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深紫外光刻照明系统光束整形单元的设计
被引量：
13
1
作者
赵阳
巩岩
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期29-34,共6页
为了使曝光波长为193 nm的深紫外光刻系统能够制备曝光线宽为90 nm及以下节点的集成电路芯片,设计了采用环形照明模式且部分相干因子σ连续可调,能满足不同曝光线宽要求的光刻照明系统光束整形单元。首先,用几何光学定律和三角函数推导...
为了使曝光波长为193 nm的深紫外光刻系统能够制备曝光线宽为90 nm及以下节点的集成电路芯片,设计了采用环形照明模式且部分相干因子σ连续可调,能满足不同曝光线宽要求的光刻照明系统光束整形单元。首先,用几何光学定律和三角函数推导了轴锥镜移动距离与光束放大倍率之间的函数关系;根据对变倍凸轮的合理性和装调公差灵敏度的分析,确定了轴锥镜组参数的变化范围,完成了变倍镜组与轴锥镜组合的光束整形单元的设计。最后,在组合系统后面加入了可连续变倍的缩束系统,实现了σ的连续可调。设计结果显示,在环形照明模式下,归一化的环宽Δσ和外环直径σouter分别在[0.25,1]和[0.4,1]内连续可调,满足设计要求。
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关键词
深紫外光刻
环形照明
轴锥镜
部分相干因子
无焦变倍镜组
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职称材料
基于频谱和相干分析的挖掘机噪声识别与控制
被引量：
10
2
作者
胡成太
高云凯
+1 位作者
刘爽
冯海星
《振动．测试与诊断》
EI
CSCD
北大核心
2013年第6期1032-1038,1097,共7页
研究了商用挖掘机驾驶室内部噪声的产生机理及传播途径。基于噪声水平评价试验和空气噪声源试验识别主要的空气噪声源,利用频谱分析获取驾驶室内、外噪声的成因及主要工作系统的噪声特性,并采用相干分析中的偏相干法对关键峰值频率下的...
研究了商用挖掘机驾驶室内部噪声的产生机理及传播途径。基于噪声水平评价试验和空气噪声源试验识别主要的空气噪声源,利用频谱分析获取驾驶室内、外噪声的成因及主要工作系统的噪声特性,并采用相干分析中的偏相干法对关键峰值频率下的空气噪声源进行贡献排序,找到主要贡献因子。结果表明:该挖掘机噪声水平符合噪声限值标准,且主要空气噪声源为发动机系统的噪声;驾驶室内部噪声在低频范围内主要为结构-声传递的振动噪声,高频范围主要为空气-声传递的空气噪声;经偏相干排除干扰频率后的分析可知,驾驶室内部主要空气噪声源为发动机前部、进气系统和液压泵系统的噪声,进而验证了噪声传播机理的正确性。
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关键词
挖掘机
噪声
频谱分析
偏相干分析
贡献因子
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职称材料
题名
深紫外光刻照明系统光束整形单元的设计
被引量：
13
1
作者
赵阳
巩岩
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
中国科学院研究生院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期29-34,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.40974110)
文摘
为了使曝光波长为193 nm的深紫外光刻系统能够制备曝光线宽为90 nm及以下节点的集成电路芯片,设计了采用环形照明模式且部分相干因子σ连续可调,能满足不同曝光线宽要求的光刻照明系统光束整形单元。首先,用几何光学定律和三角函数推导了轴锥镜移动距离与光束放大倍率之间的函数关系;根据对变倍凸轮的合理性和装调公差灵敏度的分析,确定了轴锥镜组参数的变化范围,完成了变倍镜组与轴锥镜组合的光束整形单元的设计。最后,在组合系统后面加入了可连续变倍的缩束系统,实现了σ的连续可调。设计结果显示,在环形照明模式下,归一化的环宽Δσ和外环直径σouter分别在[0.25,1]和[0.4,1]内连续可调,满足设计要求。
关键词
深紫外光刻
环形照明
轴锥镜
部分相干因子
无焦变倍镜组
Keywords
deep
ultraviolet
lithography
annular
illumination
axicon
partial
coherent
factor
afocal
zoom
system
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
O435.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
基于频谱和相干分析的挖掘机噪声识别与控制
被引量：
10
2
作者
胡成太
高云凯
刘爽
冯海星
机构
长安汽车工程研究总院
汽车噪声振动和安全技术国家重点实验室重庆
同济大学汽车学院上海
出处
《振动．测试与诊断》
EI
CSCD
北大核心
2013年第6期1032-1038,1097,共7页
基金
上海汽车工业科技发展基金资助项目(1011)
文摘
研究了商用挖掘机驾驶室内部噪声的产生机理及传播途径。基于噪声水平评价试验和空气噪声源试验识别主要的空气噪声源,利用频谱分析获取驾驶室内、外噪声的成因及主要工作系统的噪声特性,并采用相干分析中的偏相干法对关键峰值频率下的空气噪声源进行贡献排序,找到主要贡献因子。结果表明:该挖掘机噪声水平符合噪声限值标准,且主要空气噪声源为发动机系统的噪声;驾驶室内部噪声在低频范围内主要为结构-声传递的振动噪声,高频范围主要为空气-声传递的空气噪声;经偏相干排除干扰频率后的分析可知,驾驶室内部主要空气噪声源为发动机前部、进气系统和液压泵系统的噪声,进而验证了噪声传播机理的正确性。
关键词
挖掘机
噪声
频谱分析
偏相干分析
贡献因子
Keywords
excavator,noise,frequency
spectrum
analysis,
partial
coher
ence
analysis,contribution
factor
分类号
U415.511 [交通运输工程—道路与铁道工程]
TB533.2 [理学—物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
深紫外光刻照明系统光束整形单元的设计
赵阳
巩岩
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
13
下载PDF
职称材料
2
基于频谱和相干分析的挖掘机噪声识别与控制
胡成太
高云凯
刘爽
冯海星
《振动．测试与诊断》
EI
CSCD
北大核心
2013
10
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职称材料
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