引量:7
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作者 张旭东 刘香斌 +2 位作者 王世婕 王振华 吴月艳 《计量学报》 CSCD 北大核心 2017年第3期257-261,共5页
研制了一台用于0.5~100 mm量块测量的新型移相量块干涉仪,分别以波长为633 nm和543 nm的两台稳频激光器作为测量光源,通过一根单模光纤引入到干涉仪内。高精密移相器实现5步移相干涉测量,CCD相机采集干涉条纹并计算干涉条纹小数,被测量... 研制了一台用于0.5~100 mm量块测量的新型移相量块干涉仪,分别以波长为633 nm和543 nm的两台稳频激光器作为测量光源,通过一根单模光纤引入到干涉仪内。高精密移相器实现5步移相干涉测量,CCD相机采集干涉条纹并计算干涉条纹小数,被测量块长度采用多波长的小数重合法计算。移相量块干涉仪的测量不确定度达到U=0.015μm+0.07×10^(-6)L(L为量块长度,mm)。 展开更多
关键词 计量学 量块测量 移相干涉仪 相位解包裹 小数重合法
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相移干涉仪中探测器非线性误差及其补偿 被引量:7
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作者 曾丹华 肖体乔 +4 位作者 席再军 杜国浩 刘丽想 骆玉宇 徐洪杰 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期1358-1362,共5页
通过对多个相移算法的理论分析和数值模拟,发现探测器的非线性响应在相位中会引入2倍空间频率的系统误差。结果表明,非标准相移算法随着探测器非线性度的增加,相对误差也越来越大。提出了压电陶瓷驱动器的移相误差和光电探测器的非线性... 通过对多个相移算法的理论分析和数值模拟,发现探测器的非线性响应在相位中会引入2倍空间频率的系统误差。结果表明,非标准相移算法随着探测器非线性度的增加,相对误差也越来越大。提出了压电陶瓷驱动器的移相误差和光电探测器的非线性误差相互抵消的误差补偿技术,并给出了判别误差匹配有效性的实用判据。仿真表明,这种误差补偿技术可以使测量误差减小约一个量级。证明了在不考虑波前幅度信息时,标准相移算法对光电探测器的非线性为零响应,不影响仪器精度。 展开更多
关键词 光学计量 探测器非线性 相移干涉仪 系统误差补偿 空间频率
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Comparative analysis of phase extraction methods based on phase-stepping and shifting curve in grating interferometry 被引量:2
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作者 刘小松 李恩荣 +8 位作者 朱佩平 刘宜晋 张凯 王志立 洪友丽 张慧滔 袁清习 黄万霞 吴自玉 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第4期173-179,共7页
Two phase extraction methods which are based separately on phase-stepping and shifting curve are mainly used in phase-sensitive imaging in gating interferometry to determine the x-ray phase shift induced by an object ... Two phase extraction methods which are based separately on phase-stepping and shifting curve are mainly used in phase-sensitive imaging in gating interferometry to determine the x-ray phase shift induced by an object in the beam. In this paper, the authors perform a full comparative analysis and present the main virtues and limitations of these two methods according to the theoretical analysis of the grating interferometry. 展开更多
关键词 x-ray phase sensitive imaging grating interferometer phase-stepping shifting curve
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基于三稳频激光波长的相移干涉测量法修正空气折射率湿度参数 被引量:1
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作者 陈强华 徐东 +2 位作者 张孟策 罗会甫 罗军 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第11期1108-1113,共6页
针对公式法测量空气折射率受到Cd光源频率稳定性低和应用温度区间小的影响,其湿度修正误差不适应当前光学精密测量的实际需求的问题,提出了基于相移干涉光路的折射率测量光路.该光路由一个相移干涉光路和一个辅助角度测量干涉光路组成,... 针对公式法测量空气折射率受到Cd光源频率稳定性低和应用温度区间小的影响,其湿度修正误差不适应当前光学精密测量的实际需求的问题,提出了基于相移干涉光路的折射率测量光路.该光路由一个相移干涉光路和一个辅助角度测量干涉光路组成,并采用3个高精度稳频波长作为光源(532,633,780nm).在14.6~24.0℃温度区间内进行实验,获得了对湿度的修正系数并得到修正公式.将其用于实验比对,表明所得公式的测量精度优于Boensch公式. 展开更多
关键词 测量 空气折射率 湿度修正 相移干涉法 三稳频波长
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