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独立模式算法求解颗粒粒径分布的研究 被引量:35
1
作者 徐峰 蔡小舒 +2 位作者 苏明旭 赵志军 李俊峰 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期223-228,共6页
光散射法测粒技术中常常会碰到反问题 (inverseproblem) ,即对多分散的颗粒两相介质 ,通过测得的多个角度或不同波长下的光信号 ,求解第一类Fredholm积分方程。从理论和实验两方面出发 ,改进了Twomey算法在前向散射和消光法测粒技术中... 光散射法测粒技术中常常会碰到反问题 (inverseproblem) ,即对多分散的颗粒两相介质 ,通过测得的多个角度或不同波长下的光信号 ,求解第一类Fredholm积分方程。从理论和实验两方面出发 ,改进了Twomey算法在前向散射和消光法测粒技术中的应用 。 展开更多
关键词 应用光学 光散射 颗粒测量 反演算法 独立模式
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光复散射对消光法粒径测量的影响:复散射模型与数值模拟 被引量:25
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作者 苏明旭 任宽芳 +3 位作者 Grehan G 蔡小舒 Rozé C Girasole T 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期696-699,共4页
复散射效应在光散射颗粒测量中不仅重要 ,且尚未得到很好解决。采用蒙特卡罗方法 ,对不同的光波长 ,颗粒浓度以及收接器条件下的光复散射进行了数值模拟 ,数值算法程序经与四通量模型进行对比验证 ,数值结果与单散射条件的郎伯比尔模型... 复散射效应在光散射颗粒测量中不仅重要 ,且尚未得到很好解决。采用蒙特卡罗方法 ,对不同的光波长 ,颗粒浓度以及收接器条件下的光复散射进行了数值模拟 ,数值算法程序经与四通量模型进行对比验证 ,数值结果与单散射条件的郎伯比尔模型进行比较 ,进而讨论了复散射效应对消光法颗粒粒径测量影响。表明复散射对消光法颗粒测量的影响不仅取决于颗粒系自身的浓度 ,而且接收器的几何尺寸和接收位置起着非常重要的作用 ,减小颗粒介质层厚度和减小光接收器接收面积 ,增大接收距离以及减小接收角都能减小复散射效应对消光法粒径测量的影响。 展开更多
关键词 光复散射 消光法 粒径测量 蒙特蕾罗方法 光散射 数值模拟
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均匀球形液滴二阶和五阶彩虹的重建及应用 被引量:6
3
作者 姜会芬 韩香娥 +2 位作者 任宽芳 潘凤艳 MEES Loic 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第11期1561-1565,共5页
从理论和实验两方面研究了不同温度下球形液滴的彩虹强度分布及在粒度测量中的应用。研究结果表明折射率为 1.33附近液滴在 117°~ 134°散射角范围内的散射强度分布不是单一的二阶彩虹强度分布 ,而是二阶和五阶彩虹的干涉强... 从理论和实验两方面研究了不同温度下球形液滴的彩虹强度分布及在粒度测量中的应用。研究结果表明折射率为 1.33附近液滴在 117°~ 134°散射角范围内的散射强度分布不是单一的二阶彩虹强度分布 ,而是二阶和五阶彩虹的干涉强度分布。基于散射强度频谱特点 ,提出了一种从干涉强度谱中重建二阶和五阶彩虹强度分布的方法 :逆快速傅里叶变换 (IFFT)。利用洛伦兹米理论 (LMT)模拟计算了温度为 2 0℃和 80℃下水粒子二阶彩虹的高频结构与粒子直径的关系 ,获得了经验公式。该关系式可用来测量确定温度下均匀水粒子直径。还利用激光彩虹测试系统测量了水柱二阶彩虹角度范围内的散射强度分布。上述理论研究结果与实验结果进行了比较 ,两者吻合得很好。基于上述研究 ,可以从单一阵列探测器获取的彩虹信号提取不同阶次彩虹分布 ,用于液滴多参量的反演测量。 展开更多
关键词 二阶 五阶 散射强度 强度分布 液滴 同阶 彩虹 重建 吻合 频谱特点
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小角弹性光散射粒径测量技术与准确性验证 被引量:7
4
作者 孙晗 Grazia Lamanna Bernhard Weigand 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第3期192-196,共5页
改变了用中心有孔的环形光电元件接收前向散射光的传统做法,选择采用高灵敏度、低噪声、高分辨率带冷却的CCD采集散射光。采用光导纤维使透射光导出光轴,从CCD采集到的图像得到光强随散射角变化的分布曲线,用米氏散射程序反算出粒径分布... 改变了用中心有孔的环形光电元件接收前向散射光的传统做法,选择采用高灵敏度、低噪声、高分辨率带冷却的CCD采集散射光。采用光导纤维使透射光导出光轴,从CCD采集到的图像得到光强随散射角变化的分布曲线,用米氏散射程序反算出粒径分布;采用CCD为接收设备提高了测量系统的灵敏度和角度分辨率,使测量稀薄液雾或悬浊液的粒径分布成为可能。尽管激光散射粒径测量方法从测量原理上看更加准确,但此测量技术不是利用颗粒的放大成像确定粒径,不直观,通常需要验证激光粒径测量结果的准确性,常采用经其他光学方法测量过的标准粒子验证。提出了一种非光学的准确性验证方法,即利用单分散液滴串发生器产生的大小可控的等直径、等间距液滴串来验证小角弹性光散射粒径测量系统的准确性。 展开更多
关键词 物理光学 小角弹性光散射 单分散液滴发生器 粒径
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彩虹及在非均匀球中的应用 被引量:3
5
作者 韩香娥 任宽芳 +2 位作者 Grehan G Gouesbet G 吴振森 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期712-716,共5页
利用广义洛伦兹米氏理论 ,研究了多层球折射率按指数规律变化时 ,其一阶彩虹角分布随折射率变化的情况。研究结果表明 ,无论折射率为指数增大还是指数衰减 ,多层球彩虹角位置均与折射率分布密切相关 ,为探测非均匀球的折射率及梯度分布... 利用广义洛伦兹米氏理论 ,研究了多层球折射率按指数规律变化时 ,其一阶彩虹角分布随折射率变化的情况。研究结果表明 ,无论折射率为指数增大还是指数衰减 ,多层球彩虹角位置均与折射率分布密切相关 ,为探测非均匀球的折射率及梯度分布以及燃烧室的温度分布提供了有效的信息。 展开更多
关键词 广义洛伦兹-米氏理论 光散射 折射率分布 折射率测量 彩虹 几何光学
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空气动力学粒径的光学修正 被引量:2
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作者 李学彬 黄印博 +2 位作者 宫纯文 魏合理 胡欢陵 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期20-22,134,共4页
针对空气动力学粒径和光学等效粒径之间存在的差异,本文提出对空气动力学粒径进行光学修正的方法。该方法根据黑碳仪(AE)、浊度计(IN)和光学粒子计数器(OPC)的测量结果,对气溶胶折射率进行反演,再利用反演的折射率结合黑碳仪和浊度计的... 针对空气动力学粒径和光学等效粒径之间存在的差异,本文提出对空气动力学粒径进行光学修正的方法。该方法根据黑碳仪(AE)、浊度计(IN)和光学粒子计数器(OPC)的测量结果,对气溶胶折射率进行反演,再利用反演的折射率结合黑碳仪和浊度计的测量结果对厦门地区空气动力学粒度仪(3321)测量的空气动力学粒径数据进行光学修正,与光学粒子计数器测量结果对比表明修正的结果是合理的。最后还对引起空气动力学粒径和光学等效粒径之间差异的原因进行了分析。 展开更多
关键词 大气气溶胶 空气动力学粒径 光学等效粒径 折射率
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无限长非均匀圆柱对平面波散射的彩虹特性研究 被引量:1
7
作者 姜会芬 李道勇 韩香娥 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期3222-3226,共5页
以梯度折射率聚合物光纤为例,利用非均匀柱粒子的洛伦茨-米氏(Lorenz-Mie)理论和德拜(Debye)级数研究了非均匀柱粒子的一阶、二阶彩虹强度分布特点。针对不同阶次彩虹间存在相干现象这一特点,提出了低通、带通滤波和逆快速傅里叶变换(IF... 以梯度折射率聚合物光纤为例,利用非均匀柱粒子的洛伦茨-米氏(Lorenz-Mie)理论和德拜(Debye)级数研究了非均匀柱粒子的一阶、二阶彩虹强度分布特点。针对不同阶次彩虹间存在相干现象这一特点,提出了低通、带通滤波和逆快速傅里叶变换(IFFT)方法,将各阶彩虹从相互干涉的强度分布中分离重建出来,并且与Debye级数模拟的结果进行了比较,吻合得很好;讨论了分层柱粒子的双重一阶彩虹现象,利用Lorenz-Mie理论和Debye级数模拟了双重一阶彩虹的强度分布。 展开更多
关键词 物理光学 粒度测量 分层柱 彩虹 梯度折射率聚合物光纤
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米氏理论的近似及在粒度测量中的应用 被引量:24
8
作者 徐峰 蔡小舒 沈嘉祺 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第12期1464-1469,共6页
将夫琅禾费衍射理论与几何散射 (包括折射和反射 )相结合 ,给出平行光入射下圆形颗粒在前向大角度范围内的散射光强分布近似算法。由于考虑了衍射、折射和反射相互间的干涉效应和颗粒对光的吸收性 ,对于正常或非正常衍射状态下无因次参... 将夫琅禾费衍射理论与几何散射 (包括折射和反射 )相结合 ,给出平行光入射下圆形颗粒在前向大角度范围内的散射光强分布近似算法。由于考虑了衍射、折射和反射相互间的干涉效应和颗粒对光的吸收性 ,对于正常或非正常衍射状态下无因次参量α≥ 40的耗散颗粒 ,在前向 0°~ 60°散射之内 ,该方法对散射光强计算结果与米氏理论结果是吻合的。由于计算速度比米氏理论快 ,有效角度范围比夫琅禾费衍射理论宽 ,因而适合于大颗粒的前向光强计算。将这一计算方法应用到大角度采光时的激光粒度测量实验中 。 展开更多
关键词 物理光学 散射测粒 非正常衍射 夫琅禾费衍射理论 几何散射 无因次参量 米氏理论 吸收性
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颗粒层状结构对散射特性及激光粒度测量的影响 被引量:2
9
作者 李俊峰 丁岳伟 +1 位作者 徐峰 蔡小舒 《中国粉体技术》 CAS 2004年第2期1-3,共3页
根据Aden-Kerker理论,对双层颗粒前向散射特性进行了研究。在此基础上,分别用衍射理论、Mie理论和Aden-Kerker理论计算了散射系数矩阵并采用非独立模式算法进行反演。数值计算结果表明,双层颗粒的散射光强由颗粒折射率和内外径决定,在... 根据Aden-Kerker理论,对双层颗粒前向散射特性进行了研究。在此基础上,分别用衍射理论、Mie理论和Aden-Kerker理论计算了散射系数矩阵并采用非独立模式算法进行反演。数值计算结果表明,双层颗粒的散射光强由颗粒折射率和内外径决定,在实际的激光前向散射粒度测量中,如果沿用Fraunhofer衍射理论或Mie理论计算系数矩阵,在测量双层颗粒时,反演结果会有一定的误差。相比于Mie理论,衍射理论的反演误差更大。 展开更多
关键词 光学 激光测粒 Aden—Kerker理论 MIE理论 衍射理论
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消光测粒反演方法的正则化参数优化 被引量:2
10
作者 苏明旭 董黎丽 +2 位作者 蔡小舒 徐峰 任宽芳 《过程工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第z2期364-367,共4页
独立模式反演算法求解消光法颗粒粒径测量中病态反演问题,参数优化非常关键.研究了GCV准则和L曲线准则的参数优化性能,通过数值模拟和实测数据验证,讨论了上述准则在消光法测粒反演中的应用.表明它们均具有一定的数据误差自适应能力.结... 独立模式反演算法求解消光法颗粒粒径测量中病态反演问题,参数优化非常关键.研究了GCV准则和L曲线准则的参数优化性能,通过数值模拟和实测数据验证,讨论了上述准则在消光法测粒反演中的应用.表明它们均具有一定的数据误差自适应能力.结合Twomey-NNLS算法,对单峰分布颗粒系给出合理的反演结果. 展开更多
关键词 应用光学 光散射 颗粒测量 反演算法 最优化
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光检测器参数对相位-多普勒粒子分析系统特性的影响
11
作者 彭涛 沈熊 《实验力学》 CSCD 北大核心 2001年第2期171-179,共9页
应用几何光学近似理论模型计算了激光相位多普勒系统中微粒的光散射特性 .得到了散射光强与粒径关系、检测器表面的散射光强分布。
关键词 相位-多普勒方法 几何光学模型 激光测速 粒径测量 二相流 光检测器
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拖曳效应对低相干动态光散射测量粒径的影响 被引量:7
12
作者 夏辉 陈智全 +4 位作者 李富石 林旭 肖元元 黄昊 李青林 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第8期2257-2261,共5页
低相干动态光散射技术利用低相干干涉计的特性,有效抑制了从浓悬浮液中散射的多次散射光,从而能够检测到的单散射光信号中获取颗粒的动态信息。该技术以单散射理论为解析基础,为避免多重散射的影响,测量区域一般局限于固-液界面附近。... 低相干动态光散射技术利用低相干干涉计的特性,有效抑制了从浓悬浮液中散射的多次散射光,从而能够检测到的单散射光信号中获取颗粒的动态信息。该技术以单散射理论为解析基础,为避免多重散射的影响,测量区域一般局限于固-液界面附近。分析了固-液界面附近壁的拖曳效应对粒径测量值的影响。利用相位调制低相干动态光散射装置,对体积分数为10%的不同粒径的标准聚苯乙烯溶液进行了检测。通过对结果考虑拖曳效应进行修正,发现不同粒径的粒子在界面附近10~30μm范围内的测量值与给定粒径值标准偏差在5%以内。表明在低相干动态光散射光程可分割测量中,考虑拖曳效应的影响,可以对固-液界面附近的测量结果通过修正并得到准确的颗粒大小信息。 展开更多
关键词 光学测量 粒子大小 低相干动态光散射 单散射 拖曳效应 悬浮液
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基于二阶滤波器的消光起伏谱颗粒测量结果 被引量:5
13
作者 许亚敏 于彬 +1 位作者 刘蕾 沈建琪 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期1495-1500,共6页
消光起伏频谱法是一种新的测量两相流系统中颗粒粒径分布和浓度的方法,装置简单,操作方便,适合实时、在线测量。采用二阶低通滤波器对起伏的透射率信号分析,得到消光起伏频谱实验数据,并利用改进的Chahine循环方法计算得到颗粒的粒径分... 消光起伏频谱法是一种新的测量两相流系统中颗粒粒径分布和浓度的方法,装置简单,操作方便,适合实时、在线测量。采用二阶低通滤波器对起伏的透射率信号分析,得到消光起伏频谱实验数据,并利用改进的Chahine循环方法计算得到颗粒的粒径分布和浓度信息。重点讨论高浓度情况,包括对特征函数频率响应的修正和对其阶高修正两个方面,得到修正参量并运用到反演算法中从而得到正确的测量结果。测量结果表明,通过高浓度修正,消光起伏频谱法可以在很大的颗粒浓度动态范围得到合理的测量结果,其可测颗粒最大体积分数视颗粒的大小而定。 展开更多
关键词 光学计量 消光起伏频谱法 反演算法 高浓度修正 颗粒测量
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应用光学显微镜制作浆纱数码照片的方法 被引量:3
14
作者 武海良 刘登科 裴建平 《棉纺织技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第12期43-45,共3页
为利用现有试验条件快速分析浆纱质量,探索了应用光学显微镜制作浆纱截面及纵向照片的方法。采用在光学显微镜上配置摄像头并与计算机连线的方法,实现了在光学显微镜上拍摄数码照片的功能。在计算机上安装摄像头驱动、photoshop程序,并... 为利用现有试验条件快速分析浆纱质量,探索了应用光学显微镜制作浆纱截面及纵向照片的方法。采用在光学显微镜上配置摄像头并与计算机连线的方法,实现了在光学显微镜上拍摄数码照片的功能。在计算机上安装摄像头驱动、photoshop程序,并设置好格式即可完成拍摄、编辑、保存图片的操作。所拍摄的浆纱切片及浆纱毛羽图片画面清晰,操作快捷方便。 展开更多
关键词 光学显微镜 摄像头 数码照片 程序 浆纱质量
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基于带通滤波器的透射率起伏信号频谱特征 被引量:3
15
作者 许亚敏 沈建琪 蔡小舒 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第11期3184-3190,共7页
透射率起伏频谱测粒技术是根据透射光起伏信号的频谱特征发展起来的一种新的颗粒测量方法,可用于实时在线测量。研究基于一阶带通滤波器的透射率起伏信号的频谱特征,重点分析带通滤波器带宽因子对透射率起伏频谱及其反演结果的影响。同... 透射率起伏频谱测粒技术是根据透射光起伏信号的频谱特征发展起来的一种新的颗粒测量方法,可用于实时在线测量。研究基于一阶带通滤波器的透射率起伏信号的频谱特征,重点分析带通滤波器带宽因子对透射率起伏频谱及其反演结果的影响。同时还考虑了无因次光束直径对透射率频谱的影响。结果表明选择较小的带宽因子α有利于提高测量结果的颗粒粒径分辨率,但是带宽因子α过小会降低透射率起伏频谱的强度从而导致测量产生误差;反之,选择较大的带宽因子α有利于获得较强的透射率起伏频谱信号,但是带宽因子α过大会降低测量结果的颗粒粒径分辨率。 展开更多
关键词 光学测量 频谱特征 透射率起伏频谱法 带通滤波器 颗粒测量
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透过率起伏光谱分析法测粒技术
16
作者 沈建琪 王乃宁 蔡小舒 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期383-388,共6页
提出的透过率起伏光谱分析法是一种新的颗粒测量方法。采用一细小光束照射匀速流动的颗粒系统,通过采集透射光起伏信号,经统计处理得到透过率的平均值与起伏谱。通过求解逆问题,从透过率的起伏谱中得到颗粒粒径分布信息,再结合透过... 提出的透过率起伏光谱分析法是一种新的颗粒测量方法。采用一细小光束照射匀速流动的颗粒系统,通过采集透射光起伏信号,经统计处理得到透过率的平均值与起伏谱。通过求解逆问题,从透过率的起伏谱中得到颗粒粒径分布信息,再结合透过率的平均值得到颗粒的体积分数信息。给出了关于单层颗粒透过率的平均值与起伏谱的理论表达式,并推广到三维单分散和多分散的颗粒系统。对粒径在32~425μm内的稀薄颗粒系进行了部分实验测试和模拟计算,结果表明该方法可同时对颗粒粒径分布和体积分数进行有效测量。 展开更多
关键词 光学测量 测粒 透过率起伏光谱 谱分析 颗粒粒径分布和体积分数
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光源的偏振态对动态光散射颗粒测量结果的影响 被引量:10
17
作者 杨晖 郑刚 +1 位作者 王雅静 吴明华 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期50-52,共3页
研究了在动态光散射纳米颗粒测量中,光源的偏振态对测量结果的影响。采用了粒径为100nm、体积浓度为0.5%的标准颗粒作为样品,使He-Ne激光通过起偏器得到0°~180°方向的偏振光,测量了散射光强、偏振度和粒径测量值的变化,计算... 研究了在动态光散射纳米颗粒测量中,光源的偏振态对测量结果的影响。采用了粒径为100nm、体积浓度为0.5%的标准颗粒作为样品,使He-Ne激光通过起偏器得到0°~180°方向的偏振光,测量了散射光强、偏振度和粒径测量值的变化,计算了相应的粒径均值偏差和标准差,并将这一结果与无偏振He-Ne激光入射进行了比较。结果表明,当入射光为线偏振光时,偏振方向垂直于散射面时测量效果最好;另一方面,由于颗粒系散射迭加造成的散射光偏振度降低,使线偏振光源与无偏振光源产生的散射光偏振度无明显差别,证明在测量中可以使用无偏振He-Ne激光代替。 展开更多
关键词 光学测量 纳米颗粒测量 动态光散射 偏振
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基于偏振门的动态光散射颗粒测量法的研究 被引量:6
18
作者 杨晖 郑刚 +1 位作者 张荣福 蓝科 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期415-419,共5页
为了解决动态光散射纳米颗粒测量技术无法测量高浓度颗粒粒径的难题,提出了一种基于偏振门的动态光散射测量法。从动态光散射和Mie理论出发,理论分析了在高浓度溶液下多重散射效应对散射光偏振态和颗粒粒度测量结果的影响。根据散射光... 为了解决动态光散射纳米颗粒测量技术无法测量高浓度颗粒粒径的难题,提出了一种基于偏振门的动态光散射测量法。从动态光散射和Mie理论出发,理论分析了在高浓度溶液下多重散射效应对散射光偏振态和颗粒粒度测量结果的影响。根据散射光偏振特点,结合偏振门检测技术,改进了传统的动态光散射光学系统。实验研究了在低浓度和高浓度溶液时,不同偏振角度下的散射光强和粒度测量值,完善了散射光的偏振理论。采用90°偏振门检偏,通过各种浓度下的实验,证明了方法的可行性。该方法较之目前同类方法具有原理和结构简单,系统易于维护的特点。 展开更多
关键词 光学测量 纳米颗粒测量 动态光散射 偏振光
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基于单粒子光学传感技术的光阻法用于脂肪乳注射液大于5μm的尾部大粒子控制 被引量:3
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作者 董武军 李琳 +2 位作者 彭洁 夏学军 刘玉玲 《药物分析杂志》 CAS CSCD 北大核心 2014年第12期2225-2228,共4页
目的:建立基于单粒子光学传感技术的光阻法(LE/SPOS法),对脂肪乳静脉注射液中乳滴粒径大于5μm的尾部大粒子进行准确控制。方法:采用EXT模式(1.8-50μm),稀释流速60 m L·min-1,目标粒子数2000个·m L^-1,进样量0.98 m L... 目的:建立基于单粒子光学传感技术的光阻法(LE/SPOS法),对脂肪乳静脉注射液中乳滴粒径大于5μm的尾部大粒子进行准确控制。方法:采用EXT模式(1.8-50μm),稀释流速60 m L·min-1,目标粒子数2000个·m L^-1,进样量0.98 m L,对仪器校正和检定后,分别对系统适用性、样品测定的精密度和中间精密度、回收率等方法学进行系统考察,并对多批乳剂样品进行检测。结果:5、10、25μm标准粒子测得的粒径大小和颗粒数均在标称值6%以内;不同PFAT5水平的脂肪乳样品测定的RSD≤5%,2台仪器测定的RSD〈10%,低、中、高3个PFAT5水平的5μm标准粒子平均回收率为100.5%,RSD〈2.0%(n=6);8批乳剂样品PFAT5测得值在0.010%-0.066%。结论:建立的光阻法操作简便,符合方法学考察要求,能够对脂肪乳静脉注射液中的PFAT5进行准确定量。 展开更多
关键词 脂肪乳注射液 乳滴粒径 光阻法 单粒子光学传感技术 LE/SPOS 大于5μm的尾部大粒子 PFAT5
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掩模涨缩技术在衍射光学元件制作中的应用 被引量:1
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作者 张鹏 李嘉 丁鼎 《电子与封装》 2020年第8期62-66,共5页
衍射光学元件是指功能结构尺寸在微米、纳米量级的光学元器件,如何大规模批量制作光学元件是目前研究的重要问题。首先介绍了半导体器件的制作工艺及其应用在衍射光学元件制作上的可行性,分析了感应耦合等离子体(ICP)刻蚀技术用于衍射... 衍射光学元件是指功能结构尺寸在微米、纳米量级的光学元器件,如何大规模批量制作光学元件是目前研究的重要问题。首先介绍了半导体器件的制作工艺及其应用在衍射光学元件制作上的可行性,分析了感应耦合等离子体(ICP)刻蚀技术用于衍射光学器件制作的反应机理。研究了掩模数据处理中的涨缩技术,将该技术引入衍射光学元件制作中并制作了掩模版。最后,使用经过数据涨缩处理后的掩模版制作微光器件,与未经过数据涨缩处理的掩模版制作的衍射光学元件进行对比。结果表明,使用相同工艺制作,衍射光学元件数据处理过程中引入涨缩技术不仅可以有效提高刻蚀深度的精度,还可以明显降低衍射零级能量。 展开更多
关键词 衍射光学元件 感应耦合等离子体刻蚀技术 涨缩技术 零级光能量
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