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应用离子束进行光学镜面确定性修形的实现 被引量:39
1
作者 戴一帆 周林 +2 位作者 解旭辉 焦长君 李圣怡 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1131-1135,共5页
为了克服传统光学镜面抛光方法的缺点,提出了应用离子束进行光学镜面修形的方法。介绍了离子束修形技术的原理和方法,并对离子束修形中涉及的关键技术进行了讨论。在自研的离子束修形设备上对一块直径98mm的微晶玻璃平面样件进行了离... 为了克服传统光学镜面抛光方法的缺点,提出了应用离子束进行光学镜面修形的方法。介绍了离子束修形技术的原理和方法,并对离子束修形中涉及的关键技术进行了讨论。在自研的离子束修形设备上对一块直径98mm的微晶玻璃平面样件进行了离子束修形试验,经过两次的迭代修形使其面形精度均方根误差由初始的0.136λ提高到0.010λ(λ=632.8nm),平均每次迭代的面形收敛率达到3.7。实验结果表明,应用离子束进行光学镜面修形无边缘效应、面形收敛快、加工精度高;由于离子束修形技术去除材料过程自身的特点,使数控离子束修形技术对非球面的加工和对平面的加工难度相当。 展开更多
关键词 光学加工 离子束修形 计算机控制光学表面成形 驻留时间 去除函数
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磁流变抛光消除磨削亚表面损伤层新工艺 被引量:34
2
作者 石峰 戴一帆 +1 位作者 彭小强 王卓 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期162-168,共7页
针对传统光学加工技术难于精确测量和控制亚表面损伤的特点,提出用磁流变抛光替代研磨工序并直接衔接磨削的新工艺流程。采用自行研制的磁流变抛光机床KDMRF-1000和水基磁流变抛光液KDMRW-2进行了磁流变抛光去除磨削亚表面损伤层的实验... 针对传统光学加工技术难于精确测量和控制亚表面损伤的特点,提出用磁流变抛光替代研磨工序并直接衔接磨削的新工艺流程。采用自行研制的磁流变抛光机床KDMRF-1000和水基磁流变抛光液KDMRW-2进行了磁流变抛光去除磨削亚表面损伤层的实验研究。结果显示,直径为100mm的K9材料平面玻璃,经过156min的磁流变粗抛,去除了50μm深度的亚表面损伤层,表面粗糙度Ra值进一步提升至0.926nm,经过17.5min磁流变精抛,去除玻璃表面200nm厚的材料,并消除磁流变粗抛产生的抛光纹路,表面粗糙度Ra值提升至0.575nm。由此表明,应用磁流变抛光可以高效消除磨削产生的亚表面损伤层,提出的新工艺流程可以实现近零亚表面损伤和纳米级精度抛光两个工艺目标。 展开更多
关键词 磁流变抛光 亚表面损伤 光学加工
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磁流变技术研究及其在光学加工中的应用 被引量:13
3
作者 康桂文 张飞虎 董申 《光学技术》 EI CAS CSCD 2004年第3期354-356,共3页
介绍了磁流变技术的基本原理及其应用。利用磁流变液在磁场作用下形成的高剪切应力,可以利用磁场形成可变硬度的磁流变液对光学零件进行可控的抛光加工。美国Rochester大学率先进行了应用磁流变液对光学零件进行抛光方面的研究。磁流变... 介绍了磁流变技术的基本原理及其应用。利用磁流变液在磁场作用下形成的高剪切应力,可以利用磁场形成可变硬度的磁流变液对光学零件进行可控的抛光加工。美国Rochester大学率先进行了应用磁流变液对光学零件进行抛光方面的研究。磁流变抛光获得的表面具有纳米级表面粗糙度。 展开更多
关键词 磁流变 抛光 光学加工
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磁流变抛光液的配制及其抛光稳定性 被引量:15
4
作者 白杨 张峰 +3 位作者 邓伟杰 李龙响 郑立功 张学军 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期175-182,共8页
磁流变液是一种分散体系,通过对分散体系稳定性的研究,并结合磁流变抛光的实际需求,确定了磁流变抛光液添加组分,配制出了适合于光学加工的水基磁流变抛光液。所配制的磁流变液初始粘度仅为0.2Pa·s,利用磁流变仪检测所配制磁流变... 磁流变液是一种分散体系,通过对分散体系稳定性的研究,并结合磁流变抛光的实际需求,确定了磁流变抛光液添加组分,配制出了适合于光学加工的水基磁流变抛光液。所配制的磁流变液初始粘度仅为0.2Pa·s,利用磁流变仪检测所配制磁流变液在剪切率为1s-1,磁场强度为0.35T时,剪切应力达42.5kPa。利用所配制的磁流变抛光液分别对K9玻璃和Si材料进行抛光,经过2h持续抛光,K9玻璃和Si材料去除函数的峰值去除量相对变化率分别为0.15%和0.22%,体积去除量相对变化率分别为1%和0.88%,去除函数的峰值去除率分别达到4.83μm/min和1.376μm/min。结果验证了所配制的抛光液具有极好的稳定性以及较高的去除效率,能够保证抛光材料的快速去除和高效收敛。 展开更多
关键词 材料 光学加工 磁流变抛光液 分散机理 去除函数 材料去除效率 稳定性
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SiC光学反射镜发展现状 被引量:4
5
作者 韩杰才 姚旺 张宇民 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期1-6,共6页
综述SiC作为光学反射镜材料在设计、制造、光学加工和应用方面的发展现状,同时对今后SiC作为光学镜片材料的发展趋势进行了展望。
关键词 SiC镜片 光学反射镜 航天材料 轻质化结构 热学性能
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光学元件面形误差的光滑延展算法 被引量:3
6
作者 李云 段沽坪 邢廷文 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2013年第2期408-412,共5页
在离子束抛光工艺中,为了提高驻留时间求解算法在工件边缘处的求解精度,需要对原始面形误差数据进行有界光滑延展。推导并提出了一种基于高斯曲线的曲面延展算法,该算法利用了高斯函数的有界性、光滑性和参数连续性。将该曲面延展算法... 在离子束抛光工艺中,为了提高驻留时间求解算法在工件边缘处的求解精度,需要对原始面形误差数据进行有界光滑延展。推导并提出了一种基于高斯曲线的曲面延展算法,该算法利用了高斯函数的有界性、光滑性和参数连续性。将该曲面延展算法应用于带有高频噪声的面形误差工件的驻留时间求解过程中,驻留时间算法在光学元件边缘处的残余误差得到了抑制,使得驻留时间算法在整个通光口径内的收敛率达到了97%(RMS)。这表明基于高斯曲线的曲面光滑延展算法能实现光学元件面形误差的光滑延展,并具有良好的抗噪声干扰能力,改善了驻留时间算法的求解精度。 展开更多
关键词 面形误差延展 驻留时间 离子束抛光 光学加工
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基于纳米压痕测试的激光晶体光学加工性能研究 被引量:2
7
作者 陈贤华 谢瑞清 +4 位作者 侯晶 汪圣飞 张哲 赵世杰 廖德锋 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第7期1775-1780,共6页
针对高功率固体激光器中使用的四类重要激光晶体(YAG、LBO、YCOB、KDP)元件,开展了晶体材料的光学加工性能研究。基于纳米压痕测试实验,研究了几种激光晶体材料在激光器实际使用晶向角度下的的表面力学特性差异,获得了载荷、弹性模量、... 针对高功率固体激光器中使用的四类重要激光晶体(YAG、LBO、YCOB、KDP)元件,开展了晶体材料的光学加工性能研究。基于纳米压痕测试实验,研究了几种激光晶体材料在激光器实际使用晶向角度下的的表面力学特性差异,获得了载荷、弹性模量、压痕硬度等参数与压痕深度之间的变化规律;利用超景深显微镜及场发射扫描电镜观察了激光晶体表面的纳米压痕形貌,揭示了裂纹形貌随压力载荷的演变规律以及晶体材料力学各向异性现象。以熔石英材料为参照,从力学特性角度横向对比了几种激光晶体材料获得超光滑表面的光学加工难易程度。 展开更多
关键词 激光晶体 光学加工 纳米压痕 力学特性
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Optimization of Parameters CO<SUB>2</SUB>Laser for Drilling Different Types of Glass
8
作者 Nafissa Khennafi-Benghalem Walid Allag 《New Journal of Glass and Ceramics》 2015年第4期75-83,共9页
The aim of this work is to study in detail the drilling process on glass by CO2 laser. The study parameters considered in the present experiments are based on the laser beam power of range (30% - 80% of 25 W) and an e... The aim of this work is to study in detail the drilling process on glass by CO2 laser. The study parameters considered in the present experiments are based on the laser beam power of range (30% - 80% of 25 W) and an exposure time for drilling (2 - 8 s). The measured diameters of holes by optical methods are between [300 - 800 μm]. The results obtained by optical observations suggest that ordinary and mineral glasses cannot withstand to a contact of the laser beam and crack during the formation of the drilling hole. The minimum power and duration of exposure are the optimal parameters for drilling the organic glass, we observe no micro-cracks, and again we see that the edges of the holes have a good surface quality with a high aspect ratio. 展开更多
关键词 GLASS CO2 LASER optical machining LASER DRILLING
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塑性加工条件下射流颗粒冲击去除效应 被引量:1
9
作者 李秀龙 万勇建 +3 位作者 徐清兰 张杨 罗银川 张蓉竹 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期36-41,共6页
针对在微观上存在尖锐突起、凹坑和划痕等缺陷的光学元件,提出用低质量分数磨料水射流冲击的方式对其进行处理。从弹性接触出发,对射流中粒子与元件发生塑性接触的临界速度进行了推导,并引入了塑性转入脆性加要的临界速度,从而对射流的... 针对在微观上存在尖锐突起、凹坑和划痕等缺陷的光学元件,提出用低质量分数磨料水射流冲击的方式对其进行处理。从弹性接触出发,对射流中粒子与元件发生塑性接触的临界速度进行了推导,并引入了塑性转入脆性加要的临界速度,从而对射流的塑性去除阶段作了明确的界定。针对常用的两种光学材料K9和石英玻璃,结合具体参数对使其处于塑性去除阶段的射流速度进行了模拟计算,利用单颗粒冲击去除模型,在塑性去除范围内对两种材料的冲击去除进行了模拟计算。结果表明:石英玻璃进入塑性去除的临界速度高于K9玻璃,而进入脆性去除的临界速度低于K9玻璃,因而使石英玻璃处于塑性去除阶段的射流速度范围为K9玻璃相应速度范围的子区间;在塑性去除阶段,各材料的去除量皆随着冲击速度的增大而增大,但较硬的石英玻璃更不耐冲击,较K9玻璃更容易被去除。 展开更多
关键词 光学加工 磨料水射流 塑性去除 冲击去除
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光学镜面磁流变确定性修形的实现 被引量:35
10
作者 戴一帆 石峰 +1 位作者 彭小强 宋辞 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期198-205,共8页
磁流变确定性修形具有高精度、高效率、高表面质量以及近零亚表面损伤的特点。介绍了磁流变修形技术的基本原理和方法,并对磁流变修形中涉及的关键技术进行了讨论。在自研的磁流变修形设备上采用水基磁流变抛光液对一块直径80mm的K9玻... 磁流变确定性修形具有高精度、高效率、高表面质量以及近零亚表面损伤的特点。介绍了磁流变修形技术的基本原理和方法,并对磁流变修形中涉及的关键技术进行了讨论。在自研的磁流变修形设备上采用水基磁流变抛光液对一块直径80mm的K9玻璃平面进行了磁流变修形实验。经过一次迭代修形(4.39min)使其面形精度峰谷(PV)误差由初始的0.144λ改善到0.06λ(λ=632.8nm),均方根(RMS)误差由初始的0.031λ改善到0.01λ,面形收敛率达到2.81,表面粗糙度RMS值达到0.345nm。实验结果表明,采用磁流变进行光学表面修形,面形收敛快,面形精度高,表面质量好,可广泛应用于高精度光学镜面加工。 展开更多
关键词 光学加工 磁流变抛光 磁流变液 驻留时间 去除函数
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光学平面镜面离子束修形中速度模式的实现 被引量:9
11
作者 周林 解旭辉 +2 位作者 戴一帆 焦长君 李圣怡 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第7期152-156,共5页
针对光学平面镜面离子束修形工艺中,目前采用的位置加工模式额外加工时间长、精度不高的缺点,提出离子束修形工艺中的速度加工模式,并给出速度加工模式中如何根据驻留时间计算加工中进给速度的方法。使用速度模式在自研的离子束加工机床... 针对光学平面镜面离子束修形工艺中,目前采用的位置加工模式额外加工时间长、精度不高的缺点,提出离子束修形工艺中的速度加工模式,并给出速度加工模式中如何根据驻留时间计算加工中进给速度的方法。使用速度模式在自研的离子束加工机床KDIFS-500上进行了验证试验,对一块直径98mm的微晶玻璃平面样镜进行修形,加工时间为17.5min,样镜经过一次加工后,其面形误差的方均根值由初始的33.2nm提高到了3.1nm,面形收敛比高达10.7。试验结果表明,速度模式加工比位置模式加工可以缩短加工时间,提高加工精度,获得更大的面形收敛比。 展开更多
关键词 光学零件加工 离子束修形 计算机控制光学表面成形 驻留时间 速度模式
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光学镜面离子束加工的可达性 被引量:24
12
作者 周林 戴一帆 +2 位作者 解旭辉 焦长君 李圣怡 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期160-166,共7页
提出了离子束加工可达性问题的理论描述和定义,分析了驻留函数解的存在条件,进而分析了采用不同直径的离子束去除不同频率面形误差时额外去除量的大小,最后进行了仿真验证。分析结果表明,对于高斯型的束函数,驻留函数解总是存在的。但... 提出了离子束加工可达性问题的理论描述和定义,分析了驻留函数解的存在条件,进而分析了采用不同直径的离子束去除不同频率面形误差时额外去除量的大小,最后进行了仿真验证。分析结果表明,对于高斯型的束函数,驻留函数解总是存在的。但是面形误差频率越高,驻留函数解越大,去除面形误差时去除的额外材料越多。额外的材料去除量随着离子束径和空间误差波长之比(d/λ)的增加而指数增加。当d/λ=0.5时,额外材料去除量为15%,还是可以接受的;当d/λ=1时,额外材料去除量迅速上升到73%,该值即很难被接受。理论分析和仿真结果表明,为了优化加工过程,d/λ应该<0.5。 展开更多
关键词 离子束加工 驻留时间 加工可迭性 光学镜面加工 计算机控制 光学表面成形
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Frequency-domain analysis of computer-controlled optical surfacing processes 被引量:2
13
作者 ZHOU Lin DAI YiFan +1 位作者 XIE XuHui LI ShengYi 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2009年第7期2061-2068,共8页
Mid-high spatial frequency errors are often induced on optical surfaces polished by computer-controlled optical surfacing (CCOS) processes. In order to efficiently remove these errors, which would degrade the performa... Mid-high spatial frequency errors are often induced on optical surfaces polished by computer-controlled optical surfacing (CCOS) processes. In order to efficiently remove these errors, which would degrade the performances of optical systems, the ability of a CCOS process to correct the errors have been investigated based on the convolution integral model in view of the availability of material removal. To quantify the ability, some conceptions, such as figure correcting ability and material removal availability (MRA), have been proposed. The research result reveals that the MRA of the CCOS process to correct a single spatial frequency error is determined by its tool removal function (TRF), and it equals the normalized amplitude spectrum of the Fourier transform of its TRF. Finally, three sine surfaces were etched using ion beam figuring (IBF), which is a typical CCOS process. The experimental results have verified the theoretical analysis. The employed method and the conclusions of this work provide a useful mathematical basis to analyze and optimize CCOS processes. 展开更多
关键词 computer-controlled optical SURFACING (CCOS) optics machining tool REMOVAL function (TRF) material REMOVAL availability (MRA) ion beam figuring (IBF)
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共轴偏光瞳折轴三反射光学系统装调方法 被引量:10
14
作者 张学敏 韩娟 +2 位作者 段嘉友 吴萌源 魏儒义 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第4期225-230,共6页
为了实现共轴偏光瞳折轴三反射光学系统的高精度装调,提高其光学成像质量,研究了大口径非球面反射镜的微应力装配以及光学系统共基准的调校方法。采用光学定心加工实现主、次反射镜光轴基准与相应构件机械轴基准的高同轴度;采用Zygo激... 为了实现共轴偏光瞳折轴三反射光学系统的高精度装调,提高其光学成像质量,研究了大口径非球面反射镜的微应力装配以及光学系统共基准的调校方法。采用光学定心加工实现主、次反射镜光轴基准与相应构件机械轴基准的高同轴度;采用Zygo激光干涉仪检测波像差,指导主镜、次镜以及三镜的装配过程,保证各反射镜装配组件完成后的面形精度与裸镜一致,并最终指导完成主次镜光学系统以及三反射光学系统的像质调整。此外,由于整个光学系统是偏轴使用的,推帚方向垂直于电荷耦合器件(CCD)线阵方向,采用折轴镜旋转并修切折轴镜垫圈的方法来消除由于折轴镜倾斜而引入的系统像散。实际装配结果表明:光学系统各个视场处的成像质量均达到系统装配指标,光学系统波像差均方根(RMS)值小于0.07λ,传递函数(MTF)大于0.57。 展开更多
关键词 遥感 装调 微应力 成像质量 光学定心加工 同轴系统 偏光瞳
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基于光学定心加工的道威棱镜装配方法 被引量:8
15
作者 张学敏 魏儒义 +2 位作者 侯晓华 段嘉友 李华 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期141-144,共4页
本论文针对如何实现道威棱镜光轴与旋转轴平行,将道威棱镜转像理论与光学定心加工结合,提出了基于光学定心加工的道威棱镜组件装配方法。该方法根据道威棱镜旋转轴偏转时其出射光束发生变化的特性确定道威棱镜光轴,并通过车削的方式保... 本论文针对如何实现道威棱镜光轴与旋转轴平行,将道威棱镜转像理论与光学定心加工结合,提出了基于光学定心加工的道威棱镜组件装配方法。该方法根据道威棱镜旋转轴偏转时其出射光束发生变化的特性确定道威棱镜光轴,并通过车削的方式保证其镜筒外圆旋转轴与其光轴平行。本文具体提出两种道威棱镜组件定轴方案,分别为平行光管定轴方案以及激光定轴方案,此两种方案可有效保证道威棱镜反射面轴线(道威棱镜光轴)与旋转轴的平行度,定轴精度优于0.01mm。 展开更多
关键词 道威棱镜光轴 旋转轴 光学定心加工 定轴 车削
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超精密加工表面微观形貌的光学测量方法 被引量:6
16
作者 王洪祥 董申 +1 位作者 梁迎春 李旦 《工具技术》 北大核心 1999年第5期32-35,共4页
介绍了几种典型的超精密加工表面微观形貌光学测量方法的测量原理及优缺点,评述了表面微观形貌光学测量技术的发展动态。
关键词 表面微观形貌 光学测量 超精密加工
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采用微刀具的菲涅耳器件超精密制造方法 被引量:3
17
作者 张效栋 房丰洲 +3 位作者 程颖 徐宗伟 张少婧 魏桂爽 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2010年第3期502-505,共4页
菲涅耳器件是红外传感器等领域不可或缺的高性能光学元件。其高效和高精度的制造方法是目前研究的重点。文中借助单点金刚石切削技术实现菲涅耳器件加工,采用半圆头型刀具有效减小不可切削区域,并基于聚焦离子束微加工方法进行微刀具制... 菲涅耳器件是红外传感器等领域不可或缺的高性能光学元件。其高效和高精度的制造方法是目前研究的重点。文中借助单点金刚石切削技术实现菲涅耳器件加工,采用半圆头型刀具有效减小不可切削区域,并基于聚焦离子束微加工方法进行微刀具制备。对所提出方法的关键技术和制造工艺进行了详细论述。对不同应用领域的两类菲涅耳器件进行加工实验,并建立光学测试平台进行光学性能分析,实验结果表明:所提出的方法可满足菲涅耳器件的应用需求。 展开更多
关键词 菲涅耳镜加工 超精密车削 微刀具
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残余碳对碳化硅陶瓷光学表面加工性能的影响 被引量:3
18
作者 刘桂玲 陈健 +1 位作者 黄政仁 刘学建 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第8期1523-1526,共4页
为深入了解碳化硅陶瓷的光学表面加工性能,采用常压固相烧结法制备了碳化硅陶瓷,在保证致密度的前提下,通过改变碳的含量,研究了残余碳对SiC陶瓷抛光面的表面质量和光学性能的影响。研究发现,C的质量含量为3%~7%时,SiC陶瓷抛光表面的RM... 为深入了解碳化硅陶瓷的光学表面加工性能,采用常压固相烧结法制备了碳化硅陶瓷,在保证致密度的前提下,通过改变碳的含量,研究了残余碳对SiC陶瓷抛光面的表面质量和光学性能的影响。研究发现,C的质量含量为3%~7%时,SiC陶瓷抛光表面的RMS(root mean square)粗糙度均约为2nm。当C含量为3%~6%时,SiC陶瓷抛光表面在400~750nm波段的全反射率、漫反射率和镜面反射率无明显变化;当C含量升至7%时,全反射率稍有降低,漫反射率稍有上升,镜面反射率稍有降低。其原因可能是过多的残余碳引起SiC陶瓷的折射率下降和产生光学散射,最终造成镜面反射率降低。 展开更多
关键词 碳化硅 残余碳 光学表面加工 反射率
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光机部件精密定心加工有限元仿真及应用 被引量:2
19
作者 潘浩 韩保辉 江希龙 《航天制造技术》 2016年第2期66-70,共5页
采用正交切削模型建模并仿真定心加工切削过程,利用abaqus软件对不同切削参数下的切削过程进行有限元仿真,然后根据切削力仿真结果力学仿真分析零件加工变形情况,最后通过切削试验验证仿真结果。
关键词 定心加工 有限元仿真 误差分析
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基于在线测量技术的光机部件加工精度控制研究
20
作者 韩保辉 常江 +4 位作者 李松 陈英 江希龙 王琳然 马骏 《航天制造技术》 2022年第4期57-61,共5页
针对高精度薄壁光机部件定心加工精度难控制,提出基于精确计算装夹力和非接触式在线检测的装夹变形量控制方法。通过理论计算和有限元仿真获得定心加工三种工况下的装夹力数值,搭建了装夹变形实时检测系统,采取建立高精度连接面、精准... 针对高精度薄壁光机部件定心加工精度难控制,提出基于精确计算装夹力和非接触式在线检测的装夹变形量控制方法。通过理论计算和有限元仿真获得定心加工三种工况下的装夹力数值,搭建了装夹变形实时检测系统,采取建立高精度连接面、精准调整装夹工艺螺钉拧紧力矩等措施控制光机部件装夹变形量,在线预估光机部件的加工精度。试验表明,该方法可实现光机部件设计精度指标,为解决同类问题提供借鉴。 展开更多
关键词 薄壁 光机 在线测量 装夹变形 定心加工
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