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光学材料研磨亚表面损伤的快速检测及其影响规律 被引量:33
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作者 王卓 吴宇列 +2 位作者 戴一帆 李圣怡 周旭升 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期16-21,共6页
提出了一种光学材料研磨亚表面损伤的非破坏性快速检测方法。基于印压断裂力学理论建立了亚表面损伤深度与表面粗糙度的关系模型。使用磁流变抛光斑点技术测量了K9玻璃在不同研磨条件下的亚表面损伤深度,并验证了上述模型。最后,分析了... 提出了一种光学材料研磨亚表面损伤的非破坏性快速检测方法。基于印压断裂力学理论建立了亚表面损伤深度与表面粗糙度的关系模型。使用磁流变抛光斑点技术测量了K9玻璃在不同研磨条件下的亚表面损伤深度,并验证了上述模型。最后,分析了研磨加工参数对亚表面损伤深度的影响规律,提出了高效率的研磨加工策略。研究表明:光学材料研磨后亚表面损伤深度与表面粗糙度成单调递增的非线性关系,即SSD^SR4/3。磨粒粒度对亚表面损伤深度的影响最显著,研磨盘硬度的影响次之,而研磨压力和研磨盘公转速度的影响基本可以忽略。利用建立的亚表面损伤深度与表面粗糙度间的关系模型能够实现亚表面损伤深度的快速、准确和非破坏性检测。 展开更多
关键词 光学材料 研磨 磁流变抛光 光学检验 亚表面损伤
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用双计算全息图检测凹非球面 被引量:26
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作者 谢意 陈强 +3 位作者 伍凡 侯溪 张晶 吴高峰 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期1313-1317,共5页
为实现对凹非球面的高精度检测,提出并设计了一种二元纯相位型双计算全息图。设计的双计算全息图由主全息和对准全息两部分组成,分别用于检测非球面和精确定位主全息。介绍了双计算全息图的工作原理及其设计方法,并给出了一个检测Φ140... 为实现对凹非球面的高精度检测,提出并设计了一种二元纯相位型双计算全息图。设计的双计算全息图由主全息和对准全息两部分组成,分别用于检测非球面和精确定位主全息。介绍了双计算全息图的工作原理及其设计方法,并给出了一个检测Φ140、F/2抛物面反射镜的双计算全息图设计实例,实验得到的均方根(RMS)误差为0.062λ。通过分析对准全息的误差,推导出主全息的条纹位置畸变误差,最后计算出其综合误差为0.06λ。为验证实验结果的可靠性,将其与平面镜自准直检测结果(ERMS=0.062λ)比较,结果二者吻合良好。 展开更多
关键词 光学测量 凹非球面 计算全息图 零位检验 自准直检验
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可调谐激光波长调制技术检测氧气浓度 被引量:26
3
作者 崔厚欣 齐汝宾 +1 位作者 陈文亮 徐可欣 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期1558-1562,共5页
为了克服传统方法检测氧气浓度的一些弊端,提出了一种采用可调谐激光二极管吸收光谱法结合锁相放大的检测技术。通过改变激光二极管的驱动电流使输出波长变化扫描通过氧气的吸收峰,然后利用锁相放大技术对吸收光谱的谐波进行检测分析。... 为了克服传统方法检测氧气浓度的一些弊端,提出了一种采用可调谐激光二极管吸收光谱法结合锁相放大的检测技术。通过改变激光二极管的驱动电流使输出波长变化扫描通过氧气的吸收峰,然后利用锁相放大技术对吸收光谱的谐波进行检测分析。利用半导体激光能量高、单色性好、输出波长可随电流调制的特点和锁相放大检测微弱信号的优势来提高信噪比与检测精度。对不同浓度的氧气进行了实际检测,可得检测线性相关系数为0.99.检测极限质量浓度为1142.86 mg/m^3,且该方法具有较好的稳定性及抗干扰性。 展开更多
关键词 光学柃测 可调谐激光 锁相 氧气 波长调制
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光学薄膜常数的测试与分析 被引量:25
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作者 季一勤 刘华松 张艳敏 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2006年第5期513-518,共6页
光学薄膜常数—折射率、消光系数和膜层厚度是光学薄膜制备的基础,通过透射光谱法测试计算得到的薄膜常数具有较高的精度。Ta2O5是一种常用的氧化物薄膜,研究了两种透射光谱法计算光学薄膜常数的精度,利用Lambda900分光光度计获得了Ta2O... 光学薄膜常数—折射率、消光系数和膜层厚度是光学薄膜制备的基础,通过透射光谱法测试计算得到的薄膜常数具有较高的精度。Ta2O5是一种常用的氧化物薄膜,研究了两种透射光谱法计算光学薄膜常数的精度,利用Lambda900分光光度计获得了Ta2O5薄膜样品的透过率光谱数据,采用透射光谱包络线法对单层Ta2O5薄膜样品的光学常数进行计算,得到的折射率和消光系数较为准确,并且认为所得到的消光系数为广义消光系数,对精确地测试、计算提出了建议,为不同薄膜样品的制备奠定了技术基础。 展开更多
关键词 光学常数 测试分析 透射光谱 拟合
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大口径光学平面的子孔径拼接检验研究 被引量:22
5
作者 李新南 张明意 《光学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期514-517,共4页
研究了检测大口径光学平面的子孔径拼接法。通过采用最小二乘法对相邻两个子孔径重叠区域的数据进行分析,获得了子孔径之间的拼接参量,得到了被检验镜面的整体面形信息。编制了拼接检验的计算程序,并完成了原理性实验。采用一台口径为10... 研究了检测大口径光学平面的子孔径拼接法。通过采用最小二乘法对相邻两个子孔径重叠区域的数据进行分析,获得了子孔径之间的拼接参量,得到了被检验镜面的整体面形信息。编制了拼接检验的计算程序,并完成了原理性实验。采用一台口径为100mm的移相干涉仪检测了两个样品,给出了拼接检测与全口径检测的对比结果。样品的口径分别为100mm和91mm。对比检测结果表明,拼接检测与直接检测两种方法的RMS之差小于5nm。 展开更多
关键词 大口径光学平面 子孔径拼接 光学检测
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Distributed Fiber Optic Monitoring and Stability Analysis of a Model Slope under Surcharge Loading 被引量:23
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作者 ZHU Hong-Hu SHI Bin +2 位作者 ZHANG Jie YAN Jun-Fan ZHANG Cheng-Cheng 《Journal of Mountain Science》 SCIE CSCD 2014年第4期979-989,共11页
In the discipline of geotechnical engineering, fiber optic sensor based distributed monitoring has played an increasingly important role over the past few decades. Compared with conventional sensors, fiber optic senso... In the discipline of geotechnical engineering, fiber optic sensor based distributed monitoring has played an increasingly important role over the past few decades. Compared with conventional sensors, fiber optic sensors have a variety of exclusive advantages, such as smaller size, higher precision, and better corrosion resistance. These innovative monitoring technologies have been successfully applied for performance monitoring of geo-structures and early warning of potential geo- hazards around the world. In order to investigate their ability to monitor slope stability problems, a medium-sized model of soil nailed slope has been constructed in laboratory. The fully distributed Brillouin optical time-domain analysis (BOTDA) sensing technology was employed to measure the horizontal strain distributions inside the model slope. During model construction, a specially designed strain sensing fiber was buried in the soil mass. Afterward, the surcharge loading was applied on the slope crest in stages using hydraulic jacks and a reaction frame. During testing, an NBX-6o5o BOTDA sensing interrogator was used to collect the fiber optic sensing data. The test results have been analyzed in detail, which shows that the fiber optic sensors can capture the progressive deformation and failure pattern of the model slope. The limit equilibrium analyses were also conducted to obtain the factors ofsafety of the slope under different surface loadings. It is found that the characteristic maximum strains can reflect the stability of the model slope and an empirical relationship was obtained, This study verified the effectiveness of the distributed BOTDA sensing technology in performance monitoring of slope. 展开更多
关键词 Slope stability Geotechnical monitoring Fiber optic sensor Distributed strain sensing Brillouin optical time-domain analysis (BOTDA) Model test
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多光谱光学系统光轴平行性组合测试装置 被引量:17
7
作者 詹启海 常本康 富容国 《应用光学》 CAS CSCD 2005年第5期4-6,共3页
介绍一种激光、白光和热像仪(或微光)三光合一观测仪器的捆绑式新型组合测试装置及其测试原理,并详细叙述了用该装置测试“三光”光轴平行性的过程和注意事项。该装置十字分划线的设计未采用常规的玻璃刻线工艺,而是选取电阻率较高的钨... 介绍一种激光、白光和热像仪(或微光)三光合一观测仪器的捆绑式新型组合测试装置及其测试原理,并详细叙述了用该装置测试“三光”光轴平行性的过程和注意事项。该装置十字分划线的设计未采用常规的玻璃刻线工艺,而是选取电阻率较高的钨丝制成十字分划线,并在分划线的两端焊上电极,避免了测试时由于更换十字分划线靶标而可能产生的误差。该装置通过对观测仪器光轴平行性的检测和调试,为精确调校提供了依据,从而使3种光学系统的光轴平行性达到所需精度要求,对保证观瞄及测距的方向一致性起到了准确指示的作用。 展开更多
关键词 读数装置 光轴 测试装置 光学系统
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大口径空间反射镜Cartwheel型柔性支撑设计 被引量:21
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作者 李宗轩 陈雪 +4 位作者 张雷 金光 张元 贾学志 孔林 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第6期210-218,共9页
针对同轴三反式空间光学遥感器对大口径主反射镜组件的高刚度、高强度、高热稳定性等特殊要求,提出一种基于Cartwheel型双轴柔铰的三点柔性支撑结构。首先利用无量纲方法研究了单个柔性支撑的柔度特性,然后利用有限元方法对反射镜组件... 针对同轴三反式空间光学遥感器对大口径主反射镜组件的高刚度、高强度、高热稳定性等特殊要求,提出一种基于Cartwheel型双轴柔铰的三点柔性支撑结构。首先利用无量纲方法研究了单个柔性支撑的柔度特性,然后利用有限元方法对反射镜组件的静力学、动力学与热特性进行灵敏度分析,确定了支撑结构中柔性环节的几何尺寸参数,并进行了有限元数值仿真。最后,利用面形值为λ/40均方根(RMS)的非球面镜进行了反射镜组件面形检测实验并利用等效球面镜组件进行了动力学实验。仿真与实验结果表明:当柔性环节尺寸为:壁厚t=8mm,直梁高度h=4mm,直梁长度L=8mm时,在正交三向自重与15℃稳态温升作用下,反射镜面形精度RMS小于12nm;反射镜组件一阶固有频率实验值为296Hz,与仿真结果相差6%,能够满足使用要求。 展开更多
关键词 光学器件 反射镜支撑 Cartwheel铰链 无量纲方法 有限元方法 动力学实验
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新型透明黏土制配及其物理力学特性研究 被引量:18
9
作者 孔纲强 周杨 +2 位作者 刘汉龙 王成青 文磊 《岩土工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第12期2208-2214,共7页
基于人工合成透明土材料和PIV技术的可视化模型试验方法是重要的岩土工程测试手段之一,然而,目前已有透明土材料中针对模拟天然黏土的材料仍相对较少。提出以Carbopol Ultrez10聚合物(简称U10)、NaOH粉末和纯净水为原材料,碳纳米材料掺... 基于人工合成透明土材料和PIV技术的可视化模型试验方法是重要的岩土工程测试手段之一,然而,目前已有透明土材料中针对模拟天然黏土的材料仍相对较少。提出以Carbopol Ultrez10聚合物(简称U10)、NaOH粉末和纯净水为原材料,碳纳米材料掺入作为示踪粒子制成散斑场,制配一种新型透明黏土材料的技术方案与操作方法。基于调制传递函数(MTF)方法,对新型透明黏土材料的光学透明性进行量化分析,并与已有透明土材料的光学透明性进行对比分析,验证其优越性。基于微型十字板剪切试验、压缩固结试验、渗透试验及热传导试验等室内试验方法,对新型透明黏土材料的物理力学特性进行系统研究,探讨其模拟天然黏土的可行性。研究结果表明:新型透明黏土材料的光学透明厚度可达25~40cm,较目前已有常规透明土材料的光学透明厚度提高约2~3倍;新型材料表现为中低灵敏性黏土、强度随时间明显增加,强度、压缩固结特性与天然淤泥(尤其是海相淤泥)或泥炭土的性质相近,渗透系数为2×10^-7~7×10^-7cm/s,热传导系数为0.62~0.71W·M^-1·K^-1。 展开更多
关键词 透明黏土 CARBOPOL Ultrez10 光学透明性 室内试验 物理力学特性
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弹丸膛内姿态与纵向运动测试与分析 被引量:15
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作者 陆文广 芮筱亭 +1 位作者 顾金良 陆毓麒 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期149-153,共5页
弹丸发射过程中在膛内发生剧烈的摆动并产生巨大的横向过载,有时甚至能达到纵向过载的2倍多,对引信机构运动产生不容忽视的影响,然而由于身管的遮蔽,使得测试弹丸膛内运动变得极为困难。提出了弹丸膛内姿态与纵向运动联合测试方法,成功... 弹丸发射过程中在膛内发生剧烈的摆动并产生巨大的横向过载,有时甚至能达到纵向过载的2倍多,对引信机构运动产生不容忽视的影响,然而由于身管的遮蔽,使得测试弹丸膛内运动变得极为困难。提出了弹丸膛内姿态与纵向运动联合测试方法,成功地进行了试验,并对频谱分布和时频特性进行分析,为引信设计和故障分析提供了测试手段和分析工具。 展开更多
关键词 仪器仪表技术 弹丸 引信 光学杠杆 姿态测试 小波分析 傅立叶变换
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Ф420mm高次非球面透镜的加工与检测 被引量:16
11
作者 孟晓辉 王永刚 +2 位作者 李文卿 王聪 张继友 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第12期3068-3075,共8页
介绍了Ф420mm熔石英高次非球面透镜的加工与检测方法。对现有数控加工工艺进行了优化,通过分工序加工方式,依次采用机器人研磨、抛光和离子束修形技术完成了透镜的加工。进行非球面透镜检测时,考虑透镜的凹面为球面,利用球面波干涉仪... 介绍了Ф420mm熔石英高次非球面透镜的加工与检测方法。对现有数控加工工艺进行了优化,通过分工序加工方式,依次采用机器人研磨、抛光和离子束修形技术完成了透镜的加工。进行非球面透镜检测时,考虑透镜的凹面为球面,利用球面波干涉仪对其面形进行了直接检测,剔除干涉仪标准镜镜头参考面误差后,透镜凹面的精度达到0.011λ-RMS;针对透镜的凸面为高次非球面,采用基于背后反射自准法的零位补偿技术对其进行面形检测,其精度达到0.013λ-RMS。最后,采用一块高精度标准球面镜对加工后透镜的透射波前进行了自消球差检测,得到其波前误差为0.013λ-RMS。试验结果表明,非球面透镜各项技术指标均满足设计要求。所述工艺方法亦适用于更大口径的非球面透镜及其他类型非球面光学元件的高精度加工. 展开更多
关键词 非球面透镜 光学加工 透镜加工 透镜检测 零位补偿 面形精度
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光纤接入网中的光收发一体模块 被引量:9
12
作者 殷爱菡 《光通信技术》 CSCD 北大核心 2004年第7期54-57,共4页
接入网已成为通信网进一步发展的瓶颈,光纤宽带接入将成为趋势。光收发一体模块是光纤接入网中不可缺少的核心部件。介绍了光收发模块的结构原理、关键技术、LD/PD组件、光纤耦合及封装工艺等。结合光模块测试系统和方法,给出作者所做... 接入网已成为通信网进一步发展的瓶颈,光纤宽带接入将成为趋势。光收发一体模块是光纤接入网中不可缺少的核心部件。介绍了光收发模块的结构原理、关键技术、LD/PD组件、光纤耦合及封装工艺等。结合光模块测试系统和方法,给出作者所做课题研制的1.25G光模块测试结果,最后对光收发模块的发展方向进行讨论。 展开更多
关键词 光收发模块 接入网 光耦合 测试
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子孔径拼接干涉测量的精度估计方法 被引量:15
13
作者 陈善勇 戴一帆 +1 位作者 解旭辉 丁凌艳 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期883-888,共6页
作为一种高精度的光学镜面测量方法,子孔径拼接干涉测量的精度指标十分重要,必须对其进行定量估计。提出将子孔径拼接干涉的结果与全口径测试结果进行对比实验,将全口径测试结果作为拼接测量结果的参考真值,讨论了拼接测量精度评价指标... 作为一种高精度的光学镜面测量方法,子孔径拼接干涉测量的精度指标十分重要,必须对其进行定量估计。提出将子孔径拼接干涉的结果与全口径测试结果进行对比实验,将全口径测试结果作为拼接测量结果的参考真值,讨论了拼接测量精度评价指标及其计算方法。全口径测试与子孔径拼接干涉测量的几何参量并不相同,提出将全口径测试结果与子孔径拼接结果进行最优匹配,其原理与子孔径拼接算法的原理相同。在最优匹配后计算拼接测量精度的评价指标,通过测量实验进行了验证,结果表明最优匹配后的误差指标比未经最优匹配的误差指标减小约48%,证明上述方法是一种定量估计子孔径拼接干涉测量精度的有效方法。 展开更多
关键词 光学测量 子孔径拼接 干涉测量 不确定度 对比实验
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种子活力光学无损检测技术研究进展 被引量:15
14
作者 袁俊 郑雯 +5 位作者 祁亨年 高璐 胡晓军 赵光武 施俊生 贾良权 《作物杂志》 CAS 北大核心 2020年第5期9-16,共8页
种子活力检测是种子检测中的重要一环,国际种子检验协会建议的检测方法主要有标准发芽实验法、TTC染色法、电导率测定和加速老化试验等方法。这些检测方法具有检测结果显示直观、测量准确等优点,但也存在对种子有破坏作用、检测过程复... 种子活力检测是种子检测中的重要一环,国际种子检验协会建议的检测方法主要有标准发芽实验法、TTC染色法、电导率测定和加速老化试验等方法。这些检测方法具有检测结果显示直观、测量准确等优点,但也存在对种子有破坏作用、检测过程复杂和耗时耗力等缺点。随着现代免耕直播技术的发展,对种子活力的检测在速度和无损性方面提出了更高的要求,而传统方法难以实现快速无损检测目标。基于光学技术的种子活力检测方法具有效率高、无损的特点,近年来得到了国内外相关学者的关注。本文对光学技术在种子活力检测上的应用进行了综述,介绍了X光、近红外光谱、高光谱、光声光谱、可调谐半导体激光吸收光谱和色选技术等光学技术在种子活力检测中的研究,并对光学技术在种子活力检测的前景进行了展望。 展开更多
关键词 种子活力 光学检测 无损
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30m望远镜三镜镜面面形误差的斜率均方根评价 被引量:14
15
作者 王富国 安其昌 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期1171-1175,共5页
由于传统的均方根方法在评价大口径反射镜时难以精确表达光学表面的中空间频率误差,本文提出了基于斜率均方根(SlopeRms)的误差评价方法来评价光学表面面形。该方法先以Zernike多项式拟合光学表面面形,在此基础上求解不同空间间隔上的... 由于传统的均方根方法在评价大口径反射镜时难以精确表达光学表面的中空间频率误差,本文提出了基于斜率均方根(SlopeRms)的误差评价方法来评价光学表面面形。该方法先以Zernike多项式拟合光学表面面形,在此基础上求解不同空间间隔上的斜率均方根。这种评价方法可以很好地区分小尺寸磨削工具造成的误差和大口径反射镜在多点支撑下造成的面形误差。文中建立了SlopeRms的数学模型,推导了SlopeRms的计算方法,并以此方法为基础对30m望远镜(TMT)三镜面形进行了评价。结果显示,采用斜率均方根的评价方法得到的光学表面面形值达到0.9μrad,优于传统的RMS评价方法(RMS=115nm),满足设计要求。结果显示,基于斜率均方根的误差评价方法能更加全面和客观地评价大口径反射镜面形,具有实际意义。 展开更多
关键词 光学检测 30m望远镜 表面面形 面形误差 斜率均方根 均方根
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大型光学系统径向哈特曼像质检测方法 被引量:13
16
作者 汤国茂 何玉梅 廖周 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期795-799,共5页
介绍了一种新的基于径向波前斜率的哈特曼检测方法及原理,并重点介绍了采用该方法和技术研制的800 mm口径的径向哈特曼像质检测实验系统的组成及结构,以及利用该系统对700 mm光学系统像质检测的实验结果。研究表明,在没有昂贵的大口径... 介绍了一种新的基于径向波前斜率的哈特曼检测方法及原理,并重点介绍了采用该方法和技术研制的800 mm口径的径向哈特曼像质检测实验系统的组成及结构,以及利用该系统对700 mm光学系统像质检测的实验结果。研究表明,在没有昂贵的大口径标准平面镜的情况下,用该方法在室内可实现大型望远镜系统的像质检测。 展开更多
关键词 测量 光学检测 波前传感器 哈特曼检测 大型望远镜
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谈谈光学检测的指导思想 被引量:9
17
作者 潘君骅 《光学与光电技术》 2004年第6期1-3,共3页
指导思想是指人们在做一件事之前,考虑要采取什么样的技术路线,使用怎样的工具和方法等等。人类经过长期的经验积累和理论研究,发展出许许多多测量方法和测试仪器、测量工具。计算机的出现和普及,使光学测试领域也发生了革命性的变化。... 指导思想是指人们在做一件事之前,考虑要采取什么样的技术路线,使用怎样的工具和方法等等。人类经过长期的经验积累和理论研究,发展出许许多多测量方法和测试仪器、测量工具。计算机的出现和普及,使光学测试领域也发生了革命性的变化。集光-机-电-算于一体的新的测试仪器和经典的仪器设备之间的取舍,往往是决策者不能回避的选择。世界上的事情是复杂的,有的事情,从这个角度看应该这样,而从另一个角度看也许应该那样。但是,不管用什么手段,又经济又能解决实际问题就是好手段。以制造一个 4m 镜面为例,谈谈个人的测试思路。 展开更多
关键词 光学检测 测量工具 抛物面 干涉仪 刀口检验
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光学自由曲面的检测方法 被引量:12
18
作者 张新 许英朝 《中国光学与应用光学》 2008年第1期92-99,共8页
针对自由曲面光学元件离轴像差小,应用广泛,但检测难度大,加工精度不够高等特点,对现行的自由曲面光学检测方法进行了分析。提出了在自由曲面光学元件的不同加工阶段宜采用不同的检测手段,根据加工的步骤依次采用三坐标机、轮廓仪、光... 针对自由曲面光学元件离轴像差小,应用广泛,但检测难度大,加工精度不够高等特点,对现行的自由曲面光学检测方法进行了分析。提出了在自由曲面光学元件的不同加工阶段宜采用不同的检测手段,根据加工的步骤依次采用三坐标机、轮廓仪、光学干涉测量等方法为好。介绍了子孔径拼接技术的发展,叙述了利用计算全息(CGH)和反射光栅摄影测量法检测光学自由曲面等两种有着良好发展前景的方法。最后,给出了利用CGH检测三次位相板的实例。 展开更多
关键词 光学检测 自由曲面 坐标测量 误差评定 计算全息
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大口径光学系统的镜面视宁度检测 被引量:11
19
作者 杨飞 安其昌 +3 位作者 张静 赵宏超 郭鹏 姜海波 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第10期2572-2579,共8页
为了保证大口径光学镜面加工检测的质量和效率,提出了提高大口径光学系统镜面视宁度检测精度的方法。利用电子自准直仪以及平面镜确定波前斜率,推导了基于斜率信息与镜面视宁度之间的关系。为了提高测量精度,突破单台自准直仪精度限制,... 为了保证大口径光学镜面加工检测的质量和效率,提出了提高大口径光学系统镜面视宁度检测精度的方法。利用电子自准直仪以及平面镜确定波前斜率,推导了基于斜率信息与镜面视宁度之间的关系。为了提高测量精度,突破单台自准直仪精度限制,采用三台自准直仪进行互标校。为了进一步降低误差,使用六自由度平台支撑立方反射体,使精度提高至0.01″量级。另外,结合频响函数的相关理论,估计得到了六自由度平台在检测环境下所引入的误差。最后,引入标准化点源敏感性(PSSn)对结果进行评价,并开展了数值仿真实验。针对模拟镜面视宁度,分别计算两个方向的斜率功率谱以及原始波前功率谱,然后利用之前给出的功率谱与PSSn之间的关系得到了两个方向的PSSn均为0.999。该镜面视宁度测量方法可以在模拟望远镜实际工况下,完成对于系统主镜视宁度的定量预测。 展开更多
关键词 光学检测 镜面视宁度 大口径光学系统 功率谱 自准直仪
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多表面干涉下的光学元件面形检测 被引量:11
20
作者 任寰 马力 +3 位作者 刘旭 何勇 郑万国 朱日宏 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第5期1144-1150,共7页
为了消除平行平板类光学元件的多表面干涉效应对元件面形测量的影响,提出了基于波长移相调谐技术与傅里叶变换原理的多表面干涉条纹检测技术。首先,根据波长移相原理和被测元件的厚度,按照推算出的被测腔长与元件厚度间的比例关系正确... 为了消除平行平板类光学元件的多表面干涉效应对元件面形测量的影响,提出了基于波长移相调谐技术与傅里叶变换原理的多表面干涉条纹检测技术。首先,根据波长移相原理和被测元件的厚度,按照推算出的被测腔长与元件厚度间的比例关系正确摆放被测元件的测试位置。然后,通过波长移相技术采集一组干涉图。最后,对这组多表面干涉图进行离散傅里叶变换,提取带有被测元件前后表面面形的频率信息以及厚度变化的频率信息,通过重构算法得到准确的面形信息和厚度信息。实验结果表明:与传统的13步移相算法相比,得到的前表面PV值和RMS值分别相差0.003和0.001,而后表面PV值与RMS值分别相差0和0.001。这些结果基本满足平行平板类光学元件面形的高精度测量与洁净测量的要求。 展开更多
关键词 光学元件 面形检测 多表面干涉检测 波长移相 平行平板 傅里叶变换
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