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题名离轴二次曲面面型参数测量归算方法的研究
被引量：5
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作者
周洋
李新南
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机构
中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所
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出处
《天文研究与技术》
CSCD
北大核心
2008年第3期307-311,共5页
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基金
国家自然科学基金(10673020)资助
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文摘
为了在制造过程中保证离轴非球面的光学特性,需要对其主要的面型参数进行严格控制,除了常规形式的顶点曲率半径和非球面系数外,还需要控制镜面的离轴量和离轴角。本文基于普通的二次曲面方程,推导了在新坐标系下的二次曲面表达式,并在这个坐标系下,利用Powell共轭方向法求取镜面的顶点曲率半径、二次曲面系数、离轴量和离轴角。通过对抛物面和双曲面两种形式不同外形的镜面数据的计算,拟合的RMS值可以达到10nm的精度,从而表明该测量计算方法可以有效地控制离轴面加工时的参数误差。
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关键词
光学测量
离轴非球面
顶点曲率半径
二次曲面系数
离轴量
离轴角
Powell共轭方向法
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Keywords
optical measurement
off - axis aspheric
paraxial radius
conic constant
lateral displacement
tilts angle
conjugate direction method
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分类号
TG580
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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题名光学非球面二次曲面常数及顶点曲率的研究
被引量：10
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作者
程灏波
王英伟
冯之敬
冯志伟
张锐
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机构
清华大学精仪系
长春理工大学材料系
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出处
《光学技术》
EI
CAS
CSCD
2004年第3期311-313,317,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(50175062)
国家863高技术项目基金(2001AA421140)
国家博士后青年基金。
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文摘
受光学非球面制造过程中诸工艺参数的影响,能否保证非球面顶点曲率及二次曲面常数的精度是一个重要问题。基于二次曲面方程,推导出确定光学非球面二次曲面常数k以及顶点曲率半径r的一组算法,并在对一块口径为760mm×200mm标准非球面反射镜的实际测算中进行拟合,经过优化,拟合精度达到Δk=0.015,Δr=0.341mm,从而有效的控制了光学非球面制造过程中的顶点曲率及二次曲面常数的偏差。
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关键词
离轴非球面
二次曲线常数
顶点曲率
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Keywords
off-axis aspheric
conic constant
paraxial radius of curvature
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分类号
TG580
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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题名二次非球面镜参数求解模型及求解算法研究
被引量：2
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作者
罗勇
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机构
暨南大学珠海校区计算机科学系
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出处
《科学技术与工程》
2010年第36期8968-8971,共4页
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基金
中央高校基本科研业务费专项资金(21610306)资助
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文摘
零位补偿检测的结果常作为非球面元件加工过程中的标准。当零位补偿器可能存在问题时,能否保证非球面顶点曲率及二次曲面常数的精度是一个重要问题。基于二次曲面方程,建立了非球面顶点曲率半径R以及二次曲面常数k的求解模型并推导了基于奇异值分解SVD方法的求解算法。通过对一块孔径为1 229 mm的非球面反射镜进行模拟仿真计算,经过优化,该算法的求解精度可以达到△R=0.1%,△k=0.14%,从而实现对非球面镜零位补偿检测的有效补充。
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关键词
二次非球面
顶点曲率半径
二次曲面常数
求解模型
奇异值分解
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Keywords
conic aspheric mirror paraxial radius of curvature conic constant solving modelSVD
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分类号
TG580
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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