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光纤光栅技术的进展及其色散补偿 被引量:6
1
作者 秦子雄 杜卫冲 +2 位作者 廖常俊 刘颂豪 余重秀 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 1998年第3期150-157,166,共9页
光纤光栅在远程光通信系统中有着重要的现时和潜在的应用。文章介绍了制造具有复杂结构的光纤光栅的技术的最新进展以及它们在色散补偿中的应用,并指出了其发展趋势。
关键词 光纤 光纤光栅 相位掩模 色散
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新型光刻技术研究进展 被引量:16
2
作者 何立文 罗乐 +2 位作者 孟钢 邵景珍 方晓东 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2019年第1期30-37,共8页
集成电路光刻作为传统光刻技术的典型代表,支撑着集成电路芯片的快速发展。新一代光刻技术具有工艺多样化、光刻精度高、光刻效率高的优点,在研发新型光电子器件、实现3维微纳结构、构建有序纳米孔通道等方面有很大的潜力。回顾了近些... 集成电路光刻作为传统光刻技术的典型代表,支撑着集成电路芯片的快速发展。新一代光刻技术具有工艺多样化、光刻精度高、光刻效率高的优点,在研发新型光电子器件、实现3维微纳结构、构建有序纳米孔通道等方面有很大的潜力。回顾了近些年来涌现的多种新型光刻技术,分析了各自的特征及在新型纳米电子、光子器件、能源、传感等领域中的应用。对未来光刻技术的发展方向进行了展望。 展开更多
关键词 激光技术 光学制造 新型光刻技术 无掩模光刻 掩模光刻 微纳结构
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切趾光纤光栅技术及其研究进展 被引量:9
3
作者 洪从胜 徐新华 +2 位作者 吕昌贵 徐春祥 崔一平 《光电子技术与信息》 2002年第3期1-6,共6页
介绍了切趾光纤光栅的原理及特性,综述了切趾光纤光栅的制作方法,特别阐述了最新的几种制作方法。
关键词 光纤光栅 光学切趾 最佳包络 相位掩模板
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基于掩膜的光场采集与重建的研究 被引量:11
4
作者 刘永春 龚华军 沈春林 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第8期105-110,共6页
针对现有光场采集方式中存在的:相机阵列采集方式的硬件成本高,体积庞大;单相机分时采集光场局限采集静态光场;积分成像光场采集得到的光场空间分辨率低等问题。研究了一种基于掩膜(mask)的光场采集与重建方法。建立了光场采集模型,分... 针对现有光场采集方式中存在的:相机阵列采集方式的硬件成本高,体积庞大;单相机分时采集光场局限采集静态光场;积分成像光场采集得到的光场空间分辨率低等问题。研究了一种基于掩膜(mask)的光场采集与重建方法。建立了光场采集模型,分析了光场在傅里叶域的成像过程;采用了随机衰减掩膜mask对光场信号进行随机编码,得到了被编码的传感器图像;离线学习了过完备光场字典,结合压缩感知理论对编码的传感器图像进行了非线性优化,重新恢复了原始的光场。 展开更多
关键词 图像处理 光场 重建 非线性优化 光学掩膜
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极紫外投影光刻掩模阴影效应分析 被引量:8
5
作者 曹宇婷 王向朝 +1 位作者 步扬 刘晓雷 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第8期42-46,共5页
极紫外(EUV)投影光刻掩模在斜入射光照明条件下,掩模成像图形位置和成像图形特征尺寸(CD)都将随入射光方向变化,即存在掩模阴影效应。基于一个EUV掩模衍射简化模型实现了掩模阴影效应的理论分析和补偿,得到了掩模(物方)最佳焦面位置和... 极紫外(EUV)投影光刻掩模在斜入射光照明条件下,掩模成像图形位置和成像图形特征尺寸(CD)都将随入射光方向变化,即存在掩模阴影效应。基于一个EUV掩模衍射简化模型实现了掩模阴影效应的理论分析和补偿,得到了掩模(物方)最佳焦面位置和掩模图形尺寸校正量的计算公式。掩模(物方)焦面位置位于多层膜等效面上减小了图形位置偏移;基于理论公式对掩模图形尺寸进行校正,以目标CD为22nm的线条图形为例,入射光方向变化时成像图形尺寸偏差小于0.3nm,但当目标CD继续减小时理论公式误差增大,需进一步考虑掩模斜入射时整个成像光瞳内的能量损失和补偿。 展开更多
关键词 光学制造 极紫外投影光刻 掩模 阴影效应 严格电磁场仿真
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单一蒸发源膜厚分布的均匀性 被引量:7
6
作者 付秀华 赵迪 +2 位作者 卢成 马国俊 鲍刚华 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第12期417-421,共5页
基于非余弦膜厚计算公式,提出了利用极坐标简化表征膜厚分布的方法,对单源电子束蒸发的光学薄膜的膜厚均匀性控制进行了研究,同时对修正板的放置位置进行了计算。相对于传统修正板置于蒸发源正上方的方法,采用极坐标法计算得到的修正板... 基于非余弦膜厚计算公式,提出了利用极坐标简化表征膜厚分布的方法,对单源电子束蒸发的光学薄膜的膜厚均匀性控制进行了研究,同时对修正板的放置位置进行了计算。相对于传统修正板置于蒸发源正上方的方法,采用极坐标法计算得到的修正板位置更有利于控制膜厚分布的均匀性。以蒸发H4和MgF2为例,分别对高、低折射率材料的修正板位置和形状进行计算,并利用这两种材料分别制备单层膜,实测光谱均匀性偏差优于0.3%,证明了所提方法的正确性与可行性。 展开更多
关键词 薄膜 光学镀膜 膜厚均匀性 修正板
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点衍射干涉仪小孔掩模技术研究进展 被引量:5
7
作者 于长淞 向阳 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2013年第3期30-36,共7页
在点衍射干涉仪中小孔掩模的主要作用是通过衍射产生接近理想的球面波用于干涉测量,其直径、圆度及三维形貌对测量精度有决定性影响。介绍了小孔掩模的结构与作用原理,对小孔衍射电磁场仿真技术进行了分类比较。对国内外现有小孔掩模加... 在点衍射干涉仪中小孔掩模的主要作用是通过衍射产生接近理想的球面波用于干涉测量,其直径、圆度及三维形貌对测量精度有决定性影响。介绍了小孔掩模的结构与作用原理,对小孔衍射电磁场仿真技术进行了分类比较。对国内外现有小孔掩模加工技术的发展进行了归纳总结,阐述了聚焦离子束刻蚀、电子束曝光等加工技术的加工原理、加工精度及技术特点,指出了掩模对准精度对测量重复性的影响。分析了各种检测方法及存在的主要技术问题,并对小孔三维形貌的测量技术进行了展望。 展开更多
关键词 光学器件 小孔掩模 电磁场仿真 波像差
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聚合物阵列波导光栅复用器关键技术的研究 被引量:5
8
作者 赵禹 马春生 +5 位作者 张大明 陈开鑫 王菲 崔占臣 刘式墉 衣茂斌 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期417-420,共4页
介绍了阵列波导光栅 (AWG)复用器的工作原理 ;运用光栅衍射理论和马卡提里近似法 ,对中心波长为 1.5 5 μm ,波长间隔为 1.6nm的聚合物AWG进行参量设计 ,通过数值模拟验证了设计的正确性 用甲基丙烯酸甲酯类聚合物对AWG的制备工艺进行... 介绍了阵列波导光栅 (AWG)复用器的工作原理 ;运用光栅衍射理论和马卡提里近似法 ,对中心波长为 1.5 5 μm ,波长间隔为 1.6nm的聚合物AWG进行参量设计 ,通过数值模拟验证了设计的正确性 用甲基丙烯酸甲酯类聚合物对AWG的制备工艺进行了研究 ,用铝作掩模制作了聚合物光波导 ,测试结果表明在 1.5 5 展开更多
关键词 聚合物阵列波导光栅复用器 工作原理 参量设计 数值模拟 聚合物光波导 单模传输 光纤通信 铝掩膜
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光学掩模实现几何超分辨成像的仿真 被引量:5
9
作者 刘晶丹 许廷发 +3 位作者 荀显超 刘子伟 王洪庆 饶志涛 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第8期2026-2031,共6页
将基于实际CCD模型的频谱编码方法引入光电成像系统,以克服CCD对空间分辨率的限制,实现几何超分辨成像。介绍了光学掩模实现几何超分辨成像的工作原理,基于实际的CCD模型在4f成像系统的频谱面上放置光学编码掩模来提高图像分辨率。对该... 将基于实际CCD模型的频谱编码方法引入光电成像系统,以克服CCD对空间分辨率的限制,实现几何超分辨成像。介绍了光学掩模实现几何超分辨成像的工作原理,基于实际的CCD模型在4f成像系统的频谱面上放置光学编码掩模来提高图像分辨率。对该成像系统模型进行了数学分析,从理论上证明了这种基于实际CCD模型的频谱编码方法的有效性。根据建立的理论完成了基于一维光学编码掩模方法的仿真实验。仿真结果表明:提出的方法能实现几何超分辨成像,解决了光电成像系统中因CCD欠采样造成的物频谱混叠和因像素尺寸非零而造成的低通效应问题。与传统的超分辨方法相比,该方法的系统结构简单、易实现。 展开更多
关键词 几何超分辨 超分辨成像 光学掩模 频谱编码 CCD实际模型
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大口径非球面镀膜均匀性分析与修正挡板设计 被引量:5
10
作者 程敏 艾力.伊沙木丁 +3 位作者 孙正文 马路 赵斐 许竞 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期250-254,共5页
针对1.2 m口径天文望远镜非球面主反射镜的镀膜问题,建立了大口径非球面镀膜的膜厚分布模型,使用数值分析的方法计算了非球面镀膜相对于球面镀膜的膜厚分布差异。针对非球面镀膜的膜厚均匀性问题,给出了非球面修正挡板的设计方法。为减... 针对1.2 m口径天文望远镜非球面主反射镜的镀膜问题,建立了大口径非球面镀膜的膜厚分布模型,使用数值分析的方法计算了非球面镀膜相对于球面镀膜的膜厚分布差异。针对非球面镀膜的膜厚均匀性问题,给出了非球面修正挡板的设计方法。为减少修正挡板的加工成本,提高修正挡板的结构刚度,研究了球面面型挡板用于非球面镀膜的可行性,提出了一种圆周分布式排列的挡板设计方法。结果表明:宽度较窄的分布式挡板能够在避免划伤镜面的前提下更贴近镜面,因而有更好的遮挡效果以达到膜厚均匀性的要求,并且有更低的加工成本、更高的结构刚度,以及能够根据实际情况便捷地进行挡板调整和改造。 展开更多
关键词 非球面 光学薄膜 膜厚均匀性 修正挡板 分布式挡板
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图像深度估计的光学微分方法 被引量:4
11
作者 阳庆国 刘立人 郎海涛 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期1186-1190,共5页
讨论了光学微分方法在图像深度估计问题中的应用。基于线性成像理论对Farid提出的光学微分模型进行了推广,即用于图像深度估计的两幅图像在成像过程中可以满足任意阶的线性微分关系。此模型拓宽了光学微分的概念,使两次成像之间关系有... 讨论了光学微分方法在图像深度估计问题中的应用。基于线性成像理论对Farid提出的光学微分模型进行了推广,即用于图像深度估计的两幅图像在成像过程中可以满足任意阶的线性微分关系。此模型拓宽了光学微分的概念,使两次成像之间关系有了更多的光学微分形式。围绕如何选择合适的光学微分关系以使系统的整体性能达到最优,分析了光学成像系统的参量对于图像深度估计的精度以及纵向分辨力的影响,并且对光学微分方法中的关键光学元件光学掩模板的构建方法及优化问题也作了初步的探讨。 展开更多
关键词 成像光学 被动成像 深度估计 光学微分 光学掩模板
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平面行星系统修正挡板校正膜厚均匀性 被引量:4
12
作者 郭春 孔明东 +1 位作者 柳存定 李斌成 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期284-288,共5页
分别建立了真空镀膜机行星系统中平面光学元件薄膜厚度模型和修正挡板校正薄膜厚度非均匀性模型,并运用数值计算方法完成修正挡板优化设计;研究了使用修正挡板校正薄膜厚度分布时平面行星夹具上热蒸发薄膜材料的沉积效率。实验结果表明... 分别建立了真空镀膜机行星系统中平面光学元件薄膜厚度模型和修正挡板校正薄膜厚度非均匀性模型,并运用数值计算方法完成修正挡板优化设计;研究了使用修正挡板校正薄膜厚度分布时平面行星夹具上热蒸发薄膜材料的沉积效率。实验结果表明:依据修正挡板校正薄膜厚度非均匀性模型优化设计的修正挡板能使口径为310mm、无倾斜放置的平面行星夹具上,由电子束热蒸发工艺制备的MgF2薄膜厚度均匀性优于99.6%,并且热蒸发MgF2薄膜材料的沉积效率高于87.4%。 展开更多
关键词 薄膜 光学镀膜 厚度均匀性 修正挡板 行星系统
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Shikani Optical Stylet–guided Intubation via the Intubating Laryngeal Airway in Patients With Scar Contracture of the Face and Neck 被引量:4
13
作者 Dong Yang Shi-yi Tong +4 位作者 Jin-hua Jin Geng-zhi Tang Jing-hu Sui Ling-xin Wei Xiao-ming Deng 《Chinese Medical Sciences Journal》 CAS CSCD 2013年第4期195-200,共6页
Objective To evaluate the feasibility of the Shikani Optical Stylet (SOS)-guided inmbation through a new Intubafing Laryngeal Airway (ILA) in anticipated difficult airways caused by scar contracture of the face an... Objective To evaluate the feasibility of the Shikani Optical Stylet (SOS)-guided inmbation through a new Intubafing Laryngeal Airway (ILA) in anticipated difficult airways caused by scar contracture of the face and neck. Methods Thirty-three adult patients with anticipated difficult airways undergoing selective faciocervical scar plastic surgery under general anesthesia were enrolled in this study. After anesthesia induction, a size 2.5, 3.5 or 4.5 ILA was inserted. Following good lung ventilation being verified, the SOS preloaded with an endotracheal tube was inserted via the ILA. Once the clear vocal cords came into view under the SOS, the endotracheal tube was advanced through glottis into the trachea. Results The ILA provided an effective airway in all patients, lntubation was successful at the first attempt on 22/33 (66.7%) occasions and at the second attempt on 6/33 (18.2%). Intubation failed in 5 (15.1%) patients who suffered from severe limitation of head extension due to scar contracture of the neck. These patients' tracheas were finally intubated using a fibreoptic bronchoscope via the ILA. Conclusions The SOS-guided intubating method via the ILA is a feasible technique in patients with scar contracture of the face and neck. However, in patients with severe limitation of head extension, the use of SOS cannot be recommended. The SOS can be used as an alternative apparatus when the fibreoptic bronchoscope is not available. 展开更多
关键词 Shikani optical Stylet laryngeal mask airway difficult airway endotracheal intubation
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基于修正CycleGAN的声呐图像库构建方法研究 被引量:3
14
作者 凡志邈 夏伟杰 刘雪 《声学技术》 CSCD 北大核心 2021年第6期890-894,共5页
声呐图像数据集获取困难,导致很多水下工作无法正常开展,如水下目标检测与跟踪、声呐图像的超分辨等,因此构建充足的声呐图像数据库成为很多水下研究工作的重要前提条件。受光学图像与合成孔径雷达(Synthetic Aperture Radar,SAR)图像... 声呐图像数据集获取困难,导致很多水下工作无法正常开展,如水下目标检测与跟踪、声呐图像的超分辨等,因此构建充足的声呐图像数据库成为很多水下研究工作的重要前提条件。受光学图像与合成孔径雷达(Synthetic Aperture Radar,SAR)图像转换研究工作的启发,提出了基于CycleGAN实现声呐图像库的构建,即利用光学图像合成声呐图像,实现光学到声呐的图像风格迁移。通过对CycleGAN网络损失函数的改进,提高了声呐图像的合成效果。通过与Pix2Pix等图像风格迁移网络进行比较的实验结果证明,修正后的CycleGAN网络具有更好的图像风格迁移效果。最后用合成的声呐图像训练Mask RCNN目标检测网络,并用真实的声呐图像进行测试,训练得到的模型能够成功地检测出真实声呐图像中对应的目标,进一步验证了利用光学图像构建声呐图像库的有效性。 展开更多
关键词 风格迁移 CycleGAN 光学图像 声呐图像 mask RCNN
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Numerical Analysis and Comparison of Three Metal-Oxide-Type Super-Resolution Near Field Structures 被引量:2
15
作者 瞿青玲 王阳 干福熹 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2006年第12期3363-3365,共3页
Based on the Fresnel-Kirchhoff diffraction theory, we build up a Gaussian diffraction model of metal-oxide-type super-resolution near field structure (super-liENS), which can describe far field optical properties. T... Based on the Fresnel-Kirchhoff diffraction theory, we build up a Gaussian diffraction model of metal-oxide-type super-resolution near field structure (super-liENS), which can describe far field optical properties. The spectral contrast induced by refractive index and the structural changes in AgOg, PtOx and PdOz thin films, which are the key functional layers in super-RENS, are studied by using this model. Comparison results indicate that the spectral contrast depends intensively on the laser-induced distribution and change of the refractive index in the metal-oxide films. The readout mechanism of the metal-oxide-type super-RENS optical disc is further clarified. This Gaussian diffraction model can be used as a simple and effective method for choosing proper active materials in super-RENS. 展开更多
关键词 optical-PROPERTIES DATA-STORAGE mask LAYER FILMS
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Optical Image Encryption Based on Mixed Chaotic Maps and Single-Shot Digital Holography 被引量:3
16
作者 Yonggang Su Chen Tang +3 位作者 Xia Chen Biyuan Li Wenjun Xu Zhenkun Lei 《Transactions of Tianjin University》 EI CAS 2017年第2期184-191,共8页
Random phase masks play a key role in optical image encryption schemes based on double random phase technique. In this paper, a mixed chaotic method is proposed, which can efficiently solve some weaknesses that one-di... Random phase masks play a key role in optical image encryption schemes based on double random phase technique. In this paper, a mixed chaotic method is proposed, which can efficiently solve some weaknesses that one-dimensional (1-D) single chaotic maps encounter to generate random phase masks. Based on the chaotic random phase masks, optical image encryption and decryption are realized with a single-shot digital holographic technique. In the proposed encryption scheme, the initial value and parameters of mixed chaotic maps serve as secret keys, which is convenient for the key management and transmission. Moreover, it also possesses high resistance against statistical attack, brute-force attack, noise attack and shear attack. Simulation results and security analysis verify the validity and security of the proposed encryption scheme. © 2017, Tianjin University and Springer-Verlag Berlin Heidelberg. 展开更多
关键词 Chaotic systems Geometrical optics HOLOGRAPHY Image processing Lyapunov methods optical data processing
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基于CO_(2)激光加工的法布里-珀罗光学微腔阵列的制备 被引量:3
17
作者 贾卓楠 张婷婷 +2 位作者 栗正华 花双全 王文杰 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2020年第23期200-204,共5页
主要研究了基于CO_(2)激光微加工实现法布里-珀罗(FP)光学微腔阵列的制备。首先,通过CO_(2)激光微加工和掩模板相结合的方法,在玻璃基底上制备了阵列型的凹面结构,并对结构的特性进行了分析。测量及模拟分析结果表明,凹面结构可近似为... 主要研究了基于CO_(2)激光微加工实现法布里-珀罗(FP)光学微腔阵列的制备。首先,通过CO_(2)激光微加工和掩模板相结合的方法,在玻璃基底上制备了阵列型的凹面结构,并对结构的特性进行了分析。测量及模拟分析结果表明,凹面结构可近似为高斯曲面,深度范围为0.042~0.64μm,半峰全宽范围为11.30~16.60μm;结构底部可近似为球面。随后,通过镀介质膜和微腔封装,制备了FP微腔阵列,采用平面镜-凹面镜的微腔组装形式,形成FP稳定腔。最后,测试了微腔阵列中光微流激光的产生。 展开更多
关键词 激光光学 法布里珀罗微腔 微腔阵列 CO_(2)激光烧蚀 光学掩模 光微流激光
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Progress of super-resolution near-field structure and application in optical data storage 被引量:1
18
作者 Kui ZHANG Yongyou GENG +1 位作者 Yang WANG Yiqun WU 《Frontiers of Optoelectronics》 CSCD 2014年第4期475-485,共11页
The era of big data has necessitated the use of ultra-high density optical storage devices. Super-resolution near-field structure (super-RENS), which has successfully surpassed the fundamental optical diffraction li... The era of big data has necessitated the use of ultra-high density optical storage devices. Super-resolution near-field structure (super-RENS), which has successfully surpassed the fundamental optical diffraction limit, is one of the promising next generation high-density optical storage technologies. This technology combines the traditional super-resolution optical disk with a near-field structure, and has the advantages of structural simplicity, strong practicability, and, more importantly, compatibility with the current optical storage pickup. The mask layer in super-RENS functions as the key to realizing superresolution. Development of suitable materials and stack designs has greatly been improved in the last decade. This paper described several types of super-RENS, such as aperture-type, light scattering center-type, bubble-type, and other types (e.g., WOx and ZnO), particularly the newly proposed super-RENS technology and research achievements. The paper also reviews the applications of super-RENS in high-density optical data storage in recent years. After analyzing and comparing various types of super-RENS technology, the paper proposes the aperturetype based on the mechanism of nonlinear optics as the most suitable candidate for practical applications in the near future. 展开更多
关键词 SUPER-RESOLUTION NEAR-FIELD mask layer optical nonlinear localized surface plasmas
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光学望远镜镜片旋转镀膜修正挡板的仿真设计 被引量:1
19
作者 孙伟超 许竞 +1 位作者 林星魁 艾力·伊沙木丁 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第4期342-347,共6页
目的提高新疆天文台南山观测基地ZZS1800-1/G真空镀膜机的膜厚均匀性指标。方法通过建立旋转行星夹具系统的膜厚分布模型,利用高精度数值计算,基于ZZS1800-1/G真空镀膜机,研究镀膜机结构参数与镜面几何结构对膜厚均匀性的影响,分析蒸发... 目的提高新疆天文台南山观测基地ZZS1800-1/G真空镀膜机的膜厚均匀性指标。方法通过建立旋转行星夹具系统的膜厚分布模型,利用高精度数值计算,基于ZZS1800-1/G真空镀膜机,研究镀膜机结构参数与镜面几何结构对膜厚均匀性的影响,分析蒸发源位置、望远镜镜片参数与修正挡板形状的关系,并进行修正挡板的仿真设计与验证。结果在旋转行星夹具系统中,蒸发源与原点的距离对半径较大的镜面膜厚均匀性的影响最为明显。该距离600 mm以内,在镜面半径小于100 mm时,膜厚均匀性均低于1.7%;镜面半径为600 mm时,膜厚均匀性最佳,为23%。加入修正挡板后,膜厚均匀性理论计算值为0.035%。在镀半径为600 mm的镜片时,为保证均匀性小于1%,修正挡板的加工形变量要控制在2.2%以内。结论加入修正挡板可有效提高ZZS1800-1/G真空镀膜机的膜厚均匀性,本文建立的仿真模型可为ZZS1800-1/G真空镀膜机在实际镀膜工作时修正挡板的设计提供理论参考依据。 展开更多
关键词 真空镀膜 蒸发源 光学薄膜 膜厚均匀性 修正挡板 数值分析
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微型太阳敏感器光学掩模的镀膜设计 被引量:1
20
作者 王多书 罗崇泰 《应用光学》 CAS CSCD 2007年第6期716-719,共4页
太阳敏感器是空间飞行器进行姿态确定和方位测定的重要器件,传统太阳敏感器大而重,无法应用到微小卫星特别是皮纳卫星上。介绍了基于CMOS APS探测器的微型太阳敏感器的工作原理,基于黑体辐射理论和太阳光谱特性,结合CMOS APS探测器工作... 太阳敏感器是空间飞行器进行姿态确定和方位测定的重要器件,传统太阳敏感器大而重,无法应用到微小卫星特别是皮纳卫星上。介绍了基于CMOS APS探测器的微型太阳敏感器的工作原理,基于黑体辐射理论和太阳光谱特性,结合CMOS APS探测器工作特性,分析给出了这种敏感器像元表面产生光电子数的计算方法,并采用M atlab软件,编程计算了地球表面太阳垂直入射条件下,探测器像元表面产生的光电子数。采用光学薄膜设计方法,分析设计了掩模表面光学薄膜的膜系结构,计算了各膜层的透射特性。在此基础上,得到了基于CMOS APS探测器微型太阳敏感器光学掩模的光学薄膜的设计方法,最后给出了设计结果。 展开更多
关键词 光学掩模 微型太阳敏感器 CMOS APS探测器 光学薄膜设计
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