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纳米多层膜的研究进展 被引量：8
1
作者 肖晓玲 《材料研究与应用》 CAS 2007年第1期1-10,共10页
综述了纳米多层膜的研究进展,包括多层膜超硬的原因、多层膜的种类、制备方法及结构和成分的检测手段,并提出纳米多层膜今后的研究方向和应用前景.
关键词 纳米多层膜 调制波长 硬度 内应力
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多层膜周期厚度的精确计算 被引量：3
2
作者 冯仕猛 赵海鹰 +2 位作者 窦晓鸣 范正修 邵建达 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第11期1027-1030,共4页
布拉格修正公式可以用于计算基底是平面的软X射线多层膜周期厚度,但对于基底是曲面的多层膜,小角X射线衍射峰角度常常发生漂移,用该公式计算的周期厚度就与实际周期厚度不一致。分析了衍射峰角度位置漂移现象,对以布拉格公式为基础的多... 布拉格修正公式可以用于计算基底是平面的软X射线多层膜周期厚度,但对于基底是曲面的多层膜,小角X射线衍射峰角度常常发生漂移,用该公式计算的周期厚度就与实际周期厚度不一致。分析了衍射峰角度位置漂移现象,对以布拉格公式为基础的多层膜周期厚度计算公式进行了修正,实验结果显示,利用修正公式获得的多层膜周期厚度比较接近多层膜实际周期厚度。 展开更多
关键词 多层膜 X射线衍射角度 周期厚度 布拉格修正公式
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具有优良隔热和力学性能的低热导率W/Al2O3纳米多层功能膜的构建 被引量：1
3
作者 吴珊妮 赵远 +2 位作者 姜宏 文峰 熊春荣 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第2期2023-2028,共6页
本研究以高纯W与Al2O3为靶材,在常温下采用磁控溅射法在钠钙硅玻璃表面交替镀制了W及Al2O3纳米多层膜。在多层膜总厚度相同的条件下,研究了不同W/Al2O3周期厚度对隔热性能的影响。采用台阶仪、扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、场发射... 本研究以高纯W与Al2O3为靶材,在常温下采用磁控溅射法在钠钙硅玻璃表面交替镀制了W及Al2O3纳米多层膜。在多层膜总厚度相同的条件下,研究了不同W/Al2O3周期厚度对隔热性能的影响。采用台阶仪、扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、场发射透射电镜(TEM)等对多层膜的形貌及结构进行了表征。采用瞬态热反射法(TTR)、纳米压痕仪分别分析了多层膜的隔热性能和力学性能。结果表明,实验沉积的多层膜中各单层均匀连续,不存在断层现象,且层间界面清晰。Al2O3膜层呈非晶形态,W膜层具有亚稳态β-W(210)的择优取向,并在周期厚度为5 nm时呈现明显的非晶态。随着膜层界面密度的增大,多层膜的热阻增大,热导率减小,硬度增大。周期厚度为5 nm、膜层数为41层的W/Al2O3多层膜具有较为优异的隔热性能与力学性能,其热阻为3.14×10^-7 m^2·K·W^-1,有效热导率为0.36 W·m^-1·K^-1,硬度为8.53 GPa,膜/基结合力为42.20 mN。所制备的多层膜在室温到500℃之间具有良好的热稳定性。 展开更多
关键词 W/Al2O3多层膜 磁控溅射 热导率 周期厚度 瞬态热反射法
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不同周期厚度的1 eV GaNAs/InGaAs超晶格太阳电池材料的MBE生长和器件特性
4
作者 王乃明 郑新和 +5 位作者 陈曦 甘兴源 王海啸 李宝吉 卢建娅 杨辉 《中国科学：物理学、力学、天文学》 CSCD 北大核心 2015年第3期69-74,共6页
本文采用分子束外延(MBE)生长技术,研究了周期厚度对高含N量1eV GaNAs/InGaAs超晶格的结构品质的影响.高分辨率X射线衍射(HRXRD)与透射电镜(TEM)分析表明:当周期厚度从6 nm(阱层和垒层厚度相同,以下同)增加到20 nm时,超晶格的周期重复... 本文采用分子束外延(MBE)生长技术,研究了周期厚度对高含N量1eV GaNAs/InGaAs超晶格的结构品质的影响.高分辨率X射线衍射(HRXRD)与透射电镜(TEM)分析表明:当周期厚度从6 nm(阱层和垒层厚度相同,以下同)增加到20 nm时,超晶格的周期重复性和界面品质变好,然而当继续增加周期厚度至30 nm时,超晶格品质劣化.上述生长现象通过简单模型进行了分析讨论.同时,通过退火优化,实现了周期厚度为20 nm的1 eV GaNAs/InGaAs超晶格太阳电池,短路电流密度超过10 mA/cm2. 展开更多
关键词 GaNAs/InGaAs超晶格 分子束外延 周期厚度 太阳电池 快速退火
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制备软X光多层膜的转速控厚法 被引量：5
5
作者 邵建达 范正修 +1 位作者 金磊 郭永洪 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1991年第3期171-175,共5页
本文提出了一种新的监控软X光多层膜膜厚的方法——转速控厚法,利用这种方法镀制的设计周期厚度分别为8.4和10nm,周期数达50对和30对的W/C多层膜,经小角X光衍射测试,结果表明周期厚度随机误差在0.1nm左右。
关键词 X光膜 工艺 膜厚 控制 转速控厚法
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多层膜微结构参数的低角X射线衍射分析 被引量：1
6
作者 王超群 纪红 《物理测试》 CAS 2007年第1期37-39,共3页
各种铁磁性金属、非铁磁性金属组成的磁性多层膜系统的性质及微结构的研究是凝聚态物理及材料科学中的一个热点。它们的巨磁电阻(GMR)效应强烈地依赖于多层膜的微结构,如周期厚度、界面粗糙度、生长取向以及晶粒度等。采用掠入射X射线... 各种铁磁性金属、非铁磁性金属组成的磁性多层膜系统的性质及微结构的研究是凝聚态物理及材料科学中的一个热点。它们的巨磁电阻(GMR)效应强烈地依赖于多层膜的微结构,如周期厚度、界面粗糙度、生长取向以及晶粒度等。采用掠入射X射线衍射分析(GIXA)法表征多层膜的微结构,具有无损和空间分辨率高的特点。通过GIXA可获得有关薄膜的密度、厚度以及表面粗糙度等微观结构信息。文章对上述有关的分析方法进行了评述。 展开更多
关键词 多层膜 微结构 XRD 反射率 周期厚度 界面粗糙度
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ZrO_2/SiO_2多层膜中膜厚组合周期数及基底材料对残余应力的影响 被引量：9
7
作者 邵淑英 范正修 邵建达 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第7期3312-3316,共5页
ZrO2/SiO2多层膜由相同沉积条件下的电子束蒸发方法制备而成,通过改变多层膜中高(ZrO2)、低(SiO2)折射率材料膜厚组合周期数的方法,研究了沉积在熔石英和BK7玻璃基底上多层膜中残余应力的变化.用ZYGO光学干涉仪测量了基底镀膜前后曲率... ZrO2/SiO2多层膜由相同沉积条件下的电子束蒸发方法制备而成,通过改变多层膜中高(ZrO2)、低(SiO2)折射率材料膜厚组合周期数的方法,研究了沉积在熔石英和BK7玻璃基底上多层膜中残余应力的变化.用ZYGO光学干涉仪测量了基底镀膜前后曲率半径的变化,并确定了薄膜中的残余应力.结果发现,该多层膜中的残余应力为压应力,随着薄膜中膜厚组合周期数的增加,压应力值逐渐减小.而且在相同条件下,石英基底上所沉积多层膜中的压应力值要小于BK7玻璃基底上所沉积多层膜中的压应力值.用x射线衍射技术测量分析了膜厚组合周期数不同的ZrO2/SiO2多层膜微结构,发现随着周期数增加,多层膜的结晶程度增强.同时多层膜的微结构应变表现出了与所测应力不一致的变化趋势,这主要是由多层膜中,膜层界面之间复杂的相互作用引起的. 展开更多
关键词 残余应力 SiO2 ZrO2 多层膜 周期数 组合 膜厚 基底材料 X射线衍射技术 玻璃基底 电子束蒸发 光学干涉仪 应力值 沉积条件 曲率半径 测量分析 石英基底 变化趋势 结构应变 结晶程度 相互作用 折射率 熔石英 压应力 微结构
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晶体中电子散射的动力学效应与用于观察表面结构的正面成像法 被引量：1
8
作者 李日升 关若男 《电子显微学报》 CAS CSCD 1998年第3期295-310,共16页
本文通过对用于观察表面结构的高分辨电子显微正面成像法进展的回顾，从晶体中电子散射的动力学厚度效应出发，讨论了表面波与体波振幅的可比性在表面结构成像中的作用：揭示了表面结构像的厚度周期性；并对正面成像中的顶－底效应提出... 本文通过对用于观察表面结构的高分辨电子显微正面成像法进展的回顾，从晶体中电子散射的动力学厚度效应出发，讨论了表面波与体波振幅的可比性在表面结构成像中的作用：揭示了表面结构像的厚度周期性；并对正面成像中的顶－底效应提出了一种新的解释。 展开更多
关键词 正面成像法 电子散射 动力学效应 晶体 电镜
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铁素体不锈钢轧制时厚度控制问题的分析与优化
9
作者 潘世华 肖至勇 《宝钢技术》 CAS 2017年第4期19-25,共7页
宝钢不锈钢冷轧厂1 750 mm冷连轧机是国内首条碳钢与不锈钢混合轧制的机组,该机组开创了国内应用五机架连轧机一次连贯轧制不锈钢板材的先河。为了提高铁素体不锈钢的盈利能力,在该机组进行了极限规格拓展轧制。针对规格拓展轧制过程中... 宝钢不锈钢冷轧厂1 750 mm冷连轧机是国内首条碳钢与不锈钢混合轧制的机组,该机组开创了国内应用五机架连轧机一次连贯轧制不锈钢板材的先河。为了提高铁素体不锈钢的盈利能力,在该机组进行了极限规格拓展轧制。针对规格拓展轧制过程中所出现的厚度偏差大、轧制力周期振荡、带钢跑偏等厚度问题,从控制和模型角度分别进行了原因分析,并针对主要影响因素进行了相关优化。通过优化,解决了极限规格轧制时所产生的厚度波动问题,实现了该规格的稳定轧制和批量生产。 展开更多
关键词 碳钢与不锈钢混合轧制 厚度波动 铁素体不锈钢 极限规格
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秧苗移栽期对甘薯种薯萌芽性的调控效应
10
作者 王新建 司成成 +1 位作者 史春余 刘化学 《山东农业科学》 2018年第8期47-49,53,共4页
为研究秧苗移栽期对甘薯种薯萌芽性的调控效应,在大田条件下,以萌芽性差异显著的甘薯品种烟薯25和泰中6号为材料,设置6月19日(CK)、7月1日(T1)和7月12日(T2)3个秧苗移栽期处理,同时收获、贮藏,翌年在小拱棚排种育苗。在排种育苗前,调查... 为研究秧苗移栽期对甘薯种薯萌芽性的调控效应,在大田条件下,以萌芽性差异显著的甘薯品种烟薯25和泰中6号为材料,设置6月19日(CK)、7月1日(T1)和7月12日(T2)3个秧苗移栽期处理,同时收获、贮藏,翌年在小拱棚排种育苗。在排种育苗前,调查各处理种薯的平均单薯重和薯皮特征;在育苗期,调查单位面积采苗数以及秧苗百株重等秧苗素质指标。结果表明,随秧苗移栽期延后,2个品种种薯的薯皮厚度和平均单薯重显著降低,平均单薯根眼数变化不大,单位重量种薯根眼数显著增加。在育苗期,移栽期较晚处理的种薯采苗数增加,秧苗株高增加,茎粗和百株鲜重降低;但是,T2处理的百株鲜重在500 g以上,有5个以上的展开叶节,符合壮苗标准。因此,本研究认为,在黄淮海地区,甘薯繁殖田以7月12日前后移栽为宜。 展开更多
关键词 甘薯 秧苗移栽期 薯皮厚度 单位重量根眼数 单位面积采苗量 秧苗百株重
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