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基于响应曲面法的激光透射连接硅与玻璃的工艺研究 被引量：5
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作者 薛国春 刘会霞 +4 位作者 李品 蒋涛 高阳阳 严长 王霄 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第3期76-85,共10页
采用Nd…YAG脉冲激光器对硅与玻璃进行激光透射连接实验。阐述了激光透射连接硅与玻璃的连接机理。采用旋转中心复合设计进行实验规划,使用响应曲面法(RSM)建立了激光透射连接工艺参数与剪切强度、熔池宽度的数学模型,进行了方差分析、... 采用Nd…YAG脉冲激光器对硅与玻璃进行激光透射连接实验。阐述了激光透射连接硅与玻璃的连接机理。采用旋转中心复合设计进行实验规划,使用响应曲面法(RSM)建立了激光透射连接工艺参数与剪切强度、熔池宽度的数学模型,进行了方差分析、实验模型的验证,讨论了激光透射连接工艺参数对剪切强度、熔池宽度的交互影响趋势,运用满意度函数对工艺参数进行优化,并对优化结果进行验证。结果表明,所建立的模型能够较好地反映各响应与工艺参数之间的关系,优化的预测结果与验证实验的结果较为吻合,对提高连接质量和降低生产成本具有很好的指导意义。 展开更多
关键词 激光技术 激光透射连接 响应曲面法 硅 玻璃 工艺参数优化
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