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一种新型的电离式MEMS气体传感器 被引量：1
1
作者 詹昌华 潘元志 +1 位作者 赵小林 侯中宇 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第4期467-470,共4页
实现了一种新型的电离式MEMS气体传感器,即线性阻抗电离式MEMS气体传感器。该传感器创新地采用了电导率而不是常用的击穿电压来检测不同的气体成分,这样可以避免高电压对器件的影响,提高器件工作状态的可重复性和稳定性。该器件在低压... 实现了一种新型的电离式MEMS气体传感器,即线性阻抗电离式MEMS气体传感器。该传感器创新地采用了电导率而不是常用的击穿电压来检测不同的气体成分,这样可以避免高电压对器件的影响,提高器件工作状态的可重复性和稳定性。该器件在低压条件下不同气体组分中进行气体放电实验,测出了不同的伏安特性曲线和电导率值,从而证实了该器件的气体传感特性。 展开更多
关键词 微机电系统 一维纳电极阵 电离式气体传感器 气体电导率
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