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簧片式硅压力传感器的研制
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作者 温明生 唐世洪 +1 位作者 刘理天 谢会开 《传感技术学报》 CAS CSCD 1995年第1期22-26,共5页
介绍了采用簧片式硅弹性膜芯片研制成功的压力敏感元件和传感器,利用这种硅芯片已制得灵敏度和量程范围各不相同的性能优良的压力传感器.
关键词 硅 压力传感器 传感器 研制
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